SEMICON JAPAN 2025 出展のお知らせ
蒸気2流体洗浄装置やFOUP関連装置を展示し、その性能や仕様を専門スタッフがご説明致します。
出展製品の他に弊社取り扱い製品をグラフィック・動画にてご紹介致します。皆様のご来場をお待ちしております。
<主な出展製品>
★蒸気2流体洗浄装置 ほか
薬液ではなく水蒸気と水を超音速で噴射して異物を除去する洗浄装置です。
蒸気と水の2流体を超音速で噴射させ、無数の水滴が対象物に衝突することで、
水滴中にキャビテーション(真空の泡)を発生させ、
それが潰れるときに発生する衝撃波の力を利用して除去します。
異物除去、研磨後の洗浄、メタルリフトオフ、レジスト剥離などに使用されます。
本装置の洗浄技術を、出展社セミナーでもご説明します。
〇出展社セミナー
「次世代洗浄プロセス:蒸気2流体と高温高濃度オゾン水による薬液フリーレジスト除去」
薬品を使用せずに純水のみでレジスト剥離を行える洗浄技術「蒸気2流体洗浄」「高温高濃度オゾン水洗浄」をご紹介します。
2025年12月18日(木)11:30~12:00@西ホール2F 商談室2

| 開催日時 | 2025年12月17日(水) ~ 2025年12月19日(金) 10:00 ~ 17:00 |
|---|---|
| 会場 | 東京ビッグサイト 東、西、南展示場(ダルトンブース:西2ホール W2269) |
| 参加費 | 無料 |
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