フクダの電子部品専用リークテストシステムをぜひご覧ください！

ボンビングによる充填、圧力変化確認によるグロスリーク、質量分析によるファインリーク、これらが１台で完結する複合気密検査装置です。

『 MSX-0101 series 』はMEMS、水晶デバイス、SMD等の電子部品の気密検査に最適な小型電子部品専用気密検査装置です。 ヘリウム充填、グロスリークテスト、ファインリークテストを1台のシステムに完全装備。 充填時間、放置時間を管理することで、適正なグロス、ファインリークを実施することができます。 【特長】 ■MEMS、SMD等の電子部品の漏れ検査に好適 ■充填時間、放置時間を管理しながらグロス、ファインリーク量を数値化 ■グロスリークテスト、ファインリークテストを1台で対応できる ■ボンビング条件とグロスリーク条件を適切に設定することにより、高い精度のファインリーク測定が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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超小型パッケージ 1.0 × 0.8 mm、1.2 × 1.0 mm に対応した気密検査装置です

「 MSX-7000 series 」は小型電子部品、水晶振動子、MEMS・光デバイス、各種センサなど、密封パッケージ品の気密検査装置です。 新しい機構により、初めて 1.0 × 0.8 mmサイズの検査を実現し、画像処理を用いた位置補正で搬送精度が向上しました。 ボンビング、グロス／ファインリークテストを一台で完結できます。 【特長】 ■新しい機構により、初めて 1.0 × 0.8 mmサイズの検査を実現 ■画像処理を用いた位置補正で搬送精度向上 ■グロスリーク感度を 8.5×10⁻⁸Pa・m³/s まで高精度化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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小型電子部品の高感度リーク試験！ウルトラファインリークまでご提案【特許技術】

『MUH-0100シリーズ』は、「カプセル蓄積法」を採用した超微小漏れ測定専用の気密検査装置です。 当社では、超微小漏れの測定技術として、高感度のヘリウムリーク検出技術「カプセル蓄積法」を開発。 角速度センサや赤外線イメージセンサなどのMEMS部品や小型電子部品は、長い年月にわたって製品内部の密封性を保持する必要があり、高い気密性が求められています。 【カプセル蓄積法　特長】 ■4×10⁻¹⁵Pa・m³/s (He) まで計測可能 ■バックグラウンドを大幅に低減 ■超微小のヘリウムリークの検出が可能 ■誤差要因となるヘリウム以外のガスの影響を低減 ■ヒーターや極低温ポンプが不要になり、起動時間のメンテナンスが通常のヘリウムリークディテクタと同等 ■ヘリウムの蓄積量の校正には、市販の標準リークが使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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全自動機、専用機、卓上タイプをラインアップ！ 小型電子部品専用気密検査装置をご紹介します

『 MS series 』は ・水晶デバイス ・セラミック発振子 ・光デバイス ・パワー半導体 ・CANデバイス ・レーザーダイオード ・コンデンサ など、気密性が求められる小型電子部品のリークテストシステムです。 密封された製品のリークテストは、製品規格や製品特性により、グロスリーク、ファインリークとその両方の検査を行うことがあります。 全行程を一台で行える全自動機や専用機（特注）、抜取り検査に便利な卓上タイプをラインアップしております。 【ラインアップ（抜粋）】 ＜全自動装置＞ ■グロスリークテストシステム ・MSZ-6200 ・MS-6086 ■ボンビング・グロス・ファインリークテストシステム ・MSX-6110 ・MSX-6200 ・MSX-7000 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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PFASフリー！ フッ素系不活性液を用いる液没検査をやめて、圧力漏れ試験法によるエアリークテスト（気密検査）に移行しませんか？

有機フッ素化合物（ＰＦＡＳ／フロリナート(TM)等）を使用した液没検査の代替検査として、 株式会社フクダは以前から圧力変化漏れ試験法によるエアリークテスト（気密検査）を提供してきました。 この『 MSA-0101 series 』は、グロスリークを確認する最新の密封品用の気密検査装置です。 テストに用いる媒体が空気（エアー）の為、ランニングコストがかかりません。 デバイス開発時の試験、抜取り気密検査などの少量向けに開発した気密検査装置となります。 ※ なお、量産検査やライン投入用には全自動検査装置の『 MS sereis 』をご用意しています。 検査対象の製品サイズは、 小型デバイスとなる数ミリ角から、 最大は 80 × 70 mm 以下の中型～大型デバイスまで、 計測治具（中子）の製作により対応可能です。

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LED, 光デバイス, 高周波デバイス, パワー半導体, IRセンサ などの比較的大きな電子デバイス品が対象の全自動気密検査装置

【MSX-7003 series】は中型～大型の比較的大きい電子デバイス品を対象とした気密検査装置です。 LED, 光デバイス, 高周波デバイス, パワー半導体, IRセンサ, ジャイロセンサ, 角速度センサ, 電解コンデンサ などの10 mm角以下の電子デバイス品の気密検査が可能です。 【MSX-7003 series】はシリーズの最上位機種で、 ・ヘリウムボンビング ・グロスリークテスト ・ファインリークテスト の３工程を全自動で行う複合型気密検査装置です。 インラインにも対応しています（パスラインの高さは 940 mm） 他にも、 ・グロスリークテストのみを目的とした【MSZ-7003 series】 ・ボンビングとファインリークテストを行う【MHX-7003 series】 ・ボンビング装置を持たない【MSH-7003 series】 など、お客様の用途に合わせたラインナップをご用意しております。 実際の装置の動画を、下記のYouTube動画でご覧ください。

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株式会社フクダでは、テスター単体の販売だけでなくお客様のご要望・仕様に沿ったリークテスト装置・リークテスターを製作いたします。

株式会社フクダでは、テスター単体の販売だけでなくお客様のご要望、仕様に沿ったリークテスト装置を製作いたします。漏れ試験機だけではなく、シール治具やテスター周辺の部品等の整備・改善を行うことで、高い費用対効果と設備安定性を実現できると考えており、装置での提供を推進しております。漏れ検査機・漏れ試験機として、流量計、エアー、水素、ヘリウムによるリークテスターをラインアップしていることで、部品から組立品まで、低圧から高圧まで、小流量から大流量まで、お客様のご要望に幅広くお応えできます。お気軽にお問い合わせ下さい。 ●自動車関連 インテークマニホールド用 コモンレール用 リチウムイオンバッテリー用 シリンダーヘッド（油路・水路） シリンダーブロック 車載用ハーネスASSY フューエルタンク デリバリパイプ インジェクター ブレーキキャリパ ヘッドライト バッテリーケース 熱交換器 etc. ●電気・電子関連 ハーネス用 電子部品用（全自動） 電子部品用（卓上タイプ） MEMS 水晶発振素子 セラミック振動子 リレー スイッチ コネクター ケーブルASSY 防水カメラ 時計 etc. （下に続く）

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気密性・密封性を検査するための漏れ試験機器を開発・製造・販売している株式会社フクダが、 気密検査の方法や理論を分かり易く解説した技術資料である、 『テクニカルマニュアル（Technical Manual）』 をＰＤＦデータとしてご提供させていただいております。 ぜひこの機会にダウンロードしてご覧ください！

【大反響】Aeroforce(TM) 本格始動！ smartc次世代型ハイパワークーラントシステム『Aeroforce(TM)』 高圧ポンプを使用することによる電力使用量=CO2排出量が目下の懸案事項となっていませんか？ 『Aeroforce(TM)』は、クーラントと共にエアーの供給も行うため、0.3Mpa前後のサイドクーラントポンプ圧であっても十分に強力なクーラント供給が可能です。高圧ポンプを使用せずとも効果的な位置に十分なクーラントが供給できるため、もちろんCO2削減の問題に限らず、本来のクーラント供給の目的である『切削条件の向上』、『サイクルタイム短縮』、『機械稼働コスト削減』、『工具寿命の向上による工具費削減』といった課題も同時に解決できます。 詳しくはこちらをご覧ください。 https://toolde.co.jp/?p=4929 smartec特集ページもご覧ください。 https://acs-l.jp/corp/toolde/smartec.html

包装工程のピンホール検査を完全自動化し、一定の品質基準をもとに包装不良を排除します。判定結果や稼働状況は、モニタ画面により管理することができます。 ・ピンホール検査工程の品質基準を定量的に管理 ・製品の有効期間の品質を確保 ・製造工程の評価基準を確立、定量的な品質保証を実現 ・スリムな省スペースで既存の生産ラインに接続可能 ・品種切替のための段取り替えは、チャンバの交換により短時間で対応可能 ・完全国内生産だから、メンテナンスやトラブル対応も迅速に対応します ・対象ワーク例：ピロー包装、包装米飯(パックごはん)、等 ※本製品の医薬品での対応についてはお気軽にご相談下さい

株式会社フクダは漏れ検出を追求して60年、漏れ検査（リークテスト）の未来型を追求します。 【 各種漏れ試験に対応：エアリークテスト / ガスリークテスト（水素ガス ・ ヘリウムガス） 】 気密性・密封性を検査するための漏れ試験機器を開発・製造・販売しています 検査対象ごとに適切なテスター・装置をご提案いたします 【 対象業界と検査対象例 】 ・自動車業界：エンジン、FC部品、バルブ・配管、各種部品 ・電子部品業界：スマートフォン、キーレススイッチ、各種小型センサ ・医薬品 / 食品 / 化粧品業界：ボトル容器、シリンジ、バイアル、点眼剤容器、ピロー包装、PTP包装 業界別に最適なリークテスターをご提案いたします 【 ISO認証 】JIS Q 9001:2015（ISO 9001:2015）

株式会社フクダは漏れ検出を追求して60年、漏れ検査（リークテスト）の未来型を追求します。 【 各種漏れ試験に対応：エアリークテスト / ガスリークテスト（水素ガス ・ ヘリウムガス） 】 気密性・密封性を検査するための漏れ試験機器を開発・製造・販売しています 検査対象ごとに適切なテスター・装置をご提案いたします 【 対象業界と検査対象例 】 ・自動車業界：エンジン、FC部品、バルブ・配管、各種部品 ・電子部品業界：スマートフォン、キーレススイッチ、各種小型センサ ・医薬品 / 食品 / 化粧品業界：ボトル容器、シリンジ、バイアル、点眼剤容器、ピロー包装、PTP包装 業界別に最適なリークテスターをご提案いたします 【 ISO認証 】JIS Q 9001:2015（ISO 9001:2015）