グローブボックス - 企業ランキング(全45社)
更新日： 集計期間:2025年10月15日〜2025年11月11日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【用途】 ■薄膜アニール＝高融点金属膜アニール、電極・配線膜アニール・合金化 ■ウェハの熱処理＝LTウェハ抵抗値制御アニール、SiウェハH2アニール ■接合材焼結＝パワーデバイスモジュール接合工程 ■ポリイミドキュア＝高密度実装基板 ウェハレベルパッケージ | |||
| ベルト幅２００ｍｍの小型機から６００ｍｍの本格量産タイプまで対応。 加熱温度も常用３５０℃（最高４５０℃）の半田付タイプから最高９００℃の多用途対応タイプまでラインナップ 雰囲気ガスもＮ２にも対応。 炉内クラス１００以下のクリーンタイプもオプション対応 社内にデモ機も常設... | 電子部品高温半田付 パワーデバイス金属ナノ粒子燒結接合 接続端子ロー付 各種ペースト焼成 ウェハバンプリフロー | ||
| 横型石英管タイプのホットウォール型の専用アニール装置。 ターボ分子ポンプとドライ真空ポンプによるクリーンバキューム＆大気圧水素雰囲気による高純度還元熱処理を実現。 石英管急冷機構を標準装備。短タクト処理を実現。 拡張機能により６インチウェハまで対応。 水素雰囲気還元熱処理... | 化合物半導体アニール 研磨後のＳｉウェハのアニール 誘電体ウェハアニール 電極膜・配線膜アニール | ||
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神港精機株式会社 東京支店
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- 代表製品
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アニール装置『可変雰囲気熱処理装置』
- 概要
- 用途/実績例
- 【用途】 ■薄膜アニール＝高融点金属膜アニール、電極・配線膜アニール・合金化 ■ウェハの熱処理＝LTウェハ抵抗値制御アニール、SiウェハH2アニール ■接合材焼結＝パワーデバイスモジュール接合工程 ■ポリイミドキュア＝高密度実装基板 ウェハレベルパッケージ
水素雰囲気コンベア炉（還元雰囲気連続熱処理装置）
- 概要
- ベルト幅２００ｍｍの小型機から６００ｍｍの本格量産タイプまで対応。 加熱温度も常用３５０℃（最高４５０℃）の半田付タイプから最高９００℃の多用途対応タイプまでラインナップ 雰囲気ガスもＮ２にも対応。 炉内クラス１００以下のクリーンタイプもオプション対応 社内にデモ機も常設...
- 用途/実績例
- 電子部品高温半田付 パワーデバイス金属ナノ粒子燒結接合 接続端子ロー付 各種ペースト焼成 ウェハバンプリフロー
横型水素アニール装置（可変雰囲気熱処理装置）
- 概要
- 横型石英管タイプのホットウォール型の専用アニール装置。 ターボ分子ポンプとドライ真空ポンプによるクリーンバキューム＆大気圧水素雰囲気による高純度還元熱処理を実現。 石英管急冷機構を標準装備。短タクト処理を実現。 拡張機能により６インチウェハまで対応。 水素雰囲気還元熱処理...
- 用途/実績例
- 化合物半導体アニール 研磨後のＳｉウェハのアニール 誘電体ウェハアニール 電極膜・配線膜アニール
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神港精機株式会社 東京支店
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