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  3. 株式会社ヒロテック 東京営業所
  4. ウェットエッチングによるPSS (Patterned Sapphire Substrate)が、LED業界を変える!!
製品ニュース
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2013/01/23

ウェットエッチングによるPSS (Patterned Sapphire Substrate)が、LED業界を変える!!

株式会社ヒロテック 株式会社ヒロテック 東京営業所
ウェットエッチングによるパターン化サファイア基板(PSS)について 現在、LED製造業者は、製造プロセスの選択肢として、二通りの全く異なるのプロセスを手にしている。ドライエッチング法を利用すれば、高輝度・高効率LEDを製造することができるが、製造には長時間を要し、スループットには限界がある。ウェットエッチング法は製造時間が短く、スケーラビリティに非常に優れているが、効率や効果に優れたLEDを製造することはできない。しかしウェットエッチング法の場合、光抽出効率を改善するためにウェハーを研磨し、改良する作業を行った場合であっても、ドライエッチング法に比べて大幅なコスト削減が可能である。また非常に効率良くスケールアップすることが可能であることから、スループットを増やし、ウェハーのサイズを拡大するたびに、コスト削減率が何倍にも劇的に増えることになる。
サファイア基板ウェットエッチング用石英バス 高温タイプ「Xe-Series」
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サファイア基板ウェットエッチング用石英バス 高温タイプ「Xe-Series」 ・薬液温度:最高300℃ ・接液部:全て石英 ・排液用石英製アスピレター装備 ・リカバリータンクおよびエマージェンシータンク装備

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高純度石英を使用。高効率・長寿命・高信頼性を誇るインラインヒーター

半導体産業において最先端のウェットプロセス装置を提供してきたIMTEC社が自信を持ってご紹介するアキュヒートは、高純度石英を使用しており、高効率・長寿命・高信頼性を誇るインラインヒーターです。 20年以上の経験に基づいて設計製作されたアキュヒートは高性能、低オーナーシップコストを実現しており、石英で使用できる薬品でのプロセスに使用できます。 【特長】 ◆インコーネルヒーターを使用したインラインヒーター ◆外装はテフロン(PTFE)を使用 ◆高温にならないので、窒素パージ、CDA冷却装置などは不要 ◆耐圧性に優れる。(4.2Kg/cm2) ◆コンパクトサイズ。縦置き/横置き共に設置可能 ◆3KW、6KWタイプ有り ◆24ヶ月保証 ◆メンテナンス不要:ランプ交換、反射鏡のクリーニング、冷却装置が不要。 ◆最適な加熱:高速昇温でありながらオーバーシュートがない温度制御 ◆多種のコントローラーが使用できますので、詳しくはお問い合わせください。

  • その他ヒータ

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石英ナイトライドバス  QNシリーズ

ご希望通りのプロセスコントロールをお約束でき、安全・確実・合理的で濃リン酸のボイリングポイントをリフラッキシングによって自己調整

◆純水コントローラー、石英槽、コンデンサ、確実にシールされた蓋の組合せ等により手動/自動運転時に正確なフローコントロールと安定した定量作動。 ◆コンスタントなボイリングポイント(酸濃度)、次工程への安定性と円滑な供給。 ◆Si3N4エッチ(ナイトライドエッチ)の最も有効、信頼性と安定性に富んだシステム。

  • その他半導体
  • エッチング装置

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SiCインラインヒーター ACCUHEAT

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HF/KOH/溶剤等の昇温に最適 SiCインラインヒーター 【特徴】 ○IMTEC社製 ○フッ酸・アルカリ液(KOH、TMAH)対応 ○SiCチューブを使用 ○ヒーターを直接貼ることにより、   最適な効率で高精度な温度制御を可能 ○接液部は、SiCおよびPFAのため従来のヒーターと比べ   コンタミの発生を防ぐ ○ランプ交換・CDAは不要でメンテナンスフリー ○コンパクトサイズ ○縦置き・横置き設置が可能 ○省スペースを実現 ○循環・シングルパスプロセス共に対応可 ○4.5kw-18kwまで多彩なラインナップ ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

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温度コントロールバス ACCUBATH

温度コントロールバス ACCUBATH

UL認証取得 SEMI S3適合 IMTEC社製 温度コントロールバス 【特徴】 ○UL認証取得 ○SEMI S3にも適合 ○高効率のインコネルヒータ搭載 ○低温出力で最適な熱伝導によりバス内温度分布を均一に保持 ○高精度な温度安定性を実現 ○ヒータ交換の必要がなく、MTBFも大幅に改善 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

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ナイトライドエッチ用 石英ナイトライド・リフラックス・システム ACCUBATH

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信頼性と安定性に富んだナイトライドエッチ用  石英ナイトライド・リフラックス・システム 【特徴】 ○適切な純水供給量により、安定した沸点管理を実現 ○±0.2℃の温度管理を実現 ○アクシアシールTM(オプション)によるシール部の冷却機構により長寿命化、  30ヶ月の保証を実施 ○Si3N4エッチ(ナイトライドエッチ)のもっとも有効で、信頼性と安定性に富んだ  システム ●その他の機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。  

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サファイア基板エッチング用石英バス ACCUBATH® Xe

サファイア基板のウェットエッチング用に開発された石英バス 最高300℃まで使用できる業界初の高温対応製品

Accubath® Xeはサファイア基板のエッチングを想定してデザインされていますが、私達は、このほかにもより高い温度で処理を行うことにより高いスループットを得られるプロセスがあると考えています。これまでのバスの温度限界による処理の長いプロセスはもう実用的ではないかもしれません。 このモジュールにより、従来は不可能であった超高温でのプロセスが可能となります。 そして、私達は新たな課題に挑戦するためのシステムを構築しお客様に提供することができます。 Accubath® Xeシリーズバスの採用によって、お客様の希望するプロセスを安全にまた高い信頼性をもって生産することが可能になると確信できるでしょう。

  • 加熱装置
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  • その他プロセス制御

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SiCインラインヒーター ACCUHEAT

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ナイトライドエッチ用 石英ナイトライド・リフラックス・システム

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ヒロテック
産業用電気機器
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ニュース

ハイパーCLT敷板

土木CLTを公共工事の共通仮設に|ハイパーCLT敷板

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公共工事の土木現場では、工事用道路や搬入路、重機作業ヤード、資材置場、作業員通路など、共通仮設として敷板を使う場面が多くあります。従来は敷鉄板が一般的でしたが、重量物のため運搬や設置に手間がかかることもあります。 ハイパーCLT敷板は、木製CLTを土木利用した土木CLT資材です。5×10版は約230kg、5×20版は約460kgと軽量で、搬入・搬出や設置・撤去がしやすく、小型重機でも扱いやすい点が特徴です。仮設道路、重機足場、現場内通路、資材置場の養生など、公共工事の共通仮設に幅広く活用できます。 木材を使用しているため、夏場の照り返し抑制や騒音低減、CO2固定など、環境面での提案にもつながります。施工性、安全対策、環境配慮を同時に打ち出せるため、公共工事での創意工夫提案にも有効です。さらに、敷鉄板代替として運搬効率の改善や現場作業の省力化にも貢献します。ハイパーCLT敷板は、国土交通省NETIS登録技術「TH-250021-A」。土木、土木利用、土木CLTを検討する企業様におすすめです。資料請求や導入相談もお気軽にどうぞ。公共工事の現場評価向上にも役立つ仮設資材です。ぜひ検討を。

2026年06月28日

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ハイパーCLT敷板

土木資材として注目されるCLTの土木利用|ハイパーCLT敷板

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土木現場では、仮設道路や搬入路、重機作業スペース、資材置場など、地盤を保護しながら作業性を高める土木資材が欠かせません。近年は、従来の敷鉄板だけでなく、環境配慮や施工効率を意識した新しい資材の活用も広がっています。 「ハイパーCLT敷板」は、木製CLTを土木利用する仮設敷板です。軽量で扱いやすく、5×10版は約230kg、5×20版は約460kg。搬入・搬出や設置・撤去の負担を抑えやすく、小型重機でも施工しやすい点が特徴です。 ぬかるみ対策、重機足場、歩行動線の確保、資材置場の養生など、さまざまな土木現場で活用できます。敷鉄板の運搬や施工に課題を感じる現場でも、作業計画に合わせて導入しやすい資材です。また、木材ならではの照り返し抑制、騒音低減、CO2固定などの環境面のメリットも期待できます。 ハイパーCLT敷板は、国土交通省NETIS登録技術「TH-250021-A」。土木資材の見直しや、CLTの土木利用を検討する企業様に、敷鉄板代替の新しい選択肢としておすすめです。公共工事の創意工夫提案にも活用しやすく、現場評価の向上にもつなげやすい土木資材です。資料請求や導入相談も、ぜひお気軽にどうぞ。

2026年06月27日

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大注目!smartec次世代型ハイパワークーラントシステム #切粉除去 #クーラント #実質省エネ

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【大反響】Aeroforce(TM) 本格始動! smartc次世代型ハイパワークーラントシステム『Aeroforce(TM)』 高圧ポンプを使用することによる電力使用量=CO2排出量が目下の懸案事項となっていませんか? 『Aeroforce(TM)』は、クーラントと共にエアーの供給も行うため、0.3Mpa前後のサイドクーラントポンプ圧であっても十分に強力なクーラント供給が可能です。高圧ポンプを使用せずとも効果的な位置に十分なクーラントが供給できるため、もちろんCO2削減の問題に限らず、本来のクーラント供給の目的である『切削条件の向上』、『サイクルタイム短縮』、『機械稼働コスト削減』、『工具寿命の向上による工具費削減』といった課題も同時に解決できます。 詳しくはこちらをご覧ください。 https://toolde.co.jp/?p=4929 smartec特集ページもご覧ください。 https://acs-l.jp/corp/toolde/smartec.html

2026年06月26日

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3月5日-7日千葉・幕張メッセにて

目下、展示会で大注目を集めるsmartec社のAeroforce(TM)を出展 #切粉除去 #クーラント #実質省エネ

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smartec特集ページもご覧ください。 https://acs-l.jp/corp/toolde/smartec.html 会場の様子やデモ実演の動画などは、ツールドインターナショナル公式インスタグラムにて公開中! https://www.instagram.com/toolde_insta/ デモ機貸出も承っております!是非、お問合せください! https://toolde.co.jp/contact

2026年06月26日

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【YouTube更新】オリジナルシャンプー開発前に知っておきたい洗浄成分の違い

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このたび、弊社YouTubeチャンネルにて新しい動画を公開いたしました。 今回のテーマは、「アミノ酸系シャンプーの世界」です。 近年人気のアミノ酸系シャンプーですが、使用する洗浄成分によって泡立ちや洗い心地、仕上がりは大きく異なります。本動画では、2種類のアミノ酸系シャンプーを比較しながら、洗浄成分の違いによる使用感の変化を分かりやすく解説しています。オリジナルシャンプー開発や差別化のヒントとしてぜひご活用ください。

2026年06月26日

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