【トレルボルグ】ドライプロセス向けのシールソリューションのご紹介
ドライプロセス向けのシールソリューションのご紹介
システム稼働時間の延長と歩留まりの向上を実現
半導体製造において、ドライプロセスは極めて重要な工程の一つです。コンタミネーションの発生防止や安定したプロセスの確保、さらにはパーティクルによる不具合の最小化が常に求められています。当社では、これらの課題に対応するために高性能なシール材を提供しており、歩留まりの向上、デバイス品質の改善、そして製造効率の最大化に大きく貢献しています。
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