ステージコントローラ - 企業ランキング(全5社)
更新日: 集計期間:2026年01月07日〜2026年02月03日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
10nmフィードバックステージコントローラ FC-514
50万円 ~ 100万円 |
型式:FC-514 接続対象ステージ:FS-3200PX、FC-511と同様のステージ 制御軸数:2 最小指令単位:10nm インポジション範囲:±10nm(±30nm、±70nm 選択可) 最大動作速度設定:50mm/sec(接続ステージの性能が優先) 制御インター... | 先端研究等の位置決め用途 光学系の位置決め マイクロデバイスの評価時の位置決め | |
5nmフィードバックステージコントローラ FC-611
50万円 ~ 100万円 |
型式:FC-611 接続対象ステージ:FS-10□0SPXシリーズ、FS-10□0SPX(V)シリーズ 制御軸数:2 最小指令単位:5nm インポジション範囲:±5nm(±15nm、±35nm 選択可) 最大動作速度設定:30mm/sec(接続ステージの性能に依存) ... | 最先端研究での位置決め用途 電子線やレーザー光の位置決めなど | |
10nmフィードバックステージコントローラ FC-511
50万円 ~ 100万円 |
型式:FC-511 接続対象ステージ:FS-10□0PXシリーズ、FS-1100PX、FS-3150PX、FS-1005PZ、FS-1010PZ、FS-10□0PX(V)シリーズ、FS-1100PX(V)、FS-1005PZ(V)、FS-1010PZ(V) 制御軸数:2 最... | 先端研究等の位置決め用途 光学系の位置決め マイクロデバイスの評価時の位置決め | |
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- 代表製品
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10nmフィードバックステージコントローラ FC-514
- 概要
- 型式:FC-514 接続対象ステージ:FS-3200PX、FC-511と同様のステージ 制御軸数:2 最小指令単位:10nm インポジション範囲:±10nm(±30nm、±70nm 選択可) 最大動作速度設定:50mm/sec(接続ステージの性能が優先) 制御インター...
- 用途/実績例
- 先端研究等の位置決め用途 光学系の位置決め マイクロデバイスの評価時の位置決め
5nmフィードバックステージコントローラ FC-611
- 概要
- 型式:FC-611 接続対象ステージ:FS-10□0SPXシリーズ、FS-10□0SPX(V)シリーズ 制御軸数:2 最小指令単位:5nm インポジション範囲:±5nm(±15nm、±35nm 選択可) 最大動作速度設定:30mm/sec(接続ステージの性能に依存) ...
- 用途/実績例
- 最先端研究での位置決め用途 電子線やレーザー光の位置決めなど
10nmフィードバックステージコントローラ FC-511
- 概要
- 型式:FC-511 接続対象ステージ:FS-10□0PXシリーズ、FS-1100PX、FS-3150PX、FS-1005PZ、FS-1010PZ、FS-10□0PX(V)シリーズ、FS-1100PX(V)、FS-1005PZ(V)、FS-1010PZ(V) 制御軸数:2 最...
- 用途/実績例
- 先端研究等の位置決め用途 光学系の位置決め マイクロデバイスの評価時の位置決め
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シグマ光機株式会社