クライオポンプ - 企業ランキング(全5社)
更新日: 集計期間:2026年09月16日〜2026年10月13日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。
企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
|---|---|---|---|
| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
クライオポンプ総合カタログ
応相談 |
【特長】 ◆スパッタ装置用に排気速度可変型のポンプ ◆エッチング、CVD装置などのために耐食性のポンプ ◆極高真空用にベーカブルタイプ ◆分析機器、実験装置などのために防振型 ◆スペースの節約のために、高さをつめたL型ポンプや、1台のコンプレッサーで複数のポンプを運転す... | ||
| 【特徴】 ○4型のクライオポンプで最高の排気特性を発揮します。 ○高い排気速度は、排気効率と生産性の向上に寄与します。 ○特に半導体製造装置のスパッタプロセスや小規模の装置に適しています。 ○1台のコンプレッサーで4台までのポンプを運転することが可能です。 ○ご使用の用... | |||
| 【特徴】 ○アルゴンの排気容量は従来機種(U12H)の約2倍 ○水素の排気容量は従来機種(U12H)の約1.5倍 ○再生までのインターバルが長くなり、装置の稼働率の向上、膜質の向上に貢献します。 | |||
|
---
--- |
--- | --- | |
-
- 代表製品
-
クライオポンプ総合カタログ
- 概要
- 【特長】 ◆スパッタ装置用に排気速度可変型のポンプ ◆エッチング、CVD装置などのために耐食性のポンプ ◆極高真空用にベーカブルタイプ ◆分析機器、実験装置などのために防振型 ◆スペースの節約のために、高さをつめたL型ポンプや、1台のコンプレッサーで複数のポンプを運転す...
- 用途/実績例
クライオポンプ CRYO-U 4H
- 概要
- 【特徴】 ○4型のクライオポンプで最高の排気特性を発揮します。 ○高い排気速度は、排気効率と生産性の向上に寄与します。 ○特に半導体製造装置のスパッタプロセスや小規模の装置に適しています。 ○1台のコンプレッサーで4台までのポンプを運転することが可能です。 ○ご使用の用...
- 用途/実績例
クライオポンプ CRYO-U12HSP
- 概要
- 【特徴】 ○アルゴンの排気容量は従来機種(U12H)の約2倍 ○水素の排気容量は従来機種(U12H)の約1.5倍 ○再生までのインターバルが長くなり、装置の稼働率の向上、膜質の向上に貢献します。
- 用途/実績例
-
すべてを閲覧するには会員登録(無料)が必要です。
すでに会員の方はこちら
アルバック・クライオ株式会社