ウェハ洗浄機 - 企業ランキング(全10社)
更新日： 集計期間:2025年10月01日〜2025年10月28日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
多槽式ウェハ洗浄装置
応相談 |
【多槽式キャリアタイプの特長】 ■ワークサイズは、2インチから12インチウェハに対応 ■1バッチの搬送カセット数は1カセットまたは2カセットから選択 ■乾燥はスピンドライヤ、IPA乾燥から選択 ■ローダー、アンローダーのカセット数はご要望に応じて対応可能 | 【用途例】 ■RCA洗浄 ■窒化膜除去 ■酸化膜除去 ■ポリマー除去 ■レジスト剥離 ■シリコンエッチング ■犠牲層エッチング ■メタルエッチング ■現像 | |
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株式会社LC
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- 代表製品
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多槽式ウェハ洗浄装置
- 概要
- 【多槽式キャリアタイプの特長】 ■ワークサイズは、2インチから12インチウェハに対応 ■1バッチの搬送カセット数は1カセットまたは2カセットから選択 ■乾燥はスピンドライヤ、IPA乾燥から選択 ■ローダー、アンローダーのカセット数はご要望に応じて対応可能
- 用途/実績例
- 【用途例】 ■RCA洗浄 ■窒化膜除去 ■酸化膜除去 ■ポリマー除去 ■レジスト剥離 ■シリコンエッチング ■犠牲層エッチング ■メタルエッチング ■現像
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株式会社LC
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