縦型回転・エッジグリップタイプのウェーハ用平坦度測定装置
測定基準となる超精密Ｘ軸およびθ軸 ウェーハ厚さ偏差情報に加え、ウェーハ両面の形状が解析可能となりました。
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基本情報
ナノメトロTTシリーズは、縦型回転・エッジグリップタイプのウェーハ用平坦度測定装置です。 エッジエクスクルージョンの最小は1mm、カセット・ツー・カセットによる高精度な自動測定が可能です。 また、評価項目はＳＥＭＩの規格に準じています。
価格情報
-
納期
~ 1ヶ月
用途／実績例
形式 : ナノメトロ300ＴＴ ナノメトロ200ＴＴ 測定範囲 : φ300mm φ200mm 表示分解能 : 1nm 測定ヘッド : 非接触レーザ変位計 測定方式 : 縦型回転方式
企業情報
黒田精工株式会社は、l925年ゲージメーカー 黒田挟範製作所として創業、 その後現在の社名に変更し今日に至っております。 その間、培ってまいりました精密加工技術を基礎に、 NC工作機械の制御には欠かせなかったサーボ技術としての 電気油圧式パルスモータを開発。 第1回機械振輿協会賞を受賞するなど様々な 技術・商品開発を行い、広く産業界から高い評価を いただいてまいりました。エレクトロニクス産業界は今や、 各種電子材や液晶などの技術開発・利用技術の進歩に より半導体や情報通信機器など目覚ましく発展を 遂げていますが、当社の高度の技術がこれらの分野にも 活かされております。 一方各種産業界の発展とともにニ一ズの 高度化・多様化が進み、課せられた責務は ますます重要であります。伝統ある技術・技能の 伝承を図るとともに多彩で高度の技術を駆使し、 常に次代を見据えた研究開発に挑戦し 取り組んで行く所存です。 企業理念である『“P＆P”精密化と生産性の向上』を めざした“もの作り”と、お客様との信頼を大切に、 これからも歩み続けてまいります。
