大気圧プラズマ装置のメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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大気圧プラズマ装置 - 企業ランキング(全45社)

更新日: 集計期間:2026年02月25日〜2026年03月24日
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会社名 代表製品
製品画像・製品名・価格帯 概要 用途/実績例
【特徴】 ○枚葉式のスプレー洗浄装置 ○被洗浄物を試料台に置き、スタートSWをON →試料台は回転を開始 →同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイング →2流体ノズルより高圧純水をスプレー ○メガソニックによる仕上げ洗浄実行 ○スピン乾燥実行 【仕様】 ○外...
【仕様】 ■基板サイズ:最大φ12インチ ■反応ガス:O2 、N2 、 H2O(オプション) ■基板加熱温度:最高1000 ℃(基板表面) ■加熱源:ハロゲンランプ ■昇温レート:最大150 ℃/sec ■真空排気:DP ■制御操作  ・制御:PLC  ・操作:... 【用途】 ■半導体 ■MEMS ■電子部品
【ラインアップ】 ■□650×550mm対応量産用セル評価装置 ■有機EL用Ag蒸発源 ■□100mm対応プラズマCVD室 ■□100mm対応透明電極用スパッタ室 【用途】 ■有機ELディスプレイ ■有機EL照明
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  1. 代表製品
    枚葉式スピンスプレー洗浄装置 SRC-15001枚葉式スピンスプレー洗浄装置 SRC-15001
    概要
    【特徴】 ○枚葉式のスプレー洗浄装置 ○被洗浄物を試料台に置き、スタートSWをON →試料台は回転を開始 →同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイング →2流体ノズルより高圧純水をスプレー ○メガソニックによる仕上げ洗浄実行 ○スピン乾燥実行 【仕様】 ○外...
    用途/実績例
    加圧RTA装置加圧RTA装置
    概要
    【仕様】 ■基板サイズ:最大φ12インチ ■反応ガス:O2 、N2 、 H2O(オプション) ■基板加熱温度:最高1000 ℃(基板表面) ■加熱源:ハロゲンランプ ■昇温レート:最大150 ℃/sec ■真空排気:DP ■制御操作  ・制御:PLC  ・操作:...
    用途/実績例
    【用途】 ■半導体 ■MEMS ■電子部品
    有機EL用蒸着装置有機EL用蒸着装置
    概要
    【ラインアップ】 ■□650×550mm対応量産用セル評価装置 ■有機EL用Ag蒸発源 ■□100mm対応プラズマCVD室 ■□100mm対応透明電極用スパッタ室
    用途/実績例
    【用途】 ■有機ELディスプレイ ■有機EL照明