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2025/12/05

【製品カタログ】『GP200シリーズ』圧力ベース ガス マスフローコントローラ(改訂版)

ITWジャパン株式会社 ITWジャパン株式会社
GP200シリーズは、半導体用途専用に設計された、初めての完全圧力非感応型PMFCです。GP200の独自の差圧技術と最先端のセンサー・バルブ構成により、従来の圧力ベースのマスフローコントローラの限界を取り除き、業界で最も広範囲かつ正確なプロセスガスコントロールを可能にします。 Brooksは世界で初めてガス種と流量範囲の再設定が可能なMFCを開発し、リリース以降もガスモデルを刷新し続けており、同じ機能がGP200にも組み込まれています。多くのガス種と幅広い流量範囲への再設定を容易に行うことができ、幅広いプロセスに柔軟に対応します。 GP200の超高速で再現性の高いバルブコントロールと圧力変動耐性により、極端に供給圧力が変動した場合でも、チャンバーへの精密な流量制御を維持し、よりタイトなプロセス制御を可能にします。GP200プラットフォームは幅広いプロセス条件をサポートし、従来の圧力ベースのマスフローコントローラの多くを交換または、アップグレードすることが可能です。
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【公式サイト】GP200シリーズ 圧力ベース・メタルシール・マスフローコントローラ
【動画】Brooks Instrument Pressure-based Mass Flow Controllers - Theory of Operation

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圧力ベースマスフローコントローラ『GP200シリーズ』

最高の性能を最大限に引き出す!先駆的な半導体プロセスのための最新型圧力ベースマスフロー

GP200シリーズは、従来の圧力センサーに代えて差圧センサーを採用し、コントロールバルブをセンサーの下流に配置することで、従来の圧力ベースMFCに比べて格段に流量計測の精度と再現性が向上しています。 【特徴】 ■測定誤差の低減 ■すべてのプロセス条件に好適 ■高精度な流量制御 ■バルブリークを1/100に低減 ※詳しくはお問合せください。

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サーマルマスフローコントローラ/メータ『SLA5800シリーズ』

高圧ガス保安協会(KHK)の認証取得。都道府県の完成検査の手続きを簡略化。国内防爆(JPEx)の型式検定合格証も取得

サーマルマスフローコントローラ/メータ『SLA5800シリーズ』は、 カーボンニュートラルの研究開発に役立つ、ガスの制御・測定機能を備え、 水素・メタン・LNG・二酸化炭素・アンモニアなどの気体に対応した製品です。 「SLA5850 マスフローコントローラ ノーマルクローズバルブ」は、 高圧ガス保安協会(KHK)の認証を取得しており、 都道府県での完成検査が認定証の提出のみで済むため、 非常にスムーズな導入が可能になります。(フローメータでの対応も可能) 【特長】 ■DEKRAより、国内防爆(JPEx)の型式検定合格証を取得済 (対応品:マスフローコントローラ/メータ、プレッシャーコントローラ) ■化学・石油化学・燃料電池・ライフサイエンスなどの分野でも活躍 ■広範囲をカバーする流量レンジ ■1台で複数のガス・流量レンジに対応可能 ※詳しくはカタログをご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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信頼できる製品、専門性の高いサービス!機器を“新品同様の状態”に再生します!

当社は、流量制御の深い知識、電気および機械工学の強力なバックグラウンド、 およびバイオテクノロジーの分野における制御システムの深い理解を持つ 経験豊富な技術サポートメンバーを擁しています。 数十年にわたる豊富な経験を有し、機器を“新品同様の状態”に再生。 機器校正サービスのエキスパートが、校正証明書を発行します。 お客様のサービスおよびインストールに関するご要望は、 お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■全ての修理には工場認定の新しい部品を使用 ■全ての修理サービスに対して保証期間がある ■機器校正サービスのエキスパートが、校正証明書を発行 ■グローバルなサービス拠点 ■デジタルプロトコルによるハードウェアのアップグレードが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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圧力ベース ガス マスフローコントローラ『GP200シリーズ』

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リードアウトユニット『0251 / 0254』

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ハイパーCLT敷板

夏場の敷板対策に木材CLTを活用|ハイパーCLT敷板

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夏場の土木現場では、敷板の表面温度や照り返しが作業環境に影響することがあります。特に敷鉄板は日差しを受けると熱を持ちやすく、作業員の熱中症対策や現場環境の改善が課題になる場面もあります。 ハイパーCLT敷板は、木材CLTを活用した土木CLT資材です。木の敷板として、仮設道路、搬入路、重機作業ヤード、資材置場、歩行動線などに使用でき、敷鉄板代替として幅広い土木現場で活用できます。実際の現場では、敷鉄板と比べて表面温度に約20度の差が出るケースもあり、夏場の照り返し抑制や熱中症対策の一つとして提案しやすい資材です。 5×10版は約230kg、5×20版は約460kgと軽量で、小型重機でも扱いやすく、施工負担の軽減にもつながります。また、木材ならではの騒音低減、環境配慮、CO2固定といった特徴もあります。国土交通省NETIS登録技術「TH-250021-A」として、公共工事の創意工夫や安全対策にも活用しやすい敷板です。夏場の現場環境を改善したい企業様は、ぜひハイパーCLT敷板をご検討ください。

2026年07月22日

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ホトロングループの事例ページ

【事例紹介】ホトロンはセンサー技術を追求し、 安全で快適な生活空間を生み出す製品を創っています。 街のいたるところで人々の暮らしをサポートする ホトロン製品をご紹介します。

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半世紀以上の経験で培ったセンサー技術のホトロングループの製品の導入実績を、お客様の事例を通してご紹介します。 自動ドアセンサーをはじめ、車両検知センサーや看護・介護センサーも充実しております。 導入例も多数紹介しておりますので、ぜひ、事例案内ページを御覧ください。

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HK-2

自動ドアや設備機器の地震対策におすすめ!感震装置HK-2

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世界で地震の多い国の10カ国に入る日本。国土交通白書2020では大きな地震の発生確率の高まりも公表されています。 南海トラフ地震については、マグニチュード8~9クラスの地震の30年以内の発生確率が70~80%とされています。 ホトロンでは、建設物や設備機器への地震対策に感震装置の導入をおすすめしています。 感震装置『HK-2』は、震度5弱相当以上の強い揺れを感知した場合、 事前に設定した様々な制御を自動で行える製品です。 例えば、次のようなアクションを自動で実行できます。 「自動ドア・自動門扉を開いて、退路及び緊急車両の進入路を確保」 「管制室へ信号を伝達し、施設設備を停止」 「施錠されたロッカーの鍵を解錠」 「音声案内の自動再生」 ◎詳しくは資料ダウンロード又はお問い合わせください。

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■■ エアリークテスター|FLA-0200, FLA-0201 ■■ マスタリング測定により短時間でも高精度測定が可能 / 予防保全機能 / 自己診断機能 / 5.7型タッチパネルディスプレイ / オプションでネットワーク通信も

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フクダの新しいエアリークテスター2機種。 ・マスタレスタイプ(FLA-0200 series) ・汎用型(FLA-0201 series) マスタリング補正機能により短時間で高精度測定が可能です。 テストに用いる媒体が空気(エアー)の為、ランニングコストがかかりません。 ●予防保全機能 ●マスタリング補正機能 ●自己診断機能 ●5.7型タッチパネルディスプレイ ●ネットワーク通信(オプション)

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気密性・密封性を検査するための漏れ試験機器を開発・製造・販売している株式会社フクダが、 気密検査の方法や理論を分かり易く解説した技術資料である、 『テクニカルマニュアル(Technical Manual)』 をPDFデータとしてご提供させていただいております。 ぜひこの機会にダウンロードしてご覧ください!

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