プラズマエッチング装置 - 企業ランキング(全6社)
更新日： 集計期間:2026年05月27日〜2026年06月23日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 基本構成を従来型エッチング装置「SERIO」「EXAM」と互換性を持つ高密度プラズマエッチング装置。 チャンバ構造・排気系・電源構成等は従来型エッチング装置「SERIO」とも互換性を持っており、電極交換によりＣｕエッチング等新プロセス対応にアップグレード可能。 大型基板用にＣ... | Ｃｕ薄膜エッチング 薄膜磁気ヘッドＣｕエッチング フォトマスクエッチング 高密度実装基板Ｃｕエッチング | ||
| 標準仕様 ステージ寸法：２５０ｍｍ□ エッチング方式：ＲＩＥ ＣＦ系ガス標準 シンプルな機構でＲＩＥ／ＤＰモード切替可能 ステージ温度制御（水冷／加熱）選択可能 ステージ寸法大型化（最大５００ｍｍ□）対応可能 | ＭＥＭＳセンサーエッチング：ＳｉＮ ＳｉＯ２、Ｓｉ 電子部品エッチング：ＳｉＯ２ 半導体ウェハ成膜前ライトエッチング（自然酸化膜除去） インプリントモールド厚膜レジストパターニング ＭＥＭＳ／半導体レジストアッシング・ディスカム | ||
大型プラズマエッチング装置
応相談 |
標準５００ｍｍ□のステージを装備したバッチタイプ平行平板型プラズマエッチング装置。 高周波プラズマを標準とし電極の切替によりRIE・プラズマエッチングのどちらのモードにも対応。 Ｆ系ガスによるエッチング・アッシングを標準的なプロセスとしＳｉ系・ＳｉＯ2系・ＳｉN系のエッチング... | ウェハレベルパッケージ FPD研究試作 小型電子部品量産 ＭＥＭＳ開発量産 精密機械部品クリーニング・加工 半導体製造装置部品・材料クリーニング・表面改質 | |
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神港精機株式会社 東京支店
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- 代表製品
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Ｃｕエッチング対応高密度プラズマエッチング装置
- 概要
- 基本構成を従来型エッチング装置「SERIO」「EXAM」と互換性を持つ高密度プラズマエッチング装置。 チャンバ構造・排気系・電源構成等は従来型エッチング装置「SERIO」とも互換性を持っており、電極交換によりＣｕエッチング等新プロセス対応にアップグレード可能。 大型基板用にＣ...
- 用途/実績例
- Ｃｕ薄膜エッチング 薄膜磁気ヘッドＣｕエッチング フォトマスクエッチング 高密度実装基板Ｃｕエッチング
プラズマエッチング装置「ＥＸＡＭ」サンプルテスト受付中
- 概要
- 標準仕様 ステージ寸法：２５０ｍｍ□ エッチング方式：ＲＩＥ ＣＦ系ガス標準 シンプルな機構でＲＩＥ／ＤＰモード切替可能 ステージ温度制御（水冷／加熱）選択可能 ステージ寸法大型化（最大５００ｍｍ□）対応可能
- 用途/実績例
- ＭＥＭＳセンサーエッチング：ＳｉＮ ＳｉＯ２、Ｓｉ 電子部品エッチング：ＳｉＯ２ 半導体ウェハ成膜前ライトエッチング（自然酸化膜除去） インプリントモールド厚膜レジストパターニング ＭＥＭＳ／半導体レジストアッシング・ディスカム
大型プラズマエッチング装置
- 概要
- 標準５００ｍｍ□のステージを装備したバッチタイプ平行平板型プラズマエッチング装置。 高周波プラズマを標準とし電極の切替によりRIE・プラズマエッチングのどちらのモードにも対応。 Ｆ系ガスによるエッチング・アッシングを標準的なプロセスとしＳｉ系・ＳｉＯ2系・ＳｉN系のエッチング...
- 用途/実績例
- ウェハレベルパッケージ FPD研究試作 小型電子部品量産 ＭＥＭＳ開発量産 精密機械部品クリーニング・加工 半導体製造装置部品・材料クリーニング・表面改質
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神港精機株式会社 東京支店
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