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  4. ウェットエッチングによるPSS (Patterned Sapphire Substrate)が、LED業界を変える!!
製品ニュース
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2013/01/23

ウェットエッチングによるPSS (Patterned Sapphire Substrate)が、LED業界を変える!!

株式会社ヒロテック 株式会社ヒロテック 東京営業所
ウェットエッチングによるパターン化サファイア基板(PSS)について 現在、LED製造業者は、製造プロセスの選択肢として、二通りの全く異なるのプロセスを手にしている。ドライエッチング法を利用すれば、高輝度・高効率LEDを製造することができるが、製造には長時間を要し、スループットには限界がある。ウェットエッチング法は製造時間が短く、スケーラビリティに非常に優れているが、効率や効果に優れたLEDを製造することはできない。しかしウェットエッチング法の場合、光抽出効率を改善するためにウェハーを研磨し、改良する作業を行った場合であっても、ドライエッチング法に比べて大幅なコスト削減が可能である。また非常に効率良くスケールアップすることが可能であることから、スループットを増やし、ウェハーのサイズを拡大するたびに、コスト削減率が何倍にも劇的に増えることになる。
サファイア基板ウェットエッチング用石英バス 高温タイプ「Xe-Series」
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半導体産業において最先端のウェットプロセス装置を提供してきたIMTEC社が自信を持ってご紹介するアキュヒートは、高純度石英を使用しており、高効率・長寿命・高信頼性を誇るインラインヒーターです。 20年以上の経験に基づいて設計製作されたアキュヒートは高性能、低オーナーシップコストを実現しており、石英で使用できる薬品でのプロセスに使用できます。 【特長】 ◆インコーネルヒーターを使用したインラインヒーター ◆外装はテフロン(PTFE)を使用 ◆高温にならないので、窒素パージ、CDA冷却装置などは不要 ◆耐圧性に優れる。(4.2Kg/cm2) ◆コンパクトサイズ。縦置き/横置き共に設置可能 ◆3KW、6KWタイプ有り ◆24ヶ月保証 ◆メンテナンス不要:ランプ交換、反射鏡のクリーニング、冷却装置が不要。 ◆最適な加熱:高速昇温でありながらオーバーシュートがない温度制御 ◆多種のコントローラーが使用できますので、詳しくはお問い合わせください。

  • その他ヒータ

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石英ナイトライドバス  QNシリーズ

ご希望通りのプロセスコントロールをお約束でき、安全・確実・合理的で濃リン酸のボイリングポイントをリフラッキシングによって自己調整

◆純水コントローラー、石英槽、コンデンサ、確実にシールされた蓋の組合せ等により手動/自動運転時に正確なフローコントロールと安定した定量作動。 ◆コンスタントなボイリングポイント(酸濃度)、次工程への安定性と円滑な供給。 ◆Si3N4エッチ(ナイトライドエッチ)の最も有効、信頼性と安定性に富んだシステム。

  • その他半導体
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SiCインラインヒーター ACCUHEAT

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HF/KOH/溶剤等の昇温に最適 SiCインラインヒーター 【特徴】 ○IMTEC社製 ○フッ酸・アルカリ液(KOH、TMAH)対応 ○SiCチューブを使用 ○ヒーターを直接貼ることにより、   最適な効率で高精度な温度制御を可能 ○接液部は、SiCおよびPFAのため従来のヒーターと比べ   コンタミの発生を防ぐ ○ランプ交換・CDAは不要でメンテナンスフリー ○コンパクトサイズ ○縦置き・横置き設置が可能 ○省スペースを実現 ○循環・シングルパスプロセス共に対応可 ○4.5kw-18kwまで多彩なラインナップ ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

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温度コントロールバス ACCUBATH

温度コントロールバス ACCUBATH

UL認証取得 SEMI S3適合 IMTEC社製 温度コントロールバス 【特徴】 ○UL認証取得 ○SEMI S3にも適合 ○高効率のインコネルヒータ搭載 ○低温出力で最適な熱伝導によりバス内温度分布を均一に保持 ○高精度な温度安定性を実現 ○ヒータ交換の必要がなく、MTBFも大幅に改善 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

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ナイトライドエッチ用 石英ナイトライド・リフラックス・システム ACCUBATH

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信頼性と安定性に富んだナイトライドエッチ用  石英ナイトライド・リフラックス・システム 【特徴】 ○適切な純水供給量により、安定した沸点管理を実現 ○±0.2℃の温度管理を実現 ○アクシアシールTM(オプション)によるシール部の冷却機構により長寿命化、  30ヶ月の保証を実施 ○Si3N4エッチ(ナイトライドエッチ)のもっとも有効で、信頼性と安定性に富んだ  システム ●その他の機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。  

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サファイア基板エッチング用石英バス ACCUBATH® Xe

サファイア基板のウェットエッチング用に開発された石英バス 最高300℃まで使用できる業界初の高温対応製品

Accubath® Xeはサファイア基板のエッチングを想定してデザインされていますが、私達は、このほかにもより高い温度で処理を行うことにより高いスループットを得られるプロセスがあると考えています。これまでのバスの温度限界による処理の長いプロセスはもう実用的ではないかもしれません。 このモジュールにより、従来は不可能であった超高温でのプロセスが可能となります。 そして、私達は新たな課題に挑戦するためのシステムを構築しお客様に提供することができます。 Accubath® Xeシリーズバスの採用によって、お客様の希望するプロセスを安全にまた高い信頼性をもって生産することが可能になると確信できるでしょう。

  • 加熱装置
  • 温湿度制御
  • その他プロセス制御

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ナイトライドエッチ用 石英ナイトライド・リフラックス・システム

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株式会社ヒロテック 東京営業所
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ハイパーCLT敷板

9月15日、ハイパーCLT敷板のプレスリリースを発行しました

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2026年9月15日、木製軽量敷板「ハイパーCLT敷板」に関するプレスリリースを発行しました。 ハイパーCLT敷板は、木材を直交方向に積層したCLTを活用した土木用敷板です。仮設道路や搬入路、重機作業ヤード、資材置場など、さまざまな現場で活用できます。 5×10版は約230kgと比較的軽量で、設置・撤去や移設がしやすいことが特徴。さらに、木材ならではの照り返しや金属音の抑制、CO2固定など、環境面での価値も持っています。 また、**国土交通省NETIS登録技術「TH-250021-A」**として、公共工事での新技術活用にも提案できます。 今回のプレスリリースを通じて、木材、NETIS、土木、CLTを組み合わせた新しい木製軽量敷板を、さらに多くの建設現場へ広げていきます。

2026年10月09日

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Forbes JAPAN提供ピッチコンテスト「Forbes Impact Challenge of the Year 2026」でSPACECOOLが優勝

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SPACECOOL株式会社は、2026年10月7日(水)に開催された「IMPACT STARTUP SUMMIT 2026」内で行われたForbes JAPAN提供によるピッチイベント「Forbes Impact Challenge of the Year 2026」において優勝したことをお知らせします。 「Forbes Impact Challenge of the Year」は、社会課題の解決と事業成長の両立に挑むインパクトスタートアップが、自社の挑戦や事業の可能性を発信するピッチイベントです。 今年は、ISA正会員250社の中からノミネートされた6社が、この1年間にそれぞれの事業で挑戦してきた内容と未来への可能性を熱く発表。当社は、SPACECOOLが既にグローバル規模で様々な暑熱課題解決のインパクトを起こしていることに加え、将来的には都市、ひいては地球全体の冷却に挑戦するという想いを伝えました。 その後、会場投票による最終審査を経て、3社が優勝者として選出されました。 この度の受賞を機に、当社は一層、地球規模の暑熱課題の解決に取り組んでまいります。

2026年10月09日

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【鋳物試作】鋳物砂型積層 3Dプリンター造形試作

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●鋳造試作品の製作日数が短縮できます! 模型製作が不要のため、これまで約1ヶ月必要であった試作品の製作日数を大幅に短縮が可能です。 ●模型費用が削減できます! 3Dデータから直接砂型を製作するため、模型製作費用が不要です。模型の変更が必要な場合も3Dデータの修正で対応可能です。 ●形状・寸法違いの類似品を同時に試作できます! 1回の造型で類似形状や寸法違い等、異なる製品を同時に造型。短期間で多種類の検証が可能です。

2026年10月09日

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非接触光線タッチセンサー「HA-Tシリーズ」

【カタログ配布中!】省エネ自動ドアセンサー「HA-T401/HA-T520」

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『HA-Tシリーズ』は、人通りが多い道でも狭い通路でも、 入りたい人にだけ開く省エネ自動ドアセンサーです。 手を近付けるだけで自動ドアが開くため、 不特定多数が利用する施設であっても、衛生面の課題をクリア。 用途や設置場所によって「無目取付型/HA-T401」「無目内蔵型/HA-T520」からお選びいただけます。 【こんな場所にオススメ!】 ☑入口が人通りの多い通路に面している ☑ドア付近にカウンターや看板等がある ☑狭い通路に面した建物 ☑美観を重視する建物 ☑衛生面を配慮する病院や施設 ☑多くのドアを構える大型施設 【特徴】 ●4通りの検出スポット設定で様々なドアタイプに適応 ●不要な開閉の削減でムダな電力消費を抑え、省エネ効果に貢献 ●光線タッチ機能搭載で手をかざすだけでドアを開閉できるので衛生的 ●検出範囲の広い無目付赤外線センサーとしても使える ◎詳しくは資料ダウンロード又はお問い合わせください。

2026年10月08日

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【鋳物亀裂補修】エムエス工法 機械設備亀裂ヒビ割れ補修工法

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金属のクラック(き裂)は、設備保全業務の悩みのひとつ。一般的な溶接工法による補修では、熱によってクラック周辺の母材が変化し、残留応力やひずみが発生するため、「クラック再発」や「二次損傷」を誘発するリスクを常に抱えていました。 日之出水道機器(株)「メカニカルスティッチ工法」は、熱を加えずに金属クラック補修が可能な新工法です。 特殊ボルトと補強プレートを使用しクラックを物理的に除去し、母材に熱影響を一切与えずに補修致します。 火気が使用できない環境でも補修できます。熱を加えないことから設備の分解が最小限に抑えられます。 ◎詳しくはお問合せ、もしくはカタログをダウンロードして下さい。

2026年10月08日

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