イオンミリング装置 - 企業ランキング(全6社)
更新日: 集計期間:2025年10月08日〜2025年11月04日
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- 代表製品
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イオンミリング装置
- 概要
- 【その他の特長】 <R&D用小型ミリング装置> ■実験開発向けに特化したスタンドアローン型装置 ■電装系、電源類等を1台に納めたコンパクト設計 ■φ75、φ100、φ125mmウェハまで対応 ■基板冷却、基板電位中和機能、基板自転、ステージ傾斜付き
- 用途/実績例
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株式会社日立ハイテク