SEMICON Japan 2024へ出展いたします

加熱効率向上で省エネルギー化！高速応答性でサーマルバジェット低減を実現

『LEDアニール装置』は、ハロゲンヒータ、フラッシュランプに次ぐ 第三の光加熱源です。 加熱効率向上で省エネルギー化、高速応答性でサーマルバジェット低減を実現。 放射温度計によるリアルタイム温度計測が可能です。 また、基板表面の加熱ができ、金属材料に優れた加熱効率を発揮します。 【特長】 ■加熱効率向上 ■高速応答性 ■高精度温度計測 ■高均一性 ■基板表面の加熱が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 加熱装置

ワークサイズに応じて、フラッシュランプを複数本配置！大面積で一括照射、高照射が可能！

『SUS980シリーズ』は、結晶化、剥離、酸化膜形成などの用途にお使いいただける フラッシュランプアニール装置です。 ランプに流れる電流を半導体スイッチでON／OFF制御することで、 ランプ電流パルス幅の調整が出来、加熱深度をコントロール(0.1～60msec)。 ワークサイズに応じて、フラッシュランプを複数本配置し大面積で一括照射、 高照射が可能です。 【特長】 ■深さコントロール(バルス制御) ■ランプに流れる電流を半導体スイッチでON／OFF制御 ■ランプ電流パルス幅の調整が出来、加熱深度をコントロール(0.1～60msec) ■複数パルスの照射も可能 ■高出力・大面積一括処理(タクト短縮、高均一度) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 加熱装置

フライヤなどの食品加熱用の熱源にも好適！気密性を高めた二重管ヒーターランプ

『直管形二重管ハロゲンヒータランプQIRT』は、二重管構造で密閉性を 高めたことにより、水や薬液、油などの液体につけて、直接加熱することが できるランプです。 また、二重管構造は、ランプ破損時の飛散を防ぐなど、安全性を高められることから、 フライヤなどの食品加熱用の熱源にも好適。 オーダーメイドシステムでは、任意の寸法、波長、設置条件、特性に合わせて 設計できます。 【ラインアップ】 ■QIRT100V500W ■QIRT100V700W ■QIRT200V2000W ■QIRT200V2000WL ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 加熱装置

加熱対象物の形状、照射範囲などから選択可能！ヒータユニットのご紹介

『ラインヒータユニット』は、ヒータランプとミラーを組み合わせ、 ライン状の加熱や大面積への加熱に威力を発揮する製品です。 寸法、特性を絞り込んで規格化したことで、コストパフォーマンスが高く、 試作検証や実験などに導入しやすくなっています。 また、必要な特性に合わせたオーダーメイドにも対応。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■ヒータランプとミラーを組み合わせ、ライン状の加熱や大面積への加熱に威力を発揮 ■寸法、特性を絞り込んで規格化 ■コストパフォーマンスが高い ■試作検証や実験などに導入しやすい ■必要な特性に合わせたオーダーメイドにも対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 加熱装置

ユーザが求める温度、出力、寸法など！特性に合わせたランプ、ミラー形状、冷却方式を選定

『高出力ラインヒータユニット（オーダーメイド）』は、500℃を超える高温域での 光コントロールを可能にする高出力な製品です。 ユーザが求める温度、出力、寸法など、特性に合わせたランプ、ミラー形状、 冷却方式を選定し、完全オーダメイドで対応。 ミラー形状は、フォーカスタイプをはじめ、パラボラタイプ P、 パラボラタイプ N（コンパクト型・金メッキミラー仕様）をご用意しております。 【特長】 ■500℃を超える高温域での光コントロールを可能にする高出力なラインヒータユニット ■特性に合わせたランプ、ミラー形状、冷却方式を選定し、完全オーダメイドで対応 ■フォーカスタイプをはじめ、パラボラタイプ P、パラボラタイプ Nをご用意 ■パラボラタイプは広い面積を均一に照射可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 加熱装置

高効率なエネルギー源！赤外線ハロゲンヒータなどの光加熱製品をご紹介

当カタログでは、赤外線ハロゲンヒータを中心に光加熱製品を 掲載しております。 広い範囲を平面加熱することができる直管形ハロゲンヒータランプ「QIR」、 シリコンウェハの高温加熱装置等に適したサークル形ハロゲンヒータランプ 「QIR Circle」などをラインアップ。 その他にも「フラッシュランプアニール装置　SUS980 シリーズ」と 「LED アニール装置」についてもご紹介しています。 【掲載内容(一部)】 ■光加熱とは ■赤外線ハロゲンヒータ ■赤外線ハロゲンヒータの用途 ■赤外線ハロゲンヒータの種類と特殊加工 ■直管形ハロゲンヒータランプ　QIR ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他エネルギー機器

大面積で一括照射・高照度での照射が可能！複数パルスの照射もできる加熱装置

『フラッシュランプアニール装置』は、1秒以内で瞬時に対象物を アニールする光応用加熱装置です。 UVから可視・赤外域までの連続波長を有したクセノンフラッシュランプの 光により、0.1～60msecの範囲を任意に可変可能。 焼成、剥離、表面改質など幅広いスペクトルを利用した様々な用途に お使いいただけます。 【特長】 ■スペクトル ・紫外から可視・赤外領域まで幅広い波長特性 ■高出力・大面積一括処理(タクト短縮、高均一度) ・ワークサイズに応じて、フラッシュランプを複数本配置し、 　大面積で一括照射、高照度(Max70J/cm2)での照射が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 加熱装置

真空対応などの加工が可能！円形状または、円形範囲への加熱が必要な場合に活用できます！

『サークル形ハロゲンヒータランプQIR Circle』は、シリコンウェハの 高温加熱装置などに好適なサークル状のランプです。 円形状または、円形範囲への加熱が必要な場合に活用できます。希望のサイズ、 特性に応じた設計ができ、真空対応などの加工も可能。 オーダーメイドシステムでは、最大サークル径500mmまで任意の寸法、波長、 設置条件、特性に合わせて設計できます。 【特長】 ■シリコンウェハの高温加熱装置などに好適なサークル状のランプ ■円形状または、円形範囲への加熱が必要な場合に活用できる ■希望のサイズ、特性に応じた設計でき、真空対応などの加工も可能 ■最大サークル径500mmまで任意の寸法、波長、設置条件、特性に合わせて設計可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 加熱装置

【事例紹介】液体の保温・加熱

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源による、液体の保温・過熱の事例紹介です 【特徴】 ○半導体製造ラインにおけるシリコンウェハの洗浄 　液晶製造ラインにおけるガラス基板の洗浄などに使用される 　純水や薬液を保温・加湿することが可能 ○高品質の石英ガラスで2重に覆われた 　ハロゲンランプで構成されているため、不純物汚染が少なく 　加熱効率95％以上と高効率に加熱することが可能 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

• その他

【事例紹介】成膜装置のプレヒート

統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源による、成膜装置のプレヒートの事例紹介です。 真空環境下においても非接触・高速昇温性を持った ハロゲンランプヒータを使用することにより 半導体・FPD・太陽電池などの成膜工程において タクトタイム短縮に貢献することができる ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

• その他

【事例紹介】RTP（ラピッドサーマルプロセス）

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源によるRTPの事例紹介です。 かつての半導体熱処理は、ファーネス（断熱）が一般的だったが ナノオーダーのデバイスの場合、薄い膜形成や浅い接合が必要となり アイソサーマルの代名詞ともなっているRTPがキーテクノロジーとなっています。 また、次世代半導体においては、熱流束技術として フラッシュランプアニールが主流となっています。 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

• その他

ウシオの光で出来ること　熱する『接合』

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源の実用例（接合）のご紹介です 【特徴】 ○使用光源：ハロゲンランプヒータ ○各種ヒートシンクの配管溶接にハロゲンヒータが採用 ○ハロゲンヒータの光は輻射熱として 　照射されるため、温風タイプとは異なり 　周囲環境に左右されにくく 　短時間で所定温度まで昇温が可能 ○ガスバーナなどの加熱とは異なりCO2の環境負荷に適している ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

• その他

ウシオの光で出来ること『不純物拡散』

統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源の実用例（不純物拡散）のご紹介です 【特徴】 ○使用光源：クセノンフラッシュランプ・ハロゲンヒータランプ ○半導体工程において、ソースドレインにインプラントを行い 　その後、アニール工程によってドーピングした不純物を活性化 ○クセノンフラッシュランプの特性を活かし 　ミリ秒単位という短時間で今までの活性層の深さに比較して 　極めて浅い部分（nmオーダー）を高温アニールし 　不純物の拡散を防ぐことが可能 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

• その他

ウシオの光で出来ること『加熱/成膜』

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源の実用例（加熱/成膜）のご紹介です 【特徴】 ○使用光源：ハロゲンランプヒータ ○半導体・FPD・太陽電池などの製造プロセスにおける 　金属膜、絶縁膜の形成に用いられる 　CVDやスパッタリング装置の熱源として最適 ○さらに成膜前の、水分除去や予備加熱にハロゲンランプヒータを 　用いることで、スループット向上と高品質な膜形成を実現 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

• その他

3次元反射光シミュレーションを経て設計！優れた加熱均一性と昇温性能

『サークルヒータユニット』は、主にシリコンウェハの急速加熱や ガラスレンズの成形前加熱などに好適な製品です。 3次元反射光シミュレーションを経て設計された反射鏡とランプを 適切に配置。優れた加熱均一性と昇温性能を持っています。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【UL-HU-CH36KW/STD 仕様（抜粋）】 ■定格電圧：200V ■消費電力：36kW ■ユニット外径：470mm ■ユニット奥行：235.5mm ■重量：30kg ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 加熱装置

SPACECOOL株式会社は、2026年7月15日（水）～17日（金）に東京ビッグサイトで開催される、暑熱課題解決に特化した専門展示会「第12回 猛暑対策展」に出展いたします。 本展示会では、2026年6月に発売を開始した「SPACECOOL日傘Type2」をはじめ、開発中製品など「SPACECOOL Consumer Products Lab.」の製品を展示いたします。 展示製品に採用している「SPACECOOLファブリックType2」は、太陽光による熱の侵入を大きく抑制するとともに、日傘に伝わった熱を赤外線として宇宙へ放射することで放熱を促進します。「SPACECOOL日傘Type2」では、高い遮光性・UV遮蔽性能に加え、遮熱率80％（シルバーの場合）を実現しています。 会場へお越しの際は、ぜひ当社ブースへお立ち寄りください。 展示会概要 会期：2026年7月15日(水)～7月17日(金) 10:00～17:00（最終日のみ〜16:00） 会場：東京ビッグサイト　東7ホール 当社小間番号：7-ZF13 ※来場には事前登録が必要です（無料）

三次元計測機を用いて非破壊的に製品の形状や変形等の情報を取得。 製品の品質保証等に役立つ三次元計測機による形状計測事例を掲載。 ［破面観察・物性試験(引張試験)の概要］ (1) 破面観察 外観観察・破損状況を確認・き裂の進展方向および破壊の起点部をマクロ的に捉え 起点部の詳細（位置、欠陥の有無）を確認・特徴的な破面模様を観察・破壊形態を推定 (2) 物性試験 引張弾性率・引張強さ・引張破壊ひずみ (3) その他 付着物の調査・機器分析・熱分析・メタリングウェザーメーター試験・原因調査 詳細はこちらをご覧ください。 https://mono.ipros.com/product/detail/2001514275/

土木現場では、仮設道路や搬入路、重機作業ヤード、資材置場など、足元を安定させるために敷板が使用されます。一般的には敷鉄板が多く採用されていますが、重量があるため、運搬や設置・撤去に手間がかかり、現場条件によっては作業効率の低下につながることもあります。 ハイパーCLT敷板は、木材であるCLTを活用した土木CLT資材です。木の敷板として、ぬかるみ対策、地盤保護、作業動線の確保、資材置場の養生などに利用できます。5×10版は約230kg、5×20版は約460kgと軽量で、小型重機でも扱いやすく、敷鉄板代替として土木現場の省力化に貢献します。 また、木材ならではの照り返し抑制、騒音低減、環境配慮の提案にもつながります。鉄とは異なる木の特性を活かせる点も魅力です。国土交通省NETIS登録技術「TH-250021-A」として、公共工事の創意工夫や安全対策にも活用しやすい資材です。敷板の見直しや、木材を活用した土木CLTの導入を検討する企業様におすすめです。資料請求や現場条件に合わせた導入相談も承ります。公共工事から民間土木工事まで、幅広い現場にご提案可能です。お気軽にお問い合わせください。

特徴： ●Intel Core Ultraシリーズ3プロセッサ搭載 ●DDR5 C/SO-DIMM x 2、最大128GB ●PCIe Gen5 [x8] x 1 ●最大LAN x 4（10GbE x 2 + 2.5GbE x 2） ●M.2-1A 2280 M-Key x 1 ●M.2 2230 E-Key x 1、M.2 3042/52 B-Key x 1（SIMソケット付き） ●12V～24V DC入力電源

特徴： ●Intel Core Ultra プロセッサ（シリーズ2）対応、LGA1851ソケット、最大125W（CPU別売） ●DDR5 6400MT/s対応、デュアルチャネル CU/U-DIMM スロット ×4、最大256GB搭載可能（メモリ別売） ●M.2 M-Key ×2、M.2 E-Key ×1、M.2 B-Key ×1 ●USB 3.2 ×9、USB 2.0 ×7 ●2.5GbE LANポート ×3 ●SATA 6Gb/s ×4（RAID 0、1、5、10対応） ●HDMI 2.1 TMDS ×2、DisplayPort 1.4a ×1、VGA ×1 ●PCIe Gen 5 x16スロット ×2、PCIe Gen 4 x4スロット ×2、PCIe Gen 4 x1スロット ×3 ●ATX電源対応 ※メモリ、ストレージ、OSレスのモデルとなります