真空中で2枚のガラス基板等のアライメントを行い、高精度に重ね合せます。
ガラス基板等の仮固定用にUVランプを装備しております。
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基本情報
基本仕様 基板サイズ Max: 300 (W)x400 (L)mmt:0.5~11mm 重ね合せ精度 10μm以下(パターンピッチ公差含まず) 真空チャンバー 真空度10Pa以下 加圧力 Max 1,000kgf (ロードセルにより検出) ガラス基板固定 静電チャック方式 加熱機構 上下テーブルにヒーター搭載 MAX130℃ (基板接触面温度) 装置寸法·重量 本体 1,855(W)×820(D)x1.533(H) 1,200kg ラック 650(W)×500(D)×1,286 (H) 80kg
価格帯
納期
用途／実績例
ガラス基板等の重ね合わせ
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貼り合せ・封止のお悩みを解決します！ -真空と大気を組み合わせた新しい貼り合せプロセスをご提案します- あらゆる形状の貼り合せが可能です。試作・デモ対応可、ご相談ください。 私たち常陽工学は、LCD貼り合せ装置、LCDセルギャップ形成装置のトップメーカーとして、各種材料とプロセス条件に対応した多くの特殊装置の製作を行い、お客様のニーズに応えて参りました。 数々の実績にもとづき、この度新しい「真空貼り合せ装置」をリリースしました。「段差・スリットのある加飾パネルなどの気泡混入」「2.5D/3D形状のデザイン上の制約」「フィルムなどの薄い基板の加工ムラ・位置ズレ」といった問題を解決し、様々な形状の貼り合せを可能とします。