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全自動機 - 企業ランキング(全5社)

更新日： 集計期間:2025年10月08日〜2025年11月04日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。

会社名 代表製品
製品画像・製品名・価格帯 概要 用途/実績例
株式会社インターテック販売 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）
全自動RTP（高速熱処理）装置
全自動RTP（高速熱処理）装置

応相談

 【仕様】 ■ 温度制御範囲：200～1250℃ ■ 温度制御方式：マルチPIDコントロール ■ 面内温度均一性：≦±3％（600℃以下）、≦±1.5％（600℃以上） ■ 面内抵抗値均一性：面内抵抗値均一性 ■ 真空：〇 ■ ウエハ寸法：6～8 ■ 加熱ランプ：タングステン・ハ... ■ アプリケーション ・インプラ後のアニーリング ・ドーパント活性化 ・金属膜コンタクトアニーリング ・シリサイド形成（チタン、コバルト、ニッケル、白金など） ・ソース/ドレインアニーリング
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  1. 株式会社インターテック販売 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）
    代表製品
    全自動RTP（高速熱処理）装置全自動RTP（高速熱処理）装置
    概要
    【仕様】 ■ 温度制御範囲：200～1250℃ ■ 温度制御方式：マルチPIDコントロール ■ 面内温度均一性：≦±3％（600℃以下）、≦±1.5％（600℃以上） ■ 面内抵抗値均一性：面内抵抗値均一性 ■ 真空：〇 ■ ウエハ寸法：6～8 ■ 加熱ランプ：タングステン・ハ...
    用途/実績例
    ■ アプリケーション ・インプラ後のアニーリング ・ドーパント活性化 ・金属膜コンタクトアニーリング ・シリサイド形成（チタン、コバルト、ニッケル、白金など） ・ソース/ドレインアニーリング
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