真空熱処理装置 - 企業ランキング(全5社)

更新日：2025年07月02日集計期間:2025年06月04日〜2025年07月01日
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会社名	企業情報	代表製品
会社名	企業情報	製品画像・製品名・価格帯	概要	用途/実績例
神港精機株式会社東京支店	所在地東京都従業員数 194 事業内容 ●装置事業部（成膜装置）・スパッタリング装置・真空蒸着装置・硬質膜形成装置・プラズマCVD装置（プラズマ装置）・エッチング装置・アッシング装置・クリーニング装置（熱処理装置）・真空リフロー装置・プラズマリフロー装置・真空熱処理装置・アニール装置 ●規格品事業部・ドライポンプ・油回転真空ポンプ・水封式真空ポンプ・メカニカルブースタ・真空排気装置・真空計、真空弁、真空部品・精密投影機・特殊光学機器主要取引先大手電気メーカー総合化学メーカー電子材料メーカー真空炉メーカー民間企業研究所公営/国立研究所	真空熱処理装置（ホットプレートタイプ）応相談	急速加熱用熱板で３００ｍｍ□の基板の処理に対応。基板冷却機構により短時間・短タクト処理を実現。長時間の加熱によるダメージが問題となる基板に安定した加熱プロセスを提供。標準バッチタイプの評価を基にインラインタイプへのシステムアップが容易	多層プリント板ベーキング小型ＦＰＤ基板アニール薄膜太陽電池アニール・ベーキングセラミックス繊維乾燥
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神港精機株式会社東京支店

所在地

東京都

従業員数

194

事業内容

●装置事業部（成膜装置）・スパッタリング装置・真空蒸着装置・硬質膜形成装置・プラズマCVD装置（プラズマ装置）・エッチング装置・アッシング装置・クリーニング装置（熱処理装置）・真空リフロー装置・プラズマリフロー装置・真空熱処理装置・アニール装置 ●規格品事業部・ドライポンプ・油回転真空ポンプ・水封式真空ポンプ・メカニカルブースタ・真空排気装置・真空計、真空弁、真空部品・精密投影機・特殊光学機器

主要取引先

大手電気メーカー総合化学メーカー電子材料メーカー真空炉メーカー民間企業研究所公営/国立研究所

代表製品

真空熱処理装置（ホットプレートタイプ）

概要

急速加熱用熱板で３００ｍｍ□の基板の処理に対応。基板冷却機構により短時間・短タクト処理を実現。長時間の加熱によるダメージが問題となる基板に安定した加熱プロセスを提供。標準バッチタイプの評価を基にインラインタイプへのシステムアップが容易

用途/実績例

多層プリント板ベーキング小型ＦＰＤ基板アニール薄膜太陽電池アニール・ベーキングセラミックス繊維乾燥
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所在地

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事業内容

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