SEMICON JAPAN 2024 出展のご案内

サイクルタイムを短縮！汎用性があり、簡単に使えるように設計されている光干渉測定器

『NCG』は、光干渉技術による厚み測定器です。 連なる光の波がワークの接合部面で反射し戻された干渉により層の厚さを 計算し、計測。ガラス、プラスチック、シリコンウェハー等、異なる材質の 厚みを管理するように設計されています。 当製品は、様々なマシンに接続し、高精度かつ高速に部品の厚さ管理ができ、 スペック上の仕様制限内のドライまたはウェット環境で機械上または 機械内部で使用できます。 【特長】 ■目的の公差内の加工精度を保証 ■サイクルタイムを短縮 ■コントロールされた安定した生産を維持するための制御 ■機械的な変動に対する補正 ■測定結果の履歴 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他計測・記録・測定器
• 光学測定器

白色光を透過する様々な材料の非接触厚み測定を実現

P3CFは、従来の接触式プローブと、コンフォーカル（共焦点）技術による非接触式プローブを組み合わせた測定システム (ハイブリッド測定) です。 様々な素材の距離および白色光に対して透明な材料の厚さを直接測定することができます。 薄くてデリケートな材料（セラミック、半導体ウェハー、包装用エポキシ樹脂モールドコンパウンドなど）の厚さをは、仕上げ工程で正確な測定が 要求されますが、接触式では測りづらいことが課題です。共焦点技術を採用したP3CFは、基準面からワーク表面までを距離として厚さを非接触で測定します。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• センサ
• ウエハー
• その他計測・記録・測定器

様々な表面で、高速かつ広範囲な非接触/非破壊測定を実現

SOLARIUS VIKING（ソラリウス・バイキング）は、小型で軽量な光学式3D表面粗さ・形状測定機です。 センサーを使用した測定により、顕微鏡とは異なる測定アプローチが可能です。 ウェーハ、リチウムイオン電池セパレーターなど、表面が薄く柔らかで傷がつきやすい素材の表面粗さ測定や厚さ測定に課題をお持ちのお客様にも好適です。 先端センサー技術を使用し、3D表面トポグラフィーマップおよび国際規格に準拠した測定結果を迅速に提供します。 また、コンパクトな設計で省スペースを実現。容易なセットアップと高い操作性により、3D光学検査プロセスをすばやく設定でき、作業者の負担軽減に寄与。短時間でより多くの測定が可能になります。 【このような課題をお持ちのお客様に好適です】 - 目視作業やマニュアル測定を改善したい - 誰にでも使いやすい機器がほしい - 機械的位置合わせ（傾斜またはずれ） - 測定の詳細把握やデータ管理をしたい - カスタマイズが必要な特別なアプリケーションを探している ＊サンプル測定のご相談も承っております。お気軽にお問い合わせください。

• リチウムイオン電池
• ウエハー
• 光学測定器

要求の厳しい複雑な表面測定に対応する高精度3D表面計測

AOP-PCI（プローブカード検査）は、プローブカードを総合的にチェックするための多機能、非接触、非破壊検査ツールです。 エアベアリングステージと最先端クラスのセンサーおよびビジョンシステムを組み合わせることで、フルサイズのスクエアダイレクト ドックプローブカードでも、プローブカードの先端、ヘッド形状、PCB表面の高精度データを取得できます。 さらに、専用の測定アルゴリズムにより、データ取得と分析の両方のルーチンをシームレスに実行可能です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• ウエハー
• 半導体検査/試験装置
• その他計測・記録・測定器

チップ製造のサイクルタイム短縮と高品質を実現！ウェーハ切断中のブレード監視用センサー

『VBI』は、ウェーハ切断中にブレードを監視し、高い信頼性の確保と無駄を減らします。 ブレードの摩耗と形状をリアルタイムで測定することで、スクラップの削減を生産を止めることなく実現します。 インターフェースユニットは2つのセンサーが接続されます。同じ機能を2つで実行することも、2つの異なる機能を実行することも可能です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• センサ
• ウエハー
• その他計測・記録・測定器

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