カタログ ＜ SEMICON J ご来場への御礼！＞

危険薬液の飛散リスクのある作業も耐薬エプロンが安全を確保！

『セバプロン』は、作業服・無塵服の上に着用する耐薬エプロン。 危険な薬液作業に必須！ 多くの半導体関係企業様・薬液取り扱い企業様で標準採用いただいています。 安全性と作業性を両立した「上下一体型デザイン」。 足部分はズボンタイプなので、低所作業時の足回りの安全も確保。 耐薬品性能に加え通気性能に優れた素材を使用。作業者のストレスを大幅に軽減します。 同じ耐薬性の生地で作られた「フード」「オーバーシューズ」との組み合わせも有効。 ソフト生地なので、狭いスペースでの作業負担も改善します。 【特長】 ■危険薬液で高い耐薬性（添付データ参照） ■通気性のあるPTFE素材なので、ストレス軽減 ■安全と作業性を考慮した「上下一体型デザイン」 ■研究所環境には、割烹着デザインの「SEBAPRO‐Hi Lab」がフィット ■「フード」「オーバーシューズ」との組み合わせも有効

• その他安全・衛生用品

工場の設備増設に伴う純水圧不足や、その変動を、純水昇圧ユニットが解決！ 安定した供給を実現します。

純水昇圧ユニットの導入により、 純水供給圧の不足や変動の問題を解消！安定したプロセス処理を行うことができます。 純水の安定供給は、デバイス生産において、品質と歩留まりに影響する重要な要素です。 この昇圧機能は、帯電防止ユニットや純水加温ユニットへも組み込み可能。設置スペースを縮小できます。 【特長】 ■常時監視によるフィードバック機能により、安定した圧力に制御。 ■ベアリングのない磁気浮上遠心型のレビトロニクスポンプの採用で、 高い耐久性能を実現。 ■脈動のない安定した供給を実現。 ■幅広い供給流量に対応する製品モデルをご用意。 ■供給先装置の通信仕様に対応。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他半導体製造装置
• 流量制御

新標準の純水加温ユニット！ 昇圧機能を搭載しているので、新旧工場に柔軟に対応します。

『JH-72S-SBX/JH-96S-SBX/JH-144S-SBX』は、純水を加温・昇圧して供給する純水加温ユニットです。2in1設計による省プリントを実現しています。 また、昇圧機能付きなので、サブファブへの設置が可能で、クリーンルームにスペースが生まれます。 独自の石英タンク構造と制御機構により、加熱起動が早い省エネ設計。 場所を取らないコンパクト設計なほか、純水圧が足りない環境にも 昇圧機能搭載なので、1次側の圧力変動に影響されず、安定した供給が可能です。 昇圧機能無しの純水加温ユニットも含め、多くのラインナップを用意しています。 【特長】 ■昇圧機能を搭載（選択オプション） ■限られたスペースに設置可能 ■投資コスト低減にも寄与 ■独自の石英タンク構造と制御機構により、加温起動が早い省エネ設計 ■加熱容器に石英ガラス、主要配管部にフッ素樹脂を使用したクリーン設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他理化学機器

コンパクトでありながら、高性能。 幅広いプロセスに対応。

ホットプレートの性能は、フォトリソグラフィープロセスの精度を決める重要なファクターです。 特に、膜厚・線幅・膜質の高い均一性が要求される先端プロセスや、 温度依存性の高い材料でのプロセス開発においては、 ホットプレートの性能が、プロセスパフォーマンスを見極める大きな要因となります。 タイマー制御のピンアップ機構により、正確な時間管理を実現。 ウェーハ間の均一な熱処理を可能にしました。 標準250℃モデルに加え、高温350℃モデルもご用意。 また、処理前後に均一な冷却が必要な場合は、卓上クールプレートも ご利用いただけます。 【特長】 ■高精度な面内温度均一性。 ■タイマー制御により、ウェーハ間差を低減。 ■3～8インチに対応。 ■プロキシミティーボールにより、均一なギャップを確保。 ■高温350℃モデルには、火傷防止カバーを装備。 ■空冷・水冷の卓上クールプレートもご利用可能。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他半導体製造装置
• 加熱装置

新技術”ヒートポンプダイナミクス”が空調の大幅な省エネを実現します。

新技術 “ヒートポンプダイナミクス” は、ヒートポンプ技術による外気の熱回収に加え、 独自技術によって装置内排熱の回収とマージを行い、 強力な熱パックを生成。 冷却器、加熱器、加湿用加熱器でフル活用します。 中・大型空調では必須の別置熱源機＜冷凍機・ボイラー・電気ヒーター＞が不要となり、 電力使用量・ランニングコストを削減。 2050年カーボンニュートラルへ向けて、空調システムによる環境への配慮が進められます。 【特長】 ■従来システムと比べ最大80％の電力使用量・ランニングコストを削減可能（当社試算）。 ■空調機モデルの組み合わせで、さまざまな対象エリアを柔軟にシステム構成。小規模エリア対応のモデルも用意。 ■ボイラーレスによる脱化石化燃料、そして直接のCO2排出の低減で、グリーン環境への配慮が促進。 ■高精度な温湿度管理を実現する精密空調。 ■中型モデルでは、クリーンブースとの連携でさまざまなシーンで活用。 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

• 空調
• その他空調機器

株式会社フクダは漏れ検出を追求して60年、漏れ検査（リークテスト）の未来型を追求します。 【 各種漏れ試験に対応：エアリークテスト / ガスリークテスト（水素ガス ・ ヘリウムガス） 】 気密性・密封性を検査するための漏れ試験機器を開発・製造・販売しています 検査対象ごとに適切なテスター・装置をご提案いたします 【 対象業界と検査対象例 】 ・自動車業界：エンジン、FC部品、バルブ・配管、各種部品 ・電子部品業界：スマートフォン、キーレススイッチ、各種小型センサ ・医薬品 / 食品 / 化粧品業界：ボトル容器、シリンジ、バイアル、点眼剤容器、ピロー包装、PTP包装 業界別に最適なリークテスターをご提案いたします 【 ISO認証 】JIS Q 9001:2015（ISO 9001:2015）

株式会社フクダは漏れ検出を追求して60年、漏れ検査（リークテスト）の未来型を追求します。 【 各種漏れ試験に対応：エアリークテスト / ガスリークテスト（水素ガス ・ ヘリウムガス） 】 気密性・密封性を検査するための漏れ試験機器を開発・製造・販売しています 検査対象ごとに適切なテスター・装置をご提案いたします 【 対象業界と検査対象例 】 ・自動車業界：エンジン、FC部品、バルブ・配管、各種部品 ・電子部品業界：スマートフォン、キーレススイッチ、各種小型センサ ・医薬品 / 食品 / 化粧品業界：ボトル容器、シリンジ、バイアル、点眼剤容器、ピロー包装、PTP包装 業界別に最適なリークテスターをご提案いたします 【 ISO認証 】JIS Q 9001:2015（ISO 9001:2015）

【フクダの技術コラム】のリンク集です。 リークテスト・漏れ検査・漏れ試験などにまつわるいろいろなこと…以下のリンクから、ぜひご覧ください。

公共工事では、完成物の品質だけでなく、安全対策や環境配慮、新技術の活用など、現場での取り組みも重要です。ハイパーCLT敷板は、こうした取り組みを発注者へ説明しやすい土木資材です。 木材CLTを活用しており、搬入路、作業員通路、材料ヤード、重機作業場所など幅広く使用できます。夏場の照り返し対策や騒音の抑制、CO2固定、景観への配慮など、採用する目的を明確にしやすいことも特徴です。 さらに、ハイパーCLT敷板は国土交通省NETIS登録技術「TH-250021-A」。NETIS登録技術として、新技術活用や創意工夫の提案にも取り入れやすくなっています。 「木材を使った」だけで終わらず、現場の課題に対してどんな効果を狙ったのかを説明できる。そこが、役所にも評価されやすいハイパーCLT敷板の強みです。土木×CLTの新しい取り組みとして、公共工事での活用が広がっています。

微小容積ワーク向け エアリークテスタ 【FLZ-0220-A4+LPU-300】 セパレートタイプリークテスタ 空圧ユニットLPU-300制御用のFLZ-0220です。 高性能コントローラ 「FLZ-0220」と配管容積を限界まで最小化し、 試験体(検査対象：ワーク)の直近に配置できる超小型検出ユニット 「LPU-300」。 この組み合わせが、従来のテスタではノイズに埋もれていた「微小リーク」を高精度かつハイスピードに検出します。 【LPU-300 series】はフクダ史上最少の計測ユニットで、できるだけ小さなワークに直接取付けて計測することに最適。 通常のオールインワンのリークテスタと比べて計測感度を上げること可能（条件による）。 【特長】 ■計測ノイズ極限まで排除 ■検出分解能力は当社最高精度 ■小容積製品用の計測専用テスタ テストに用いる媒体が空気（エアー）の為、ランニングコストがかかりません。