回転ステージ - 企業ランキング(全12社)
更新日： 集計期間:2026年08月26日〜2026年09月22日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【特長】 ■薄型でわずか14mmの高さ ■分解能が最大4μ radのダイレクト位置測定 ■最高速度540°/秒 ■両方向の回転で最大0.3Nmのトルク ■開口部の直径は36mm ■真空対応タイプ（10-6pha）オプションであり 【モデル】 ■U-651.03 ■U-651.0... | 【アプリケーション例】 ■研究および製造業 ■マイクロマニビュレーション ■オートメーション ■光計測学 | ||
| 動作範囲：> 360° 駆動面の直径：365mm 開口：260mm 偏芯：300nm 平坦度：175nm Wobble：1μrad 内蔵センサー：インクリメンタル・アブソリュート 最大速度：500rpm | ・トモグラフィ ・ビームラインシステム ・ウェーハ計測 ・ウェーハ検査 ・精密計測 ・検査装置 ・キャリブレーション ・スキャニング | ||
| ・ダイレクトドライブによる効率的な動的性能 ・モーションプラットフォーム 直径85 mm、110 mm、210 mm ・偏芯および平面度 < 1 μm ・薄型 | ・サンプル検査 ・精密マイクロアセンブリ ・研究 ・バイオテクノロジー ・半導体検査・測定 ・オートメーション ・デバイス組立 ・レーザー微細加工 ・センサー校正とテスト | ||
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PIジャパン株式会社
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- 代表製品
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薄型回転ステージ｜光学アライメント品質を維持するピエゾ駆動
- 概要
- 【特長】 ■薄型でわずか14mmの高さ ■分解能が最大4μ radのダイレクト位置測定 ■最高速度540°/秒 ■両方向の回転で最大0.3Nmのトルク ■開口部の直径は36mm ■真空対応タイプ（10-6pha）オプションであり 【モデル】 ■U-651.03 ■U-651.0...
- 用途/実績例
- 【アプリケーション例】 ■研究および製造業 ■マイクロマニビュレーション ■オートメーション ■光計測学
大型ワークの回転測定品質を維持する回転ステージ
- 概要
- 動作範囲：> 360° 駆動面の直径：365mm 開口：260mm 偏芯：300nm 平坦度：175nm Wobble：1μrad 内蔵センサー：インクリメンタル・アブソリュート 最大速度：500rpm
- 用途/実績例
- ・トモグラフィ ・ビームラインシステム ・ウェーハ計測 ・ウェーハ検査 ・精密計測 ・検査装置 ・キャリブレーション ・スキャニング
回転ステージ（高精度アライメント／ダイレクトドライブ）検査向け
- 概要
- ・ダイレクトドライブによる効率的な動的性能 ・モーションプラットフォーム 直径85 mm、110 mm、210 mm ・偏芯および平面度 < 1 μm ・薄型
- 用途/実績例
- ・サンプル検査 ・精密マイクロアセンブリ ・研究 ・バイオテクノロジー ・半導体検査・測定 ・オートメーション ・デバイス組立 ・レーザー微細加工 ・センサー校正とテスト
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PIジャパン株式会社
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