優れた信頼性、高性能と高品質、バラエティに富んだ豊富な機種をラインナップ。
クライオポンプ CRYO-Uシリーズは、アルバック・クライオの真空技術と米国CTIの冷凍機技術をベースに、超電導、医療機器、測定器、冷凍容器分野で使用される極低温4K冷凍機などのために新たに開発されました。 優れた信頼性、高性能と高品質で、バラエティに富んだ豊富な機種をラインナップしております。 さらに、再生時間短縮のためにバンドヒーター、ノイズに強いクライオ温度計、自動再生装置など豊富なオプションもそろえております。 【特徴】 ○他のポンプでは得られないクリーンな真空が得られる ○すべての気体が排気できる ○液体窒素が不要なので安いランニングコストで使用可能 ○コンパクトデザインで軽量 ○操作が簡単 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【ラインナップ】 ○CRYO-U4H/U6H/U8H/U10H/U12H ○CRYO-U16H/U16P/U20H/U20P ○CRYO-U22H/U22P/U22WB/U30H ○L型：CRYO-U8HL/U10HL/U12HL [コンプレッサユニット] ○C10/C10AT/C15R/C40R ○C30VR/C30MVR/C30PVRT/C30PMVRT [クライオ マルチシステム] ○CRYO-U6H・3/U8H・3/U10H・2/U8H・4 [スパッタリングプロセス用クライオポンプ] ○CRYO-U8HSP/U1HSP/U12HSP [スーパートラップ] ○スーパートラップシリーズ ○Speed TSシリーズ [極低温冷凍機] ○4K冷凍機 ○GM冷凍機 [オプション] ○再生用コントロールユニットARC型 ○再生ガス配管ユニットPR型 ○再生用バンドヒーターPBH型 ○クライオ熱電対温度計MBS-C ○クライオメータMBD型 [特殊クライオポンプ] ○急速常温再生 他 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○真空蒸着装置 ○スパッタリング装着 ○イオン注入装置 ○半導体プロセス装置 ○加速器 ○核融合装置 ○表面分析装置 ○スペースチャンバ ○その他清浄な高真空、極高真空が要求される装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。