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製品ニュース
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2025/08/21

【製品情報】圧力ベース・メタルシール・マスフローコントローラ『GP200シリーズ』

ITWジャパン株式会社 ITWジャパン株式会社
『最高の性能を最大限に引き出す』 半導体製造における高度なエッチングやデポジションのプロセスに特化して設計された、業界初の完全圧力不感応タイプの圧力ベースのマスフローコントローラ(P-MFC)です。 GP200シリーズP-MFCは、従来のP-MFCの限界を克服し、低蒸気圧のプロセスガスでも高精度なプロセスガス供給を可能にする特許取得済みのアーキテクチャを採用しています。また、差圧センサーを内蔵し、下流側にバルブを配置するなど独自の設計を採用することで、業界で最も広い範囲の動作条件で高精度のプロセスガス供給を可能にしています。 幅広いプロセス条件に対応しているため、従来のP-MFCやサーマルMFCの代替品やアップグレード品として使用することができます。また、圧力調整器や変換器などの部品が不要になるため、ガス供給システムを簡易化し、コストを低減することができます。 【主な用途】 ■ 半導体製造 ■ エッチング ■ CVD ■ 高純度のオールメタル流路を必要とするガス流量制御アプリケーション
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【公式サイト】GP200シリーズ 圧力ベース・メタルシール・マスフローコントローラ
【動画】Brooks Instrument Pressure-based Mass Flow Controllers - Theory of Operation

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圧力ベースマスフローコントローラ『GP200シリーズ』

最高の性能を最大限に引き出す!先駆的な半導体プロセスのための最新型圧力ベースマスフロー

GP200シリーズは、従来の圧力センサーに代えて差圧センサーを採用し、コントロールバルブをセンサーの下流に配置することで、従来の圧力ベースMFCに比べて格段に流量計測の精度と再現性が向上しています。 【特徴】 ■測定誤差の低減 ■すべてのプロセス条件に好適 ■高精度な流量制御 ■バルブリークを1/100に低減 ※詳しくはお問合せください。

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サーマルマスフローコントローラ/メータ『SLA5800シリーズ』

高圧ガス保安協会(KHK)の認証取得。都道府県の完成検査の手続きを簡略化。国内防爆(JPEx)の型式検定合格証も取得

サーマルマスフローコントローラ/メータ『SLA5800シリーズ』は、 カーボンニュートラルの研究開発に役立つ、ガスの制御・測定機能を備え、 水素・メタン・LNG・二酸化炭素・アンモニアなどの気体に対応した製品です。 「SLA5850 マスフローコントローラ ノーマルクローズバルブ」は、 高圧ガス保安協会(KHK)の認証を取得しており、 都道府県での完成検査が認定証の提出のみで済むため、 非常にスムーズな導入が可能になります。(フローメータでの対応も可能) 【特長】 ■DEKRAより、国内防爆(JPEx)の型式検定合格証を取得済 (対応品:マスフローコントローラ/メータ、プレッシャーコントローラ) ■化学・石油化学・燃料電池・ライフサイエンスなどの分野でも活躍 ■広範囲をカバーする流量レンジ ■1台で複数のガス・流量レンジに対応可能 ※詳しくはカタログをご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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流量、圧力、蒸気および真空製品「総合カタログ」※流量計等を掲載!

コリオリ式マスフローや当社初の圧力式マスフローコントローラなどもラインアップ

当資料は、ブルックスインストルメントの流量、圧力、蒸気および 真空製品を掲載した総合カタログです。 クローズドループ、ブースト、ヒステリシスを排除した「SLA Series」 などのプレッシャーコントローラをはじめ、複数のガス種と流量レンジを 1台でカバーできる「GF40 Series」などのサーマル式マスフローや、 面積式流量計、圧力/真空製品などをラインアップ。 大変参考になる一冊となっておりますので、導入検討の際に ぜひご覧ください。 【掲載内容】 ■マスフロー&プレッシャーコントローラ ■面積式流量計 ■圧力/真空製品 ■セカンダリエレクトロニクス&ソフトウェア ■通信プロトコル ■サービス&サポート ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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信頼できる製品、専門性の高いサービス!機器を“新品同様の状態”に再生します!

当社は、流量制御の深い知識、電気および機械工学の強力なバックグラウンド、 およびバイオテクノロジーの分野における制御システムの深い理解を持つ 経験豊富な技術サポートメンバーを擁しています。 数十年にわたる豊富な経験を有し、機器を“新品同様の状態”に再生。 機器校正サービスのエキスパートが、校正証明書を発行します。 お客様のサービスおよびインストールに関するご要望は、 お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■全ての修理には工場認定の新しい部品を使用 ■全ての修理サービスに対して保証期間がある ■機器校正サービスのエキスパートが、校正証明書を発行 ■グローバルなサービス拠点 ■デジタルプロトコルによるハードウェアのアップグレードが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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圧力ベース ガス マスフローコントローラ『GP200シリーズ』

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リードアウトユニット『0251 / 0254』

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【総合カタログ】プロダクトガイド『flow-pressure-vapor-guide』

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【ご好評につき追加募集!】レンタルモニターキャンペーン第2弾を開催中! ●【残り2社】●

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サーモグラフィカメラ「FLIR C5」の【先着3社限定】レンタルモニターキャンペーン第2弾を開催中! ご好評につき、2026年7月1日からレンタルできる枠を追加いたしました。 (6月25日受付締切、お急ぎください。)

2026年06月06日

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フクダのエアリークテスターをぜひご覧ください!

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●エアリークテスターとは? 「エアリークテスター」は、密封されたワークの内側(あるいは外側)を空気で加圧し、圧力変化によって漏れの有無を判定する装置です。 漏れのないマスタと、漏れのあるワークを加圧すると、ワーク側の圧力が低下し両者の間に圧力差が生じます。 この圧力差を測定することで漏れの有無を判定します。 一般的に、差圧式エアリークテストが広く用いられていますが、フクダでは差圧式リークテスタに加え、漏れ量(リークレート)に応じた直圧式リークテストや流量計を用いた製品もラインアップしています。 エアリークテスタは空気(エアー)を測定媒体とするためランニングコストがかからず、環境にも優しい仕様となっています。

2026年06月05日

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フクダの密封品エアリークテスト装置をぜひご覧ください!

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●密封品エアリークテスト装置とは? 電気機器、包装容器(化粧品、食品)などの気密性や密封性、防水性を検査するエアリークテスト装置です。 スマートフォン、タブレット端末、キーレススイッチ、腕時計、ボトル容器、化粧品容器(アイライナー、マスカラ) などの製品の漏れを検査します。 テストに用いる媒体が空気(エアー)の為、ランニングコストがかかりません。

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ワイヤレスセットご利用イメージ

有線式の離床センサーのお悩み、ナースコール連動型ワイヤレスセットをセンサーに接続して解決!

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有線式の離床センサーにこんなお悩みや要望は御座いませんか? ×有線ケーブルの絡まり、つまづき ×ケーブルの断線・破損 ×センサー一時停止後のスイッチの入れ忘れが心配。 ×ナースコールコンセントから離れた場所でも、離床を知らせてほしい。 そんなお悩みをセンサーに接続するだけでナースコール連動型ワイヤレスセットが解決します! 当社の提供するナースコール連動型ワイヤレスセットは、 離床センサー「うーご君」「たためる薄型マッ太君」「あゆみちゃん」「置くだけポール君」に 送・受信機を接続することで、ベッド周りの配線が少なく済み、 ケーブルによるつまづきや転倒の不安を軽減、現場環境の整頓に貢献します。 さらに、ナースコールコンセントから離れた場所でも離床センサーをご利用いただけるようになり、より自由な設備配置を可能にします。

2026年06月05日

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株式会社フクダがご提案するリークテスト・漏れ試験・漏れ検査・漏れ検知・漏れ検出・容器完全性試験・包装完全性試験

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株式会社フクダは漏れ検出を追求して60年、漏れ検査(リークテスト)の未来型を追求します。 【 各種漏れ試験に対応:エアリークテスト / ガスリークテスト(水素ガス ・ ヘリウムガス) 】 気密性・密封性を検査するための漏れ試験機器を開発・製造・販売しています 検査対象ごとに適切なテスター・装置をご提案いたします 【 対象業界と検査対象例 】 ・自動車業界:エンジン、FC部品、バルブ・配管、各種部品 ・電子部品業界:スマートフォン、キーレススイッチ、各種小型センサ ・医薬品 / 食品 / 化粧品業界:ボトル容器、シリンジ、バイアル、点眼剤容器、ピロー包装、PTP包装 業界別に最適なリークテスターをご提案いたします 【 ISO認証 】JIS Q 9001:2015(ISO 9001:2015)

2026年06月05日

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