ガス精製装置 - 企業ランキング(全9社)
更新日: 集計期間:2026年05月27日〜2026年06月23日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 水素ガス中の各種不純物を1ppb以下へ純化します。流量範囲は〜300NL/minです。 0.003µmパーティクルフィルタ標準装備。 再生することにより繰り返し使用可能です。 | 半導体製造装置、分析機器キャリア・ゼロガス用、雰囲気調整用に採用されております。 | ||
| 【製品仕様(一部)】 ■適用ガス:H2 ■除去対象不純物:CO, CO2,O2, H2O ■原料ガス純度:5Nガスボンベ相当以上 ■精製ガス中不純物濃度各除去対象成分:1ppb未満 ■使用圧力:0.2MPaG以上 0.97MPaG以下 ■最大圧力:0.97MPaG ■最大流量:3... | 【用途】 ■分析計用キャリアガス、ゼロガス ■半導体製造装置、CVD装置 ■高純度を要求される雰囲気ガス、パージガス ■溶接用シールドガス | ||
| 〇FPGCシリーズ(脱酸素専用) FPGC は、配管の途中にセットするだけで処理ガスの酸素濃度にかかわらず、 ガス中の酸素を瞬時に吸着し、出口側の酸素濃度を 2 ppb 以下にする超高性能脱酸素カラムです。 酸素を吸着すると淡緑色から茶褐色に変色しますので使用状況が一目で判... | 各種雰囲気ガスや溶接用ガス、分析計ゼロ点補正用ガス、スパッタ装置・CVD用ガスの脱酸素・水分にご採用いただいております。 | ||
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- 代表製品
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水素ガスの純度向上に:インライン式ガス精製器ファインピュアラー
- 概要
- 水素ガス中の各種不純物を1ppb以下へ純化します。流量範囲は〜300NL/minです。 0.003µmパーティクルフィルタ標準装備。 再生することにより繰り返し使用可能です。
- 用途/実績例
- 半導体製造装置、分析機器キャリア・ゼロガス用、雰囲気調整用に採用されております。
【大流量タイプ】インライン式超高純度ガス精製器「FPH-300」
- 概要
- 【製品仕様(一部)】 ■適用ガス:H2 ■除去対象不純物:CO, CO2,O2, H2O ■原料ガス純度:5Nガスボンベ相当以上 ■精製ガス中不純物濃度各除去対象成分:1ppb未満 ■使用圧力:0.2MPaG以上 0.97MPaG以下 ■最大圧力:0.97MPaG ■最大流量:3...
- 用途/実績例
- 【用途】 ■分析計用キャリアガス、ゼロガス ■半導体製造装置、CVD装置 ■高純度を要求される雰囲気ガス、パージガス ■溶接用シールドガス
脱酸素・水分専用ガス精製器「FPGC/DC/CCシリーズ」
- 概要
- 〇FPGCシリーズ(脱酸素専用) FPGC は、配管の途中にセットするだけで処理ガスの酸素濃度にかかわらず、 ガス中の酸素を瞬時に吸着し、出口側の酸素濃度を 2 ppb 以下にする超高性能脱酸素カラムです。 酸素を吸着すると淡緑色から茶褐色に変色しますので使用状況が一目で判...
- 用途/実績例
- 各種雰囲気ガスや溶接用ガス、分析計ゼロ点補正用ガス、スパッタ装置・CVD用ガスの脱酸素・水分にご採用いただいております。
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大阪ガスリキッド株式会社