真空貼合装置 - 企業ランキング(全7社)
更新日: 集計期間:2025年08月06日〜2025年09月02日
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会社名 | 代表製品 | ||
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製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
基板サイズ:20mm×20mm~120mm×120mm 上ステージ:石英(UV照射エリア110mmロ) 下ステージ:アルミ 加圧力:40kgf 自動制御 加圧プロセス:ロードセル搭載 信号を読み取り2段加圧プロセス等対応可能 到達真空度:10Pa以下 真空度調整用リークバルブ付き 設置スペース:フットプリント270mm×440mmの省スペース設計 | 用途:研究開発(要素技術) 実績:マテリアル開発、テストサンプル作製、プロセス確認等 | ||
![]() 真空重ね合せ装置 真空貼合装置
応相談 |
基本仕様 基板サイズ Max: 300 (W)x400 (L)mmt:0.5~11mm 重ね合せ精度 10μm以下(パターンピッチ公差含まず) 真空チャンバー 真空度10Pa以下 加圧力 Max 1,000kgf (ロードセルにより検出) ガラス基板固定 静電チャック方式 加熱機構 上下テーブルにヒーター搭載 MAX130℃ (基板接触面温度) 装置寸法·重量 本体 1,855(W)×820(D)x1.533(H) 1,200kg ラック 650(W)×500(D)×1,286 (H) 80kg | ガラス基板等の重ね合わせ | |
基板サイズ:20mm×20mm~120mm×120mm 上ステージ:石英(UV照射エリア110mmロ) 下ステージ:アルミ チャンバー蓋開閉:ヒンジ式 加圧力:4kgf ロードセル:無し Z軸:手動 真空計:プルドン ヒーター:無し | 用途:研究開発(要素技術) 実績:マテリアル開発、テストサンプル作製、プロセス確認等 | ||
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- 代表製品
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卓上真空ラミネーター 真空貼合装置
- 概要
- 基板サイズ:20mm×20mm~120mm×120mm 上ステージ:石英(UV照射エリア110mmロ) 下ステージ:アルミ 加圧力:40kgf 自動制御 加圧プロセス:ロードセル搭載 信号を読み取り2段加圧プロセス等対応可能 到達真空度:10Pa以下 真空度調整用リークバルブ付き 設置スペース:フットプリント270mm×440mmの省スペース設計
- 用途/実績例
- 用途:研究開発(要素技術) 実績:マテリアル開発、テストサンプル作製、プロセス確認等
真空重ね合せ装置 真空貼合装置
- 概要
- 基本仕様 基板サイズ Max: 300 (W)x400 (L)mmt:0.5~11mm 重ね合せ精度 10μm以下(パターンピッチ公差含まず) 真空チャンバー 真空度10Pa以下 加圧力 Max 1,000kgf (ロードセルにより検出) ガラス基板固定 静電チャック方式 加熱機構 上下テーブルにヒーター搭載 MAX130℃ (基板接触面温度) 装置寸法·重量 本体 1,855(W)×820(D)x1.533(H) 1,200kg ラック 650(W)×500(D)×1,286 (H) 80kg
- 用途/実績例
- ガラス基板等の重ね合わせ
卓上真空ラミネーター(B1タイプ) 真空貼合装置
- 概要
- 基板サイズ:20mm×20mm~120mm×120mm 上ステージ:石英(UV照射エリア110mmロ) 下ステージ:アルミ チャンバー蓋開閉:ヒンジ式 加圧力:4kgf ロードセル:無し Z軸:手動 真空計:プルドン ヒーター:無し
- 用途/実績例
- 用途:研究開発(要素技術) 実績:マテリアル開発、テストサンプル作製、プロセス確認等
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