回転ステージ - 企業ランキング(全12社)
更新日： 集計期間:2026年05月27日〜2026年06月23日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【特長】 ■薄型でわずか14mmの高さ ■分解能が最大4μ radのダイレクト位置測定 ■最高速度540°/秒 ■両方向の回転で最大0.3Nmのトルク ■開口部の直径は36mm ■真空対応タイプ（10-6pha）オプションであり 【モデル】 ■U-651.03 ■U-651.0... | 【アプリケーション例】 ■研究および製造業 ■マイクロマニビュレーション ■オートメーション ■光計測学 | ||
| 動作範囲：> 360° 駆動面の直径：365mm 開口：260mm 偏芯：300nm 平坦度：175nm Wobble：1μrad 内蔵センサー：インクリメンタル・アブソリュート 最大速度：500rpm | ・トモグラフィ ・ビームラインシステム ・ウェーハ計測 ・ウェーハ検査 ・精密計測 ・検査装置 ・キャリブレーション ・スキャニング | ||
| ・エアベアリング方式：半球形エアベアリング ・回転自由度：3軸回転（θX、θY、θZ） ・チルト可動範囲：±45° ・最大耐荷重：最大635 kg ・動作圧力：30～90 psi（207～621 kPa） ・対応直径：50 mm ～ 300 mm ・クリーンルーム対応... | ・衛星制御システムのモーションシミュレーション ・無重量環境の再現・試験装置構築 ・高精度光学素子の傾斜・回転アライメント ・精密チップ実装時の角度補正モジュール ・クリーンルーム内での非接触荷重保持・回転 ・高剛性ドライブシャフトの軸合わせ用サポート機構 | ||
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PIジャパン株式会社
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- 代表製品
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薄型回転ステージ｜光学アライメント品質を維持するピエゾ駆動
- 概要
- 【特長】 ■薄型でわずか14mmの高さ ■分解能が最大4μ radのダイレクト位置測定 ■最高速度540°/秒 ■両方向の回転で最大0.3Nmのトルク ■開口部の直径は36mm ■真空対応タイプ（10-6pha）オプションであり 【モデル】 ■U-651.03 ■U-651.0...
- 用途/実績例
- 【アプリケーション例】 ■研究および製造業 ■マイクロマニビュレーション ■オートメーション ■光計測学
大型ワークの回転測定品質を維持する回転ステージ
- 概要
- 動作範囲：> 360° 駆動面の直径：365mm 開口：260mm 偏芯：300nm 平坦度：175nm Wobble：1μrad 内蔵センサー：インクリメンタル・アブソリュート 最大速度：500rpm
- 用途/実績例
- ・トモグラフィ ・ビームラインシステム ・ウェーハ計測 ・ウェーハ検査 ・精密計測 ・検査装置 ・キャリブレーション ・スキャニング
摩擦由来誤差を抑える半球型エアベアリング
- 概要
- ・エアベアリング方式：半球形エアベアリング ・回転自由度：3軸回転（θX、θY、θZ） ・チルト可動範囲：±45° ・最大耐荷重：最大635 kg ・動作圧力：30～90 psi（207～621 kPa） ・対応直径：50 mm ～ 300 mm ・クリーンルーム対応...
- 用途/実績例
- ・衛星制御システムのモーションシミュレーション ・無重量環境の再現・試験装置構築 ・高精度光学素子の傾斜・回転アライメント ・精密チップ実装時の角度補正モジュール ・クリーンルーム内での非接触荷重保持・回転 ・高剛性ドライブシャフトの軸合わせ用サポート機構
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PIジャパン株式会社
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