2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄！
SRC-15001は、枚葉式のスプレー洗浄装置です。被洗浄物を試料台に置き、スタートSWをONにより、試料台は回転を始めると同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイングし、2流体ノズルより高圧純水をスプレーします。次にメガソニックによる仕上げ洗浄を行い、スピン乾燥を行います。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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基本情報
【特徴】 ○枚葉式のスプレー洗浄装置 ○被洗浄物を試料台に置き、スタートSWをON →試料台は回転を開始 →同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイング →2流体ノズルより高圧純水をスプレー ○メガソニックによる仕上げ洗浄実行 ○スピン乾燥実行 【仕様】 ○外形寸法：W900×D645×H500 ○構造：鉄フレームに防錆塗装後 PVC張り ○蓋：透明 PVC 手動開閉 ○ウエハー受台：材質 PVC 真空吸着又は外周ピン受け ○流し：PVC ○ノズルアーム：1本 モーター駆動 スイング動作 ○メガソニック：950kHz 60W ○スピンモーター：ACサーボモーター 400W ○回転数 →メガソニック時：0～500rpm →スプレー洗浄時：0～500rpm →2流体ノズル洗浄時：0～500rpm →スピン乾燥時：MAX 3000rpm ○純水流量：1～4L/分 0,2Mpa ○N2流量：150～200L/分 0,2Mpa ○排気：VP-75A 5m³/分 ○電源：φ3 AC-200V 20A ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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企業情報
ジャパンクリエイトは、多様化する半導体産業に高精度化・省力化・微細化に対応すべく最先端技術にチャレンジして参りました。 私たちは、ハイテクノロジーに無限の可能性を求めて、ユーザーのニーズにマッチした確かなノウハウを独自性で創造します。 自らハイレベルな技術を目指して歩み続けます。