原子層堆積装置 - 企業ランキング(全5社)

更新日：2025年04月23日集計期間:2025年03月26日〜2025年04月22日
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会社名	企業情報	代表製品
会社名	企業情報	製品画像・製品名・価格帯	概要	用途/実績例
株式会社エイチ・ティー・エル HTL（エイチティーエル）	所在地東京都従業員数 100 事業内容【装置販売とサービス】【3DP事業部】　■3Dプリンタ金属積層造形装置　■3Dプリンタ金属パウダ【マスク事業部】　■半導体製造・検査装置　■FPD/マスク製造・検査装置　■MEMS/ LED/ NanoTech製造・検査装置、関連製品　■原子層堆積装置 (ALD: Atomic Layer Deposition) 【ソフトウェア開発】　■製造・検査装置など組込機器・システム装置のソフトウエア開発　（オフショア・オンサイト）主要取引先	卓上型サーマル式 / プラズマ支援原子層堆積（ALD）装置応相談	特長・小型でコンパクトな卓上タイプのALD装置です。研究室での実験にまた2台目の専用ALD装置として最適・扱いやすいユーザーフレンドリーなソフトウェアにて成膜レシピの作成も簡単・オプションにて簡単にプラズマユニットの取り付けが可能成膜材料 Al2O3、SiO2、 HfO2、 TiO2、ZnO、TiN、 Pt、 Ruなど基板 4～8インチ、高さ約25mmまでの構造物粉体、カーボンナノチューブ（CNT）やグラフェンにも成膜可能チャンネル数最多8種類のプレカーサ装備が可能チャンバー温度最高300℃（オプション450℃）オプションオゾン発生器、リモートプラズマ装置、紛体コーティング治具（量子ドットやナノパーティクルへコーティング）、 Load Lockもございます。	幅広い成膜材料に対応 Al2O3、SiO2、 HfO2、 TiO2、ZrO2、TiN、 Pt、 Ruなど
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株式会社エイチ・ティー・エル HTL（エイチティーエル）

所在地

東京都

従業員数

100

事業内容

【装置販売とサービス】【3DP事業部】　■3Dプリンタ金属積層造形装置　■3Dプリンタ金属パウダ【マスク事業部】　■半導体製造・検査装置　■FPD/マスク製造・検査装置　■MEMS/ LED/ NanoTech製造・検査装置、関連製品　■原子層堆積装置 (ALD: Atomic Layer Deposition) 【ソフトウェア開発】　■製造・検査装置など組込機器・システム装置のソフトウエア開発　（オフショア・オンサイト）

主要取引先

代表製品

卓上型サーマル式 / プラズマ支援原子層堆積（ALD）装置

概要

特長・小型でコンパクトな卓上タイプのALD装置です。研究室での実験にまた2台目の専用ALD装置として最適・扱いやすいユーザーフレンドリーなソフトウェアにて成膜レシピの作成も簡単・オプションにて簡単にプラズマユニットの取り付けが可能成膜材料 Al2O3、SiO2、 HfO2、 TiO2、ZnO、TiN、 Pt、 Ruなど基板 4～8インチ、高さ約25mmまでの構造物粉体、カーボンナノチューブ（CNT）やグラフェンにも成膜可能チャンネル数最多8種類のプレカーサ装備が可能チャンバー温度最高300℃（オプション450℃）オプションオゾン発生器、リモートプラズマ装置、紛体コーティング治具（量子ドットやナノパーティクルへコーティング）、 Load Lockもございます。

用途/実績例

幅広い成膜材料に対応 Al2O3、SiO2、 HfO2、 TiO2、ZrO2、TiN、 Pt、 Ruなど
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所在地

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事業内容

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