クライオポンプのメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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クライオポンプ - 企業ランキング(全6社)

更新日: 集計期間:2026年01月28日〜2026年02月24日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。

会社名 代表製品
製品画像・製品名・価格帯 概要 用途/実績例
【ラインナップ】 ○CRYO-U4H/U6H/U8H/U10H/U12H ○CRYO-U16H/U16P/U20H/U20P ○CRYO-U22H/U22P/U22WB/U30H ○L型:CRYO-U8HL/U10HL/U12HL [コンプレッサユニット] ○C10/... 【用途】 ○真空蒸着装置 ○スパッタリング装着 ○イオン注入装置 ○半導体プロセス装置 ○加速器 ○核融合装置 ○表面分析装置 ○スペースチャンバ ○その他清浄な高真空、極高真空が要求される装置
【特徴】 ○4型のクライオポンプで最高の排気特性を発揮します。 ○高い排気速度は、排気効率と生産性の向上に寄与します。 ○特に半導体製造装置のスパッタプロセスや小規模の装置に適しています。 ○1台のコンプレッサーで4台までのポンプを運転することが可能です。 ○ご使用の用...
【特徴】 ○アルゴンの排気容量は従来機種(U12H)の約2倍 ○水素の排気容量は従来機種(U12H)の約1.5倍 ○再生までのインターバルが長くなり、装置の稼働率の向上、膜質の向上に貢献します。
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  1. 代表製品
    クライオポンプ CRYO-Uシリーズクライオポンプ CRYO-Uシリーズ
    概要
    【ラインナップ】 ○CRYO-U4H/U6H/U8H/U10H/U12H ○CRYO-U16H/U16P/U20H/U20P ○CRYO-U22H/U22P/U22WB/U30H ○L型:CRYO-U8HL/U10HL/U12HL [コンプレッサユニット] ○C10/...
    用途/実績例
    【用途】 ○真空蒸着装置 ○スパッタリング装着 ○イオン注入装置 ○半導体プロセス装置 ○加速器 ○核融合装置 ○表面分析装置 ○スペースチャンバ ○その他清浄な高真空、極高真空が要求される装置
    クライオポンプ CRYO-U 4Hクライオポンプ CRYO-U 4H
    概要
    【特徴】 ○4型のクライオポンプで最高の排気特性を発揮します。 ○高い排気速度は、排気効率と生産性の向上に寄与します。 ○特に半導体製造装置のスパッタプロセスや小規模の装置に適しています。 ○1台のコンプレッサーで4台までのポンプを運転することが可能です。 ○ご使用の用...
    用途/実績例
    クライオポンプ CRYO-U12HSPクライオポンプ CRYO-U12HSP
    概要
    【特徴】 ○アルゴンの排気容量は従来機種(U12H)の約2倍 ○水素の排気容量は従来機種(U12H)の約1.5倍 ○再生までのインターバルが長くなり、装置の稼働率の向上、膜質の向上に貢献します。
    用途/実績例