MEMS Engineer フォーラム 2025 出展いたします

リモートソース型イオンビームスパッタ装置　リモートプラズマソースの開発メーカー

PlasmaQuest社 ヘリコン型 高密度イオンソースの開発販売、及び 応用製品の開発販売で25年の歴史を持つ優良企業です。 グリッドレスで高密度なプラズマを発生させるヘリコンプラズマソースは、多くの装置メーカーにOEM供給を続けていおります。 その高品位なプラズマソースをイオン源として、ターゲットにバイアス印加を行う画期的な手法「HiTUS」システムにより、様々な条件やターゲットを用いてのスパッタを実現しています。 従来のマグネトロンスパッタ装置では困難とされる高磁性ターゲットや高誘電ターゲットのスパッタ、金属とセラミックなどの異種ターゲットを同時に用いるCo-スパッタなど、多用途での運用を可能としています。 研究用途から生産規模の装置まで柔軟に対応できる多性を整えています。

• スパッタリング装置

リアクティブスパッタ、合金スパッタを自在にコントロールしての成膜を実現します

イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 独立した制御により、スパッタレートは勿論、酸化膜・窒化膜などの様々な反応性スパッタも自在にコントロールが可能になります。 これまでのスパッタ装置で成膜が難しいとされる強磁性体成膜、金属ターゲットとセラミックターゲットなどのCo-スパッタ、メタルターゲットからの誘電体・絶縁体成膜など、先端材料研究やプロセス構築研究を強力にサポートする装置です。 イオン供給量とスパッタレートの独立コントロール 　→スパッタレート、膜質、結晶構造の制御 　→ターゲット材のイオン化率の制御 直進性の高い成膜 　→イオンビームスパッタの特徴である直進性の高い成膜 多連装ターゲット機構 　→幅広い多層膜成膜 複数ターゲットの独立制御 　→各ターゲットのスパッタレートを制御してのCo-スパッタ合金成膜 　→ターゲットを切り替えての多層成膜 基盤へのバイアス印加制御によるコンフォーマル成膜 　→ディープトレンチ、回り込みなどの悪条件下でもコンフォーマルな成膜

• スパッタリング装置
• プラズマ発生装置
• その他表面処理装置

誘電体、強磁性体成膜を高レートかつ高品位に高速成膜

従前のマグネトロンスパッタでは成膜レートが低くなるAl2O3、SiO2などの誘電体、 Feなどの強磁性体の成膜で力を発揮する高速イオンビームスパッタ（IBD)装置です。　 ヘリコンプラズマソースをイオン源とし、そこから得られた高密度なイオンをターゲットへのバイアス電圧印加によって加速させる画期的な方法により、高レートかつ直進性の高い成膜を実現します。 ターゲット面全体を高効率で利用するため、貴重・希少なターゲットを用いる成膜工程でのコスト削減にも貢献します。 ＜特長＞ ■高速・高効率イオンビームスパッタリング 　誘電体・強磁性ターゲットへの最適解 ■ヘリコンプラズマイオンソースとターゲット印加 　高速スパッタリングと低コンタミの両立 　ターゲット利用効率の向上によるランニングコスト削減 　グリッドレス構造によるメンテナンス低減 　リモートプラズマ構成による、基盤を低温に保ってのスパッタリング ■枚葉処理 　ステップカバレージの向上 　クラスターツールによる複合成膜 ■優れた直進性 　直進性の高いイオンビームにより、均一な膜厚での成膜が可能。 ステップカバレッジの優れた成膜

• スパッタリング装置

寒くなると、土木現場では朝露や霜、雨によって路面が濡れやすくなります。敷鉄板の表面に水や泥が付着すると、作業員の靴が滑ったり、車両のタイヤが空転したりする危険があります。 そこで検討したいのが、木材CLTを使用した木製敷板「ハイパーCLT敷板」です。木材表面は金属製の敷鉄板とは異なる質感を持っているため、歩行路や車両通行路のスリップ防止を考える際の選択肢になります。 仮設道路、搬入路、重機作業ヤード、材料ヤード、作業員通路などに敷設することで、泥や砂利の上を直接歩く範囲を減らし、凹凸のある地面を整えやすくなります。 5×10版は約230kg、5×20版は約460kgと比較的軽量で、現場条件によっては設置・撤去や移設にも対応しやすいことが特徴です。 ハイパーCLT敷板は、国土交通省NETIS登録技術です。NETIS登録番号は「TH-250021-A」。冬季の安全対策や新技術活用、環境配慮の提案にも取り入れられます。 木製敷板、NETIS、土木、CLT、木製軽量敷板。 寒い季節の現場だからこそ、足元から安全対策を見直してみませんか。

サプライチェーン全体のセキュリティ強化に向けた「SCS評価制度」への対応準備は進んでいますか？ 「制度の内容がわからない」「★3・★4への対応に何が必要？」「どこから着手すべき？」といったお悩みをお持ちの企業様へ。 株式会社ジェムコ・コーオペレーションズ（exbridge）では、SCS評価制度への対応をご検討中の企業様を対象に、無料オンライン相談を受け付けています。 【無料相談で確認できること】 ・SCS評価制度の概要と対応のポイント ・自社のセキュリティ対策状況と課題 ・★3・★4への対応に向けた準備の進め方 ・今後の対応方針についてのご相談 まずは情報収集の段階でも歓迎いたします。 「SCS評価制度対応支援ガイド」とあわせて、ぜひお気軽にお問い合わせください。

建築・土木現場では、重い資材を運ぶ作業だけでなく、現場内を何度も歩いたり、長時間立ち続けたりすることも、作業員の足や腰への負担になります。 そこで活用を検討できるのが、CLTを使用した木製敷板「ハイパーCLT敷板」です。作業員通路、仮設道路、搬入路、材料ヤードなどに敷設することで、泥や砂利の上を直接歩く範囲を減らし、安定した動線を確保しやすくなります。 木製敷板は、金属製の敷鉄板とは異なる質感を持ち、歩行時の硬い感覚や金属音を抑えやすいことも特徴です。夏場の照り返しや輻射熱を抑えやすく、作業環境の改善にもつながります。 5×10版は約230kg、5×20版は約460kgと比較的軽量で、現場条件によっては設置・撤去や移設にも対応しやすい仕様です。 ハイパーCLT敷板は、国土交通省NETIS登録技術です。登録番号は「TH-250021-A」。新技術活用や施工環境の改善、環境配慮の提案にも取り入れることができます。 木製敷板、NETIS、土木、CLT、木製軽量敷板。 足元を整えることは、働く人の毎日を支えること。ハイパーCLT敷板は、作業員に配慮した現場づくりを提案します。

サイバーリンクは、AI顔認証エンジン「FaceMe SDK」をIntel Core Ultra Series 3プロセッサー向けに最適化しました。 Intelの内蔵GPU（iGPU）とOpenVINOを活用することで、同一プロセッサーのCPU処理と比較して約20倍、従来の第12世代Intel Coreプロセッサーと比較して約37倍の顔認証処理速度を実現しました。 さらに、AI顔認証システム「FaceMe Security」では、ミニPC 1台で最大59台のカメラ映像を同時処理できることを弊社検証結果で確認しました。 今回の最適化により、専用GPUを搭載した大型ワークステーションに依存せず、コンパクトな機器で高性能な顔認証システムを構築できるため、企業のエッジAI導入や既存設備への顔認証機能の追加を支援します。 【主な特長】 ・専用GPU不要で高速なAI顔認証を実現 ・ミニPC 1台で最大59台のカメラ映像を同時処理 ・ハードウェアコストや設置スペースの削減に貢献 ・防犯監視や入退室管理など幅広い用途に対応 ※性能数値は弊社検証結果です。

来る2026年11月25日（水）～27日（金）、東京ビッグサイトにて開催される「POWTEX 2026 第46回国際粉体工業展」に出展します。 当日は、分解・洗浄可能なエジェクターや、完全密閉型スクリューフィーダー等、様々な粉体ハンドリング装置を展示いたしますので、ご来場の際はぜひ弊社ブースへお越しください。 【POWTEX 2026 ブース情報】 ◆開催期間： 2026年11月25日（水）～27日（金） 9:30～17:00 ◆会場： 東京ビッグサイト 東1・2・3ホール ◆ブースNo.：3-Q54 【出展製品】 クリーンエジェクター、完全密閉型スクリューフィーダー、エアレーションホッパー、ブリッジレスフィーダー、自動吸引システム（紙袋、フレコン、ドラム缶）、連続吸引式粉体搬送装置、など