MEMS Engineer フォーラム 2025

リモートソース型イオンビームスパッタ装置　リモートプラズマソースの開発メーカー

PlasmaQuest社 ヘリコン型 高密度イオンソースの開発販売、及び 応用製品の開発販売で25年の歴史を持つ優良企業です。 グリッドレスで高密度なプラズマを発生させるヘリコンプラズマソースは、多くの装置メーカーにOEM供給を続けていおります。 その高品位なプラズマソースをイオン源として、ターゲットにバイアス印加を行う画期的な手法「HiTUS」システムにより、様々な条件やターゲットを用いてのスパッタを実現しています。 従来のマグネトロンスパッタ装置では困難とされる高磁性ターゲットや高誘電ターゲットのスパッタ、金属とセラミックなどの異種ターゲットを同時に用いるCo-スパッタなど、多用途での運用を可能としています。 研究用途から生産規模の装置まで柔軟に対応できる多性を整えています。

• スパッタリング装置

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加で高品位かつフレキシブルな成膜をする装置です

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜プロセスの構築など、幅広い研究に対応できる装置です。 これまでのスパッタ装置で成膜が難しいとされる強磁性体ターゲットや、金属ターゲットとセラミックターゲットなどの異物質Co-スパッタ研究など、先端材料研究やプロセス構築研究を強力にサポートする装置です。 直進性の高い成膜 　→イオンビームスパッタの特徴である直進性の高い成膜 多連装ターゲット機構 　→幅広い多層膜成膜 複数ターゲットへの同時プラズマ供給とスパッタ制御 　→精密に制御したCo-スパッタ成膜 基盤へのバイアス印加制御によるコンフォーマル成膜 　→ディープトレンチ、回り込みなどの悪条件下でもコンフォーマルな成膜

• スパッタリング装置

誘電体、強磁性体成膜を高レートかつ高品位に高速成膜

従前のマグネトロンスパッタでは成膜レートが低くなるAl2O3、SiO2などの誘電体、 Feなどの強磁性体の成膜で力を発揮する高速イオンビームスパッタ（IBD)装置です。　 ヘリコンプラズマソースをイオン源とし、そこから得られた高密度なイオンをターゲットへのバイアス電圧印加によって加速させる画期的な方法により、高レートかつ直進性の高い成膜を実現します。 ターゲット面全体を高効率で利用するため、貴重・希少なターゲットを用いる成膜工程でのコスト削減にも貢献します。 ＜特長＞ ■高速・高効率イオンビームスパッタリング 　誘電体・強磁性ターゲットへの最適解 ■ヘリコンプラズマイオンソースとターゲット印加 　高速スパッタリングと低コンタミの両立 　ターゲット利用効率の向上によるランニングコスト削減 　グリッドレス構造によるメンテナンス低減 　リモートプラズマ構成による、基盤を低温に保ってのスパッタリング ■枚葉処理 　ステップカバレージの向上 　クラスターツールによる複合成膜 ■優れた直進性 　直進性の高いイオンビームにより、均一な膜厚での成膜が可能。 ステップカバレッジの優れた成膜

• スパッタリング装置

光学・電子関連に使われる資材・機器の総合商社である株式会社マブチ・エスアンドティー様のブースにて、 弊社製品を展示いただきます！ 【開催概要】 ■会期：2025年4月23日（水）～25日（金）10：00～17：00 ■会場：パシフィコ横浜　展示ホール・アネックスホール 　　　（神奈川県横浜市西区みなとみらい1-1-1） ■入場料：無料（完全事前登録制） ■小間番号：I-32 【展示製品（ピュアオン製品）】 ・パッドの貼り剝がしを容易にする「PAD-EASE-PRO」 ・高純度酸化セリウムスラリー「ULTRA-SOL OPTIQPRO」 ・リキッドダイヤモンドGAF その他マブチ様ブースにて、光学の様々な課題解決につながる下記展示をご覧いただけます。 ・研削・研磨ソリューション ・精密測定ソリューション ・クリーン環境ソリューション ・スゴ技ソリューション 株式会社マブチ・エスアンドティー様OPIE特設サイト https://solution.mabuchist.co.jp/event/opie25/ 皆様のご来場を心よりお待ちしております。

AI・IoT・電動⾞・⾃動運転・医療分野などの新規分野において、レーザの活⽤領域が拡⼤する中、加⼯だけではなく、加⼯結果のモニタリングを並⾏して実証できる場が求められています。 本ウェビナーでは、そのイベント時の例も含め、LACでどのようなソリューションがご覧いただけるかを紹介します。 ■ウェビナー内容 ・以下を含めたレーザ加工ソリューションのご紹介 トルンプ株式会社︓⼤出⼒2kWナノ秒レーザ/ アルミ溶接用加工ヘッド / 画像補正システム プレシテック・ジャパン株式会社︓レーザ溶接モニタリングシステム/ 非接触センサ PRIMES Japan株式会社︓パワーメーター/ ビームプロファイラー 株式会社ナックイメージテクノロジー︓ハイスピードカメラ ⽇時︓ 2025年5月19⽇（⽉）〜21日（水） (1)10:00〜10:30(2)13:00〜13:30(3)15:00〜15:30 ※3日にわたり、1日3回放送します。いずれも同じ内容です。 ■お申し込み方法 下記リンクよりお申込みください。 https://x.gd/x7rso

【超音波金属溶着‐ワイヤーハーネスとバッテリ―生産における最も安全で革新的な技術】 車載用ハーネスおよびバッテリー製造技術において、優れた接合技術として注目されている超音波金属溶着技術。シュンク・ソノシステムズはこの分野のリーディングカンパニーとして、最先端の超音波溶着機を提供しています。 展示会では3種の実機を準備しております。ぜひ、展示会場でデモンストレーションをご覧ください。 〔展示機種〕 ◆ MinicーIII Splicing System：ほぼすべてのワイヤーハーネスをニーズに対応する多用途で高速な超音波溶着機。細いワイヤーから約30㎟までのケーブル結束に対応。 ◆ BW20：バッテリー製造のための最もモジュール化された装置。150層以上の箔を確実に溶着可能。 ◆ LS-C端子溶着機：EVバッテリーモジュールおよび高電圧システム用に特化した電線と端子への溶着機。200 mm²までの導体を処理し、端子と銅またはアルミニウム太線の間に極めて低い抵抗の接合を形成。ユーザーフレンドリーで、自動化された生産ラインに容易に統合が可能。

空調・衛生・電気のオールラウンドブランド「タイカエックス/タイカX」シリーズの新製品や、選定・施工・メンテナンスが簡単なエアハン用ドレントラップ「ADB」など、多数製品を展示いたします。 【名称】ジャンボびっくり見本市 【ブースNo】608（東京・大阪共通） 【大阪日時】2025年4月25日（金）10:00～17:00、4月26日（土）9:00～16:00 【大阪会場】インテックス大阪6号館C・Dゾーン ご来場の方は、事前登録（無料）が必要となります。 ◎出展製品 ■タイカエックス/タイカX 耐火床貫通ベルト「IRYB」 ステンレス鋼管のリニューアルに最適！ ■タイカエックス/タイカX スリーブワン 耐火貫通スリーブRT「IRKS-RT」 鋼製スリーブにすべてが集約したスリーブ一体型製品 ■中・大型空調機用ドレントラップ エアハン用ドレントラップ「ADB」 吸込型と押込型の2タイプ。選定・施工・メンテナンスが簡単

[講　師] 名古屋大学 未来社会創造機構 客員教授 野辺 継男 氏 [重点講義内容] トランプ大統領第二期就任後4か月を経た時点で、これまでの常識に反するトランプ関税がもたらした各国自動車市場と自動車産業への影響を明らかにし、今後の国際的方向性と日本の方策を議論します。特に、自動車産業の国際的な発展を停滞させている状況を明らかにし、それらに対する世界主要各国の反応や対応と自動車産業への影響を分析します。 同時に自動車産業では大きな技術的革命が起こっており、トランプ政権の「非環境正義」政策に対して、今後の自動車におけるエネルギー選択（内燃機関かＥＶか）やSDV（ソフトウエア定義車）化と半導体・ソフトウエアの導入、更に生成ＡＩの活用に対する各国各社の動向を探り、2〜5年後の自動車産業の在り様を予測します。 [講演項目] １．トランプ大統領就任後4か月、これまで言ってきた事と現在の結果、今後の予測 ２．トランプ関税の非常識な構造 ３．既に現れている今後の各地域市場・産業への影響 ４．自動車の技術選択への影響 ５．まとめ ６．質疑応答／名刺交換