グローブボックス - 企業ランキング(全45社)
更新日： 集計期間:2026年01月14日〜2026年02月10日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| ６インチウェハ対応の石英管の横型炉を標準とし、8インチ、縦型炉がオプション対応 高真空排気系も装備可能で、より純度の高い還元雰囲気熱処理が可能。 実績豊富な機器構成に加えボートローダーやデータロギング機構などの周辺機器も豊富にラインアップ。 不活性雰囲気アニールにも対応でき... | 半導体 ・研磨後ウェハ熱処理 ・電極膜シンター ・高融点金属膜アニール ・化合物半導体べーく ＳＡＷデバイス ・誘電体ウェハアニール フレキシブルデバイス ・金属配線パターン焼成 こがた金属部品還元アニール | ||
| 立体毛状基板（機械部品・治工具・金型）対応の従来型硬質膜用ＡＤＭＳ装置にＡｌＮ膜用カソードとプロセスソフト装備可能 ウェハやセラミックなどの平面基板でなく立体形状品への成膜を高高率で実現。 高い信頼性を持つ全自動量産システムをラインナップ。 | 半導体製造装置部品・静電チャック セラミック表面処理 ヒートシンク 絶縁基板 治工具 金型等 | ||
| 電子ビームによる各種材料の蒸発とアークフィラメント式イオン化法により安定して反応膜生成膜（窒化膜・酸化膜・炭化膜）を形成。 成膜レートも反応ガス流量のみで制御。シンプルで信頼性の高いハードにより最新の成膜プロセスを提供 充実の成膜プロセス ・耐プラズマ性イットリア膜（１... | イットリアコーティング ・半導体製造装置部品表面処理 ・耐熱性部品表面処理 ＳｉＣコーティング ・半導体製造装置部品表面処理 ・精密金型 ・耐酸化性表面処理 | ||
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神港精機株式会社 東京支店
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- 代表製品
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水素アニール装置（電子デバイス用、サンプルテスト対応中）
- 概要
- ６インチウェハ対応の石英管の横型炉を標準とし、8インチ、縦型炉がオプション対応 高真空排気系も装備可能で、より純度の高い還元雰囲気熱処理が可能。 実績豊富な機器構成に加えボートローダーやデータロギング機構などの周辺機器も豊富にラインアップ。 不活性雰囲気アニールにも対応でき...
- 用途/実績例
- 半導体 ・研磨後ウェハ熱処理 ・電極膜シンター ・高融点金属膜アニール ・化合物半導体べーく ＳＡＷデバイス ・誘電体ウェハアニール フレキシブルデバイス ・金属配線パターン焼成 こがた金属部品還元アニール
ALNコーティング装置（高密度プラズマスパッタADMS装置）
- 概要
- 立体毛状基板（機械部品・治工具・金型）対応の従来型硬質膜用ＡＤＭＳ装置にＡｌＮ膜用カソードとプロセスソフト装備可能 ウェハやセラミックなどの平面基板でなく立体形状品への成膜を高高率で実現。 高い信頼性を持つ全自動量産システムをラインナップ。
- 用途/実績例
- 半導体製造装置部品・静電チャック セラミック表面処理 ヒートシンク 絶縁基板 治工具 金型等
イットリアコーティング装置（ＡＦ－ＩＰ装置）
- 概要
- 電子ビームによる各種材料の蒸発とアークフィラメント式イオン化法により安定して反応膜生成膜（窒化膜・酸化膜・炭化膜）を形成。 成膜レートも反応ガス流量のみで制御。シンプルで信頼性の高いハードにより最新の成膜プロセスを提供 充実の成膜プロセス ・耐プラズマ性イットリア膜（１...
- 用途/実績例
- イットリアコーティング ・半導体製造装置部品表面処理 ・耐熱性部品表面処理 ＳｉＣコーティング ・半導体製造装置部品表面処理 ・精密金型 ・耐酸化性表面処理
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神港精機株式会社 東京支店
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