薄膜形成装置 - 企業ランキング(全5社)
更新日: 集計期間:2026年04月08日〜2026年05月05日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 独自開発アーク放電型マグネトロンカソードを多元装備。 導電性カーボン薄膜だけでなく各種反応膜(窒化膜・酸窒化膜)を形成可能 アーク放電型マグネトロンカソードにより成膜前に基板のイオンエッチングや窒化にも対応。 多元カソードをにより基板に合わせて密着層+導電性カーボン膜の積層... | 新デバイスR&D用 機械部品表面処理用 | ||
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- 代表製品
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導電性カーボン薄膜形成装置(アーク放電スパッタリング装置)
- 概要
- 独自開発アーク放電型マグネトロンカソードを多元装備。 導電性カーボン薄膜だけでなく各種反応膜(窒化膜・酸窒化膜)を形成可能 アーク放電型マグネトロンカソードにより成膜前に基板のイオンエッチングや窒化にも対応。 多元カソードをにより基板に合わせて密着層+導電性カーボン膜の積層...
- 用途/実績例
- 新デバイスR&D用 機械部品表面処理用
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