原子層堆積装置 - 企業ランキング(全7社)
更新日: 集計期間:2025年09月17日〜2025年10月14日
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企業情報を表示
会社名 | 代表製品 | ||
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製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
【ALD装置の特長】 ■プリカーサの熱分解リスクの低減 ■バブリングを用いないパーティクルレス化 ■供給・排気ラインの適した温度管理 ■Hi-Watty(AlNヒータ)を採用したヒートステージ ■多様なカスタマイズと安全構造 ■成膜種例(Al2O3、TiO2、HfO2... | |||
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- 代表製品
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実験・研究開発用途 受託成膜サービス『ALD(原子層堆積)装置』
- 概要
- 【ALD装置の特長】 ■プリカーサの熱分解リスクの低減 ■バブリングを用いないパーティクルレス化 ■供給・排気ラインの適した温度管理 ■Hi-Watty(AlNヒータ)を採用したヒートステージ ■多様なカスタマイズと安全構造 ■成膜種例(Al2O3、TiO2、HfO2...
- 用途/実績例
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