1ppb以下への不純物の除去！ヒーター・電源不要のNuPure社製のガス精製器
『Eliminator CA』は、室温での操作でガス不純物をSub-ppbレベルまで低減させる NuPure社製ガス精製器です。 不活性ガス（窒素、アルゴン、ヘリウム、クリプトン、ネオン、キセノン）から、 H2O、O2、CO、CO2、H2、NMHCなどを1ppb未満レベルまで除去します。 標準サイズで0～2500slpmの流量範囲の製品をラインアップしております。 【特長】 ■1ppb以下への不純物の除去 ■ヒーター・電源不要 ■室温動作（RT） ■ハウジング 316L SS（<10 Ra EP） ■最長10年まで再生可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【その他の特長】 ■プロセス装置の性能改善 ■オプションで0.003μmフィルター内蔵（PF） ■高流量タイプ-最大 2500slpm ■低コスト ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■半導体産業 ■高純度溶接 ■不活性ガスパージなど ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
株式会社エムアイティは、クリーンルームで使用される幅広い製品群から各種計測機器の販売、さらにはエンジン開発に欠かせない実験用可視化エンジンシステムの開発･提供まで、みなさまのご要望に、高い専門性で的確、迅速にお応えします。
