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平坦度測定器 - 企業ランキング(全5社)

更新日: 集計期間:2026年02月25日〜2026年03月24日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。

会社名 代表製品
製品画像・製品名・価格帯 概要 用途/実績例
ナノメトロTTシリーズは、縦型回転・エッジグリップタイプのウェーハ用平坦度測定装置です。 エッジエクスクルージョンの最小は1mm、カセット・ツー・カセットによる高精度な自動測定が可能です。 また、評価項目はSEMIの規格に準じています。 形式 : ナノメトロ300TT ナノメトロ200TT 測定範囲 : φ300mm φ200mm 表示分解能 : 1nm 測定ヘッド : 非接触レーザ変位計 測定方式 : 縦型回転方式
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  1. 代表製品
    超精密ウェーハ平坦度検査装置超精密ウェーハ平坦度検査装置
    概要
    ナノメトロTTシリーズは、縦型回転・エッジグリップタイプのウェーハ用平坦度測定装置です。 エッジエクスクルージョンの最小は1mm、カセット・ツー・カセットによる高精度な自動測定が可能です。 また、評価項目はSEMIの規格に準じています。
    用途/実績例
    形式 : ナノメトロ300TT ナノメトロ200TT 測定範囲 : φ300mm φ200mm 表示分解能 : 1nm 測定ヘッド : 非接触レーザ変位計 測定方式 : 縦型回転方式