10nm分解能で位置決め制御！検査や研究の再現性向上に！
10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。
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基本情報
型式：FC-511 接続対象ステージ：FS-10□0PXシリーズ、FS-1100PX、FS-3150PX、FS-1005PZ、FS-1010PZ、FS-10□0PX(V)シリーズ、FS-1100PX(V)、FS-1005PZ(V)、FS-1010PZ(V) 制御軸数：2 最小指令単位：10nm インポジション範囲：±10nm（±30nm、±70nm 選択可） 最大動作速度設定：50mm/sec（接続ステージの性能に依存） 制御インターフェース：緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O ティーチング機能：200行×5チャンネル（1行1コマンド） 電源：AC100V～240V
価格帯
50万円 ~ 100万円
納期
用途／実績例
先端研究等の位置決め用途 光学系の位置決め マイクロデバイスの評価時の位置決め
ラインアップ（2）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| FC-511 | FC-501Aの後継機 |
| FC-514 | FC-511にスローダウン機能が付いたもの |
カタログ（3）
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企業情報
シグマ光機グループは、グローバルブランド『OptoSigma』の名の下、国内外のマーケットに対して 「光ソリューション・カンパニー」としての使命、そして「感謝」「挑戦」「創出」の気持ちを胸に、 さらに積極的に事業を展開し継続的な成長を果たすべく全社一丸となって挑戦してまいります。 今後とも、真の「ものづくり」を追求するシグマ光機グループに、皆様のご理解とご支援を賜りますよう、心よりお願い申し上げます。