多目的、実験用全自動成膜装置。マグネトロンスパッタ装置MSP-40T型
マグネトロンスパッタ装置MSP-40Tは多目的、多金属、実験用イオンスパッタ成膜装置です。電極分離型試料台で試料損傷回避、高速排気・簡易操作で能率的成膜、低価格・コストパフォーマンスの良い機能を持っています。 MSP-30Tの後継機として、フルオートコーティング、タッチパネル、レシピ機能などを搭載してパワーアップしました。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
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基本情報
【主な特徴】 ○多目的、実験用成膜装置 ○電極分離型試料台で試料損傷回避 ○高速排気・簡易操作で能率的成膜 ○イオンボンバードで親水性処理機能 ○小形卓上型・小スペース ○強磁場による多種金属成膜可能 ○TMP+ダイヤフラムポンプで清浄高真空 ○低価格・コストパフォーマンスの良い機能 【その他の特徴】 ○スパッタし易い貴金属の他、Mo,W,等の重金属からTi、Al等軽金属をターゲットとし、強磁場マグネトロン方式の電極により成膜が出来ます。 ○マグネトロン電極は、ターゲット金属表面に沿って外周から中心方向に磁場を作りターゲット全面を有効に利用できます。 ○スパッタ雰囲気ガスArは、ターゲット電極とシールド電極の間隙よりターゲット表面に噴出させ、スパッタ効率を向上させています。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
価格情報
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価格帯
100万円 ~ 500万円
納期
用途/実績例
【用途】 ○多目的、多金属、実験用イオンスパッタ成膜装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
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スパッタ装置、蒸着装置、プラズマ照射装置、CVD装置、真空コンポーネントを製造しております。 電子顕微鏡試料作成用の前処理装置や研究開発機関向けの小型真空装置をラインナップしております。 私たちは、最先端技術研究開発分野で活躍されている方々の必要な機器開発を、早く・廉く供給し、実験過程で逐次改良、改造を加えて開発のサポートをして行くこともわが社の如く小回りの利く会社の任務と考えています。 半導体、バイオ、環境、ナノテク分野の新技術開発に必要な実験器具・装置の開発、及び新技術開発の最先端解析道具としての電子顕微鏡試料作製に関わる装置の開発、製品化、販売、サービスを行っております。