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卓上型サーマル式 / プラズマ支援 原子層堆積(ALD)装置

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最終更新日:2023年07月18日

株式会社エイチ・ティー・エル HTL(エイチティーエル)
株式会社エイチ・ティー・エル HTL(エイチティーエル)
  • 公式サイト

Arradiance社製卓上型ALD装置 卓上型ながらプラズマユニットも装備可能 酸化膜以外にも窒化物、PtやRuなど成膜が可能

テーブルトップのコンパクトサイズALD装置ながら原子レベルレイヤーの成膜が可能。プラズマユニットを装備したPEALD装置もございます。 直径200mm、高さ25mmまでの構造物、カーボンナノチューブ(CNT)やグラフェンにも成膜可能。 酸化膜以外にも窒化物、PtやRuの金属の成膜も対応。 4系統のマスフロー制御プラズマ・ガス入力を備えた300W空冷ダイレクトICPプラズマヘッド 最大300°Cまで調整可能なリアクター(反応器)温度 低蒸気圧用の材料供給加圧アシスト機能付き 試料ステージは直径200mm基板まで選択可能 450℃加熱ステージも選択可能 Arradiance GEMFlowソフトウェアは、 扱いやすく、成膜レシピの作成も簡単に行えます。 温度、ガス流量、高速ALDバルブ、高周波(RF)パワー、 真空隔離など、すべての主要な動作パラメータを制御。 診断システムとログにより、操作中のすべてのシステム・パラメータが追跡可能 RGIP(Reactor Gas Injection Protocol)について ガスポート監視インターロック機能を備えています。

    その他表面処理装置
スクリーンショット

卓上型サーマル式 / プラズマ支援 原子層堆積(ALD)装置

スクリーンショット 2022-09-22 162629.png
スクリーンショット 2022-09-22 162629.png
  • 関連リンク - https://www.htlco.co.jp/arradiance.html

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基本情報

特長 ・小型でコンパクトな卓上タイプのALD装置です。研究室での実験にまた2台目の専用ALD装置として最適 ・扱いやすいユーザーフレンドリーなソフトウェアにて成膜レシピの作成も簡単 ・オプションにて簡単にプラズマユニットの取り付けが可能 成膜材料 Al2O3、SiO2、 HfO2、 TiO2、ZnO、TiN、 Pt、 Ruなど 詳細はお問い合わせください。 基板 4~8インチ、高さ約25mmまでの構造物 粉体、カーボンナノチューブ(CNT)やグラフェンにも成膜可能 チャンネル数 最多8種類のプレカーサ装備が可能 チャンバー温度 最高300℃(オプション450℃) オプション オゾン発生器、 リモートプラズマ装置、 紛体コーティング治具(量子ドットやナノパーティクルへコーティング)、 Load Lockもございます。 詳細はお問い合わせください。 (成膜サービス(有償)も実施しております。詳細はお問い合わせください。)

価格帯

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納期

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用途/実績例

幅広い成膜材料に対応 Al2O3、SiO2、 HfO2、 TiO2、ZrO2、TiN、 Pt、 Ruなど ※詳細成膜材料については、弊社営業部までお問い合わせください。

詳細情報

  • スクリーンショット

    卓上型サーマル式/プラズマ支援 原子層堆積装置 (ALD/PEALD)  GEMStar XTシリーズ テーブルトップのコンパクトサイズながら原子レベルレイヤーの成膜が可能。 直径200mm、高さ約25mmまでの構造物、カーボンナノチューブ(CNT)やグラフェンにも成膜可能。 酸化膜以外にも窒化物、PtやRuの金属の成膜も対応。プラズマ発生ユニット等多彩なオプションを用意。

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GEMStar和文カタログ_HTL202209

GEMStar和文カタログ_HTL202209

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この製品に関するニュース(1)

33rd International Photovoltaic Science and Engineering Conferance (PVSED-33)にオンライン出展いたします。

  • セミナー・イベント

2022 年11月13日から17日まで日本の名古屋国際会議場で開催される第 33 回国際太陽光発電科学技術会議 (PVSEC-33) にオンライン出展いたします。 PVSEC-33は、2022 年にアジア太平洋地域で最大かつ最も包括的な 太陽光発電に関するカンファレンスになります。 世界の太陽光発電科学者やエンジニアが太陽光発電技術の最新の開発を紹介し、共有する国際会議にて、弊社取り扱い米国Arradiance社製卓上型サーマル/プラズマ式ALD装置をご紹介いたします。 そのほか、デンマークNIL Technology社製簡易型熱ナノインプリント装置CNIツールやドイツ MicroResist Technology社製レジストのご紹介も致します。 ご興味ございましたら、ぜひ弊社オンラインブースへお問い合わせください。 また弊社HPからのお問い合わせもお待ちしております。 http://www.htlco.co.jp/

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企業情報

株式会社エイチ・ティー・エル

株式会社エイチ・ティー・エル HTL(エイチティーエル)

産業用機械

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当社は技術商社として、様々な造形方式の3Dプリンタ装置、各種半導体製造装置の販売と、アフター・メンテナンス・サービスで長年培った経験を活かし、御客様へアプリケーション・サポートなどのトータル・ソリューションをご提供して参ります。 3Dプリンタ装置では、電子ビーム・パウダベッド/レーザ・パウダベッド/レーザ・デポジションなど金属積層造形の主だった3種類の方式を取り扱っており、お客様のアプリケーションに適したご提案が可能です。 材料についても金属3Dプリンタ用高硬度、高耐摩耗特性を備えた金属パウダの販売も行っております。 さらに半導体製造装置関連の分野では、原子層堆積装置 (ALD: Atomic Layer Deposition) などもお取扱いをしております。

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