基板洗浄機 - 企業ランキング(全8社)
更新日: 集計期間:2026年09月02日〜2026年09月29日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【その他の特長】 ■特許の遮断分離板で下段処理部のケミカルガスやミストの完全分離/飛散防止 ■基板の裏面に対して、薬液/リンス処理が可能で裏面もコンタミフリー ■製造工程短縮で、生産効率大幅Upやクリーンルーム占有面積大幅削減可能 ◎1-システム装置内で、エッチング⇒剥... | |||
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- 代表製品
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《新型》UDSスピン枚葉装置(レジスト剥離/リフトオフ系)
- 概要
- 【その他の特長】 ■特許の遮断分離板で下段処理部のケミカルガスやミストの完全分離/飛散防止 ■基板の裏面に対して、薬液/リンス処理が可能で裏面もコンタミフリー ■製造工程短縮で、生産効率大幅Upやクリーンルーム占有面積大幅削減可能 ◎1-システム装置内で、エッチング⇒剥...
- 用途/実績例
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株式会社ソフエンジニアリング