スクラブ洗浄機 - 企業ランキング(全6社)
更新日： 集計期間:2025年08月20日〜2025年09月16日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| ＜ 洗浄工程 ＞ ・ 界面活性剤・純粋スクラブ洗浄 ・ 薬液スプレー ・ メガソニックスポットシャワー ・ スピン乾燥 ＜ 洗浄対象物 ＞ 各種ウェハ ・ Si(シリコン） ・ 石英 ・ 酸化物 ・ 化合物等 ＜ 対応ウエハ口径 ＞ ・ φ2”～φ4” ・ φ6”～φ8” ＜ その他 ＞ 単機能のスクラブ洗浄装置、薬液の使用、 ドライ・ウェットのローダー・アンローダー付タイプ、 複数チャンバータイプなど、ご予算・ご要望に応じて対応致します。 洗浄方法についてのご相談など、お気軽にご相談ください。 | 【用途】 ■各種ウェハー洗浄 | ||
| 【用途】 各種ウェハー洗浄 | |||
| 【用途例】 ・異物（有機物、無機物）の除去 ・金属イオンの除去 【洗浄工程】 ・界面活性剤、純水スクラブ洗浄 ・薬液スプレー ・メガソニックスポットシャワー ・スピン乾燥 【洗浄対象物】 各種ウェハ ・Si（シリコン） ・石英 ・酸化物 ・化合物 など | ■各種ウェハー洗浄 | ||
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株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）
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- 代表製品
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シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」
- 概要
- ＜ 洗浄工程 ＞ ・ 界面活性剤・純粋スクラブ洗浄 ・ 薬液スプレー ・ メガソニックスポットシャワー ・ スピン乾燥 ＜ 洗浄対象物 ＞ 各種ウェハ ・ Si(シリコン） ・ 石英 ・ 酸化物 ・ 化合物等 ＜ 対応ウエハ口径 ＞ ・ φ2”～φ4” ・ φ6”～φ8” ＜ その他 ＞ 単機能のスクラブ洗浄装置、薬液の使用、 ドライ・ウェットのローダー・アンローダー付タイプ、 複数チャンバータイプなど、ご予算・ご要望に応じて対応致します。 洗浄方法についてのご相談など、お気軽にご相談ください。
- 用途/実績例
- 【用途】 ■各種ウェハー洗浄
小径ウェハ（LT・SiC等2〜6インチ）両面同時スクラブ洗浄装置
- 概要
- 用途/実績例
- 【用途】 各種ウェハー洗浄
1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機
- 概要
- 【用途例】 ・異物（有機物、無機物）の除去 ・金属イオンの除去 【洗浄工程】 ・界面活性剤、純水スクラブ洗浄 ・薬液スプレー ・メガソニックスポットシャワー ・スピン乾燥 【洗浄対象物】 各種ウェハ ・Si（シリコン） ・石英 ・酸化物 ・化合物 など
- 用途/実績例
- ■各種ウェハー洗浄
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株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）
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