CMPスラリーのメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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CMPスラリー - 企業ランキング(全7社)

更新日: 集計期間:2025年08月06日〜2025年09月02日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。

会社名 代表製品
製品画像・製品名・価格帯 概要 用途/実績例
【用途】 ■脆性材料の加工 厳格な精密加工プロセスにこそふさわしい、汚染低減を実現します。原料の管理、クリーンルームでの分散プロセス、設備の工夫と維持管理により、半導体が最も嫌う重金属はもちろん、細菌などの微生物や不純物の混入を検出できないレベルまで防いでいます。 【製品ラインアップ】 ■Cu CMPスラリー ●1Step(1Platen)研磨対応 ●高速研磨と低段差の両立可能 ●高選択性(Cu/Ta=1000 over) ●Cu残りの抑制 ●インキュベーション防止 ●酸化剤に過酸化水素使用 ●濃縮可能 ■樹脂研磨用スラリー 研磨特製(単膜) ポリイミド膜研磨速度 1~2μm/min@4psi ●ポリイミド膜の熱処理の度合い などにより研磨速度が変化 ●優れた研磨促進剤を使用し、強アルカリ・環境負荷物質などは不使用 ■HDDヘッド研磨用スラリー ●高いCut Rateと低スメアの両立 ●HDD業界で制限されている不純物基準に対応 (シリコーン、アマイド など) ■脆性材料の加工 ・半導体銅配線形成用(CMPスラリー) ・異種材料同時研磨用(CMPスラリー)
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  1. 代表製品
    CMPスラリー(化学的機械的液体研磨剤)CMPスラリー(化学的機械的液体研磨剤)
    概要
    【用途】 ■脆性材料の加工 厳格な精密加工プロセスにこそふさわしい、汚染低減を実現します。原料の管理、クリーンルームでの分散プロセス、設備の工夫と維持管理により、半導体が最も嫌う重金属はもちろん、細菌などの微生物や不純物の混入を検出できないレベルまで防いでいます。 【製品ラインアップ】 ■Cu CMPスラリー ●1Step(1Platen)研磨対応 ●高速研磨と低段差の両立可能 ●高選択性(Cu/Ta=1000 over) ●Cu残りの抑制 ●インキュベーション防止 ●酸化剤に過酸化水素使用 ●濃縮可能 ■樹脂研磨用スラリー 研磨特製(単膜) ポリイミド膜研磨速度 1~2μm/min@4psi ●ポリイミド膜の熱処理の度合い などにより研磨速度が変化 ●優れた研磨促進剤を使用し、強アルカリ・環境負荷物質などは不使用 ■HDDヘッド研磨用スラリー ●高いCut Rateと低スメアの両立 ●HDD業界で制限されている不純物基準に対応 (シリコーン、アマイド など)
    用途/実績例
    ■脆性材料の加工 ・半導体銅配線形成用(CMPスラリー) ・異種材料同時研磨用(CMPスラリー)