マグネトロンスパッタ装置 - 企業ランキング(全7社)
更新日： 集計期間:2025年04月02日〜2025年04月29日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
超小型マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－ｍｉｎｉ
50万円 ~ 100万円 |
【特徴】 ○試料に優しいマグネトロン方式イオンコータです ○操作は簡単、ボタンを押すだけ、上手下手がありません ○全ての贅肉を排除して、低価格・高性能を実現 | 【用途】 ○SEM試料などのためのメタルコーティング | |
マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－４０Ｔ
50万円 ~ 100万円 |
【主な特徴】 ○多目的、実験用成膜装置 ○電極分離型試料台で試料損傷回避 ○高速排気・簡易操作で能率的成膜 ○イオンボンバードで親水性処理機能 ○小形卓上型・小スペース ○強磁場による多種金属成膜可能 ○TMP+ダイヤフラムポンプで清浄高真空 ○低価格・コストパフォーマンスの良い機能 【その他の特徴】 ○スパッタし易い貴金属の他､Mo,W,等の重金属からTi､Al等軽金属をターゲットとし､強磁場マグネトロン方式の電極により成膜が出来ます。 ○マグネトロン電極は､ターゲット金属表面に沿って外周から中心方向に磁場を作りターゲット全面を有効に利用できます。 ○スパッタ雰囲気ガスArは､ターゲット電極とシールド電極の間隙よりターゲット表面に噴出させ､スパッタ効率を向上させています。 | 【用途】 ○多目的､多金属､実験用イオンスパッタ成膜装置 | |
マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－２０ＭＴ
50万円 ~ 100万円 |
【主な特徴】 ○電子顕微鏡試料に導電処理を施す為のコーティング装置です。 ○マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にします。 ○４インチサイズのターゲット仕様。大きな試料・多数の試料を処理可能です。 ○様々な用途に対応することを可能にする調整機能を装備。 ○条件出しの際の操作をより簡単にしたボタンレイアウト。 ○条件出し完了後はボタンひとつでフルオート動作。 ○雰囲気ガス導入付きで、２系統の排気システムを切換えて最適条件に。 ○アルゴンガス接続で、より高純度な貴金属膜をコーティング可能。 ○インターロック・安全機構が充実した電子顕微鏡向けスパッター装置。 【その他の特徴】 ○アルゴンガス等の導入・圧力調整機能を装備しています。 ○膜純度の向上に活躍。 ○マニュアル・調整操作は右から左へ順にスイッチを押していくだけの使いやすいレイアウト。 | 【用途】 ○電子顕微鏡の試料に導電膜処理を施す装置 | |
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株式会社真空デバイス 本社
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- 代表製品
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超小型マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－ｍｉｎｉ
- 概要
- 【特徴】 ○試料に優しいマグネトロン方式イオンコータです ○操作は簡単、ボタンを押すだけ、上手下手がありません ○全ての贅肉を排除して、低価格・高性能を実現
- 用途/実績例
- 【用途】 ○SEM試料などのためのメタルコーティング
マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－４０Ｔ
- 概要
- 【主な特徴】 ○多目的、実験用成膜装置 ○電極分離型試料台で試料損傷回避 ○高速排気・簡易操作で能率的成膜 ○イオンボンバードで親水性処理機能 ○小形卓上型・小スペース ○強磁場による多種金属成膜可能 ○TMP+ダイヤフラムポンプで清浄高真空 ○低価格・コストパフォーマンスの良い機能 【その他の特徴】 ○スパッタし易い貴金属の他､Mo,W,等の重金属からTi､Al等軽金属をターゲットとし､強磁場マグネトロン方式の電極により成膜が出来ます。 ○マグネトロン電極は､ターゲット金属表面に沿って外周から中心方向に磁場を作りターゲット全面を有効に利用できます。 ○スパッタ雰囲気ガスArは､ターゲット電極とシールド電極の間隙よりターゲット表面に噴出させ､スパッタ効率を向上させています。
- 用途/実績例
- 【用途】 ○多目的､多金属､実験用イオンスパッタ成膜装置
マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－２０ＭＴ
- 概要
- 【主な特徴】 ○電子顕微鏡試料に導電処理を施す為のコーティング装置です。 ○マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にします。 ○４インチサイズのターゲット仕様。大きな試料・多数の試料を処理可能です。 ○様々な用途に対応することを可能にする調整機能を装備。 ○条件出しの際の操作をより簡単にしたボタンレイアウト。 ○条件出し完了後はボタンひとつでフルオート動作。 ○雰囲気ガス導入付きで、２系統の排気システムを切換えて最適条件に。 ○アルゴンガス接続で、より高純度な貴金属膜をコーティング可能。 ○インターロック・安全機構が充実した電子顕微鏡向けスパッター装置。 【その他の特徴】 ○アルゴンガス等の導入・圧力調整機能を装備しています。 ○膜純度の向上に活躍。 ○マニュアル・調整操作は右から左へ順にスイッチを押していくだけの使いやすいレイアウト。
- 用途/実績例
- 【用途】 ○電子顕微鏡の試料に導電膜処理を施す装置
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株式会社真空デバイス 本社
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