【トレルボルグ】Isolast(イソラスト) PureFab FFKM
Isolast(イソラスト) PureFab FFKM
Isolast(R)PureFab(R) は、半導体の重要工程において、極めて高純度かつ高温環境下で卓越した耐プラズマ性を発揮するシール材料です。
Isolast (イソラスト)PureFab シリーズは、成膜、エッチング、アッシング/ストリップ、プラズマ洗浄、ALDなどの過酷な前工程において、優れた性能を発揮します。
Isolast(イソラスト) PureFab シリーズは、先端のパーフルロロエラストマー(FFKM)を使用しており、高温安定性、高純度、極めて低い金属溶出、そして卓越した耐プラズマ性といった、優れた特性を備えています。これにより、パーティクルの発生を抑え、高真空環境下でのアウトガスを極限レベルまで低減できるため、お客様はメンテナンスサイクルを延長し、プロセスの歩留まりを大きく高めることが可能になります。
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