平坦度測定器 - 企業ランキング(全5社)
更新日: 集計期間:2026年02月25日〜2026年03月24日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
超精密ウェーハ平坦度検査装置
応相談 |
ナノメトロTTシリーズは、縦型回転・エッジグリップタイプのウェーハ用平坦度測定装置です。 エッジエクスクルージョンの最小は1mm、カセット・ツー・カセットによる高精度な自動測定が可能です。 また、評価項目はSEMIの規格に準じています。 | 形式 : ナノメトロ300TT ナノメトロ200TT 測定範囲 : φ300mm φ200mm 表示分解能 : 1nm 測定ヘッド : 非接触レーザ変位計 測定方式 : 縦型回転方式 | |
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- 代表製品
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超精密ウェーハ平坦度検査装置
- 概要
- ナノメトロTTシリーズは、縦型回転・エッジグリップタイプのウェーハ用平坦度測定装置です。 エッジエクスクルージョンの最小は1mm、カセット・ツー・カセットによる高精度な自動測定が可能です。 また、評価項目はSEMIの規格に準じています。
- 用途/実績例
- 形式 : ナノメトロ300TT ナノメトロ200TT 測定範囲 : φ300mm φ200mm 表示分解能 : 1nm 測定ヘッド : 非接触レーザ変位計 測定方式 : 縦型回転方式
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黒田精工株式会社