枚葉式スピンスプレー洗浄装置　SRC-15001

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最終更新日：2025年07月02日

2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄！

SRC-15001は、枚葉式のスプレー洗浄装置です。被洗浄物を試料台に置き、スタートSWをONにより、試料台は回転を始めると同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイングし、2流体ノズルより高圧純水をスプレーします。次にメガソニックによる仕上げ洗浄を行い、スピン乾燥を行います。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

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基本情報

【特徴】 ○枚葉式のスプレー洗浄装置 ○被洗浄物を試料台に置き、スタートSWをON →試料台は回転を開始 →同時にノズルアームが洗浄物の半径をスイング →2流体ノズルより高圧純水をスプレー ○メガソニックによる仕上げ洗浄実行 ○スピン乾燥実行【仕様】 ○外形寸法：W900×D645×H500 ○構造：鉄フレームに防錆塗装後 PVC張り ○蓋：透明 PVC　手動開閉 ○ウエハー受台：材質 PVC　真空吸着又は外周ピン受け ○流し：PVC ○ノズルアーム：1本　モーター駆動　スイング動作 ○メガソニック：950kHz　60W ○スピンモーター：ACサーボモーター　400W ○回転数 →メガソニック時：0～500rpm →スプレー洗浄時：0～500rpm →2流体ノズル洗浄時：0～500rpm →スピン乾燥時：MAX 3000rpm ○純水流量：1～4L/分　0,2Mpa ○N2流量：150～200L/分　0,2Mpa ○排気：VP-75A　5m³/分 ○電源：φ3　AC-200V　20A ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。