よりクリーンな真空、より高度な真空制御を、より広範な真空圧力領域
必要不可欠な「超高真空」 半導体製造プロセスに欠かすことのできない「超高真空」・あるいは新材料や素粒子に関する基礎研究でも「超高真空」は、重要な役割を担っています。よりクリーンな真空、より高度な真空制御を、より広範な真空圧力領域で実現することが、先端科学技術の成果をより大きなものへと導いてくれるのです。 高い排気速度とクリーンな真空品質 豊富な空調技術から開発した独自のヘリウム圧縮機とソルベイサイクル冷凍方式によるクライオポンプユニットを発売。高い排気速度とクリーンな真空品質、なにより、その信頼性と完成された機能が、さまざまな現場で評価されてきました。生産性の向上と、効率化を求める二ーズに応えて、ラインアップを追加し、シリーズ別分類によって、 ますます充実したMarathon CPシリーズ。品質で語る真空が、ここにあります。
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基本情報
特長 逆拡散のないクリーンな超高真空 クライオポンプは、排気系内にオイルが存在せず、逆拡散がありません。起動前に使用される粗引ポンプの油もクロスオーバー圧を高く設定できるため逆拡散の心配がなく、先端産業に欠かせないクリーンバキュームを実現します。 スピーディーな排気で生産性を向上 到達圧力は、水蒸気の排気速度で決まります。クライオポンプは、特に水蒸気に対して排気速度が大きく、スピーディーな真空排気で、生産性の向上に貢献します。 オールマイティにすべての気体に対応 極低温による凝縮と活牲炭による低温吸着の併用で、あらゆる気体をスピーディーに排気します。（毒性、危険性ガスについては対策が必要） タテ、ヨコ取付け方向は自在 取付け方向の制約がなく周辺条件や設計思想に合わせた自在な取付けが行えます。
価格情報
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納期
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用途／実績例
半導体製造における応用分野 スパッタリング装置／イオン注入装置／蒸着装置／エッチング装置／CVD等 物性・物理研究における応用分野 加速器／核融合装置／電子顕微鏡／分子線エピタキシャル装置（MBE）／スペースチャンバー／表面分析装置／イオンビーム測定装置
ラインアップ（11）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| MARATHON CP-8 CRYOPUMP | 取付フランジは、ANSI6“, ISO200又はCF10“の中からお選びいただけます。 オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。 HC-8E4又はF-70圧縮機1台で、最大2台のクライオポンプを運転可能です。 |
| MARATHON CP-8LP CRYOPUMP | 取付フランジは、ANSI6“, ISO200又はCF10“の中からお選びいただけます。 オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。 HC-8E4又はF-70圧縮機1台で、最大2台のクライオポンプを運転可能です。 |
| MARATHON CP-250LP CRYOPUMP | オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。 HC-8E4又はF-70圧縮機1台で、最大2台のクライオポンプを運転可能です。 |
| MARATHON CP-12 CRYOPUMP | 取付フランジは、ANSI10“, ISO320又はCF14“の中からお選びいただけます。 オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。 |
| MARATHON CP-16 CRYOPUMP | 取付フランジは、ISO400, CVC10“又はワイヤシールフランジの中からお選びいただけます。 オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。 |
| MARATHON CP-20 CRYOPUMP | 取付フランジは、ISO500, ANSI 20“又はワイヤシールフランジの中からお選びいただけます。 オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。 |
| Zephyr 空冷式圧縮機 | |
| HC-4E1 水冷式圧縮機 | |
| HC-8E4 水冷式圧縮機 | |
| F-70L/H 水冷式圧縮機 | |
| CSW-61C/D 水冷式圧縮機 |
企業情報
ナガセテクノエンジニアリング株式会社はNAGASEグループの一員として、エンジニアリング機能を核に国内外のお客様にソリューションの提案と提供を行っております。 NAGASEグループ共通の価値観であるサステナビリティ基本方針をエンジニアリング機能により実現することを目指しています。 これまで培った薬液濃度管理技術、真空低温機器メンテナンス技術、画像処理技術等の一層のレベルUpを図るとともに最新かつユニークな技術を積極的に取入れることで、お客様の課題に取り組み、お客様と共に成長してまいります。
