JACLaS EXPO 2026 出展

1nlからの吐出量調整、吐出容積もモニタリングするシリンジポンプ

半導体製造、メッキ液管理装置などで多々の実績。高い再現性と簡単な精密流速調整、安価にCV0.05％を実現。溶液の材質よる流量、流速の最適化が極めて簡単！ 1回の送液の液量範囲：1nl～50ml（※） 液量調節単位：最少1nl～　（※） 流速範囲：0.3μl/分～　（5.2nl/秒～） 流速調整単位：　63nl/分～　（1nl/秒～）（※） ※装着しているシリンジ容量による 例：250μlシリンジを装着している場合 液量調節単位：最少5nl～　 可能な流速調節範囲：1.6μl/分～12.5ml/分　（26nl/秒～208μl/秒） 流速調整単位：　313nl/分～　（5nl/秒～） 例：10mlシリンジを装着している場合 液量調節単位：最少0.2μl～　 可能な流速調節範囲：62.5μl/分～500ml/分　（1μl/秒～8.3ml/秒） 流速調整単位：　12.5μl/分～　（0.2μl/秒～） 頑丈仕様で装置の故障発生率の低減に貢献。 高分解能　6000もしくは48,000ステップ 液路切替のための３方弁～12ポートバルブが装着可能。

• シリンジポンプ
• 容積型ポンプ
• ディスペンサー

溶液を無駄にしない。吐出液の流速を0.3nl/秒単位で自由に変更、吐出容積もモニタリングできるシリンジポンプ

セミアディティブ工法にも十分に対応、高い再現性と簡単な精密流速調整、安価にCV0.05％を実現 外部圧力に依存しない、送液ユニットによる元からの流速コントロールを！ 1回の送液の液量範囲：1nl～50ml（※） 液量調節単位：最少1nl～　（※） 流速範囲：0.3μl/分～　（5.2nl/秒～） 流速調整単位：　63nl/分～　（1nl/秒～）（※） ※装着しているシリンジ容量による 例：250μlシリンジを装着している場合 液量調節単位：最少5nl～　 可能な流速調節範囲：1.6μl/分～12.5ml/分　（26nl/秒～208μl/秒） 流速調整単位：　313nl/分～　（5nl/秒～） 例：10mlシリンジを装着している場合 液量調節単位：最少0.2μl～　 可能な流速調節範囲：62.5μl/分～500ml/分　（1μl/秒～8.3ml/秒） 流速調整単位：　12.5μl/分～　（0.2μl/秒～） 頑丈仕様で装置の故障発生率の低減に貢献。 高分解能　6000もしくは48,000ステップ 液路切替のための３方弁～12ポートバルブが装着可能。

• シリンジポンプ
• 容積型ポンプ
• ディスペンサー

テカンの48000ステップの高解像度シリンジポンプ。ストローク6cm で50ｍｌにも対応。の多くの分析器への導入実績。

多種多様なアプリケーションへの実績。頑丈仕様で組込み装置のサービスコストも低減。装置の故障発生率の低減に貢献。 高分解能　6000もしくは48,000ステップ キャリブレーションは全く不要。世界中で大量に使われているヒット製品。 液路切替のための３方弁～12ポートバルブが装着可能。

• シリンジポンプ
• 容積型ポンプ
• ディスペンサー

ALD/CVDの前駆体液供給精度向上：0.3nl単位での液量調整と17nl/分単位の流速調整が可能。より最適化を求める送液に最適

組込み用シリンジポンプ市場で世界でトップメーカーのテカンが供給する高精度ポンプ。 国内でも多くの装置導入がなされています。無脈動で正確、かつ再現性の高い送液目的で多用されています。 Centris 1回の送液の液量範囲：0.3nl～12.5ml（※） 液量調節単位：最少0.3nl～　 調節可能な流速範囲：17μl/分～750ml/分　（0.3nl/秒～12.5ml/秒） 流速調整単位：　17nl/分～　（0.3nl/秒） ※装着しているシリンジ容量(50ul～12.5ml)による 例：5ｍlシリンジを装着している場合 液量調節単位：最少104nl～　 調節可能な流速範囲：1.62μl/分～300ml/分　（0.3nl/秒～5ml/秒） 流速調整単位：1.62μl/分～　（28nl/秒～） 分解能が装着シリンジに対して181,490ステップあり、かなり高精度な液体操作を可能にします。また、3ポートから12ポートまでの液路切替バルブが搭載でき複数の液体ソースから溶液を吸引できます。送液量や流速が正しいことを常にモニタリングする機構により、異常を自動でエラーコードで知らせます。

• シリンジポンプ

（独）海洋研究開発機構の地球環境観測研究を支援！ シリンジポンプおよび超低温耐久性シリンジ導入事例

独立行政法人海洋研究開発機構（JAMSTEC)は、地球環境の観測および予測、地球内部ダイナミクス研究、極限環境の生物研究など、海洋に関する広範囲な基盤的研究開発を行なっています。 地球環境の観測研究を支援するため、正確な自動ピペット操作が可能なテカンのCavro(R) XCalibur (エクスカリバー)Pumpを利用して、海水中の二酸化炭素を測定する小型観測装置を開発した事例をご紹介しています。 その他にもXCaliburポンプの導入事例は多々あります。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。

• シリンジポンプ

極めて精密な流量制御が可能で、脈動が非常に少なくスムーズな液体の流れを実現

半導体製造における「膜厚の均一性」「微量成分の濃度一定化」「ノズル先端の正確な液切れ」のニーズへの最適解！ 低脈動・高再現性のシリンジポンプをぜひご検討ください。 ＝＝＝＝＝　概　要　＝＝＝＝＝ Centris　Pumpは、正確度、信頼性、再現性の高い小型シリンジポンプモジュールです。 シンプルかつ堅牢な機構設計により、メンテナンスがほとんど不要になります。 OEMシリンジポンプの中でも、最少の設置面積。完全RoHS対応です。 ★ Centris Pumpの技術仕様は、カタログをダウンロードしてご覧下さい ★ ＝＝＝＝＝　特　長　＝＝＝＝＝ ・長寿命セラミックバルブとセラミックシリンジを採用 　高液温にも対応可能 ・高再現性：0.05%CV以下/FS ・高解像度：181,490ステップ ・プログラム可能な流速　5nl/s〜5ml/s ・コンパクトサイズ（設置スペース 69×45ｍｍ） ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• コーター
• エッチング装置
• ＣＭＰ装置

超スローおよび脈動の少ない分注に対応

長耐久性　新しいコンセプトのシリンジポンプ登場 ＝＝＝＝＝　概　要　＝＝＝＝＝ Centris　Pumpは、正確度、信頼性、再現性の高い、ラボラトリー機器用の小型シリンジポンプモジュールです。 新Centris Pumpは、シンプルかつ堅牢な機構設計により、メンテナンスがほとんど不要になります。 OEMシリンジポンプの中でも、最少の設置面積。完全RoHS対応です。 ★ Centris Pumpの技術仕様は、カタログをダウンロードしてご覧下さい ★ ＝＝＝＝＝　特　長　＝＝＝＝＝ ・長寿命セラミックバルブとセラミックシリンジを採用 　高液温にも対応可能 ・高再現性：0.05%CV以下/FS ・高解像度：181,490ステップ ・プログラム可能な流速　5nl/s〜5ml/s ・コンパクトサイズ（設置スペース 69×45ｍｍ） ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• その他ポンプ

テカンが誇るマルチシリンジポンプ 全世界でたくさんの実績。多様な溶液を扱うアプリケーションへ 48000ステップ

テカンで定評ある装置組み込み用マルチチャンネルシリンジポンプ ２，４，６，８本シリンジのアレンジが可。 高精度シリンジポンプを集約化して測定器の内部の空間にゆとりをもたらし、装置の小型化にも貢献。貴重な試薬のデッドボリュームを減らすことへ貢献。ポンプアドレスを単一にして操作。 体外診断薬自動測定装置、多様な反応液を添加する反応、さらに1台で様々なアプリケーションをこなすには最適。 液種の数に対して、最小限のスペース、最少のコマンド数で制御可能 使用例：マルチウェルプレートへの同時分注、同時吐出を必要とする製造システム、血球処理システム、複数の溶液を処理する分析装置、体外診断薬用分析装置 搭載可能なシリンジ容量はカタログをご参照ください。

• シリンジポンプ
• ラボ用シリンジポンプ
• ラボ用定量ポンプ

体外診断薬分野や科学分析装置分野での活用例です。

分注装置、分析装置を短時間で簡易に構築！ そのまま装置やシステムに組み込むことが出来るように、ほぼ完成した状態で供給される分注システムです。 その他のディバイスなどをここに設置、後はエンドユーザー向けソフトウェアを適合させ、御社のロゴを貼るだけ。 ISO13485,9001, FDA21 CFR Part820の要求を満たし、UL認可、 RoHS法、REACH法対応など体外診断薬分析装置や前処理装置向けの法規対応済み。

• 分注器
• 自動分注装置
• ディスペンサー

世界中で使われているOEM用ピペットユニットの装置内活用例はこちら。多くの問題を解決した事例の数々。

※下記の「カタログ」に表示されている事例集の画像をクリックして、事例をダウンロードしてください。 ADPピペットモジュールの特徴： テカンのヒット商品　（※デモ・貸出可能。） ◎ファームウェアー搭載独立制御 ◎ダブル液面検出：液面をピペット内の圧力と静電容量の変化で検出可能。 ◎トレーサビリティー：分析機器や体外診断薬装置にて固形物の吸引、泡の吸引、空吸など分注ミスがあるか否かのモニタリングが可能に。 ◎製造管理：製造行程で液分注作業をモニタリング ◎非通電性溶液（有機性溶媒など）の液面も検知可 ◎高い精度と再現性（５桁のステップ/インクリメント制御） ◎ピペッティングスピードを自由に制御し液体の性質に対応 ◎チップエジェクトツール不要（ピペットチップをモジュール自体が自動でエジェクト、エジェクト時の液の飛散汚染も最小限に） ◎コンパクト この分注ノウハウ（スピードコントロールやマルチピペッティングのノウハウ）を進呈中です。　ご希望の方はテカンジャパン株式会社までご連絡をください。 http://www.tecan.co.jp/about/profile.html

• シリンジポンプ
• ディスペンサー
• ピペット

液路設計やモーター調節不要。実証済精度、液面検知他多機能、ディスポチップを使う感染症や免疫検査項目で世界中でたくさんの使用例

世界中で業界大手の医療用遺伝子検査、高感度免疫検査装置への組込み実績多々。 集団感染時などに確実に感染症保持者を個々やまとめてスクリーニングする装置の短期開発に。また、クロス汚染を防ぎたい免疫検査装置に。 ※新製品ADP Detectも出ました！ ・装着可能ディスポーザブルチップ：目的や液量に合わせて１種類のユニットで異なるサイズの様々な仕様のチップを装着。チップはPCR検査向け遺伝子サンプル用グレードも提供。遺伝子検査や高感度免疫検査での擬陽性を防ぐタイプも提供。 ・簡単な装置組込み、液体コントロール DA15アダプターのみで通信や電源供給。液体の吸引、吐出、速度コントロールはステッパーモーターを直接コントロールすることなく、コマンドで簡単コントロール。液路設計不要で調節簡単。 ・簡単な分注シークエンス設計と動作の担保 液面検知（交差汚染や精度のブレを防ぐ）をはじめとした様々な便利機能が搭載。同時に、搭載した医療機器の信頼度を保証する液体操作が確実に行われたことをモニタリングする機能も多々搭載。 ※詳しくは下記「カタログをダウンロードする」ボタンをクリック。↓

• その他ポンプ
• シリンジポンプ
• ディスペンサー

液路設計やモーター調節不要。実証済精度、液面検知とチップエジェクト機能で短時間で、ハイスループットな感染症分析装置が完成。

世界中のメーカーでで新型コロナウイルス検出のためのPCR装置で多々導入された実績。その他高感度免疫検査装置への組込み実績多々。確実に感染症を検出する装置の短期開発に。 ・装着可能ディスポーザブルチップ：１種類のユニットで10μｌ～1ｍｌサイズのチップ(液量範囲：1μl以下～1000μl）が装着可能。PCR検査向け遺伝子サンプル用グレードも提供。遺伝子検査で擬陽性を防ぐフィルター付きも提供。 ・簡単な装置組込み、液体コントロール DA15アダプターのみで通信や電源供給。液体の吸引、吐出、速度コントロールはステッパーモーターを直接コントロールすることなく、コマンドで簡単コントロール。液路設計不要で調節簡単。 ・簡単な分注シークエンス設計と動作の担保 液面検知（交差汚染や精度のブレを防ぐ）、チップの自動エジェクトもコマンド一つで実行。エンコーダーによる液送動作確認。チップ装着の有無の認識や液吸引時の圧力モニタリング（空吸い、浮遊物の詰まり、泡吸いなどを感知）機能で確実な分注動作を担保。 ※詳しくは下記「カタログをダウンロードする」ボタンをクリック。↓

• その他ポンプ
• シリンジポンプ
• ディスペンサー

半導体製造における薬液塗布を「より的確に、より正確に」。装置の仕様要求を簡単にクリア

微細なパターン形成や高度なプロセス制御が求められる半導体製造においては、薬液の正確な吐出が不可欠です。テカンのCavroポンプシリーズは、1μl以下～50mlの範囲で精密な液送を実現し、お客様の装置への組み込みを容易にするため、最適なソリューションを提供します。 シリンジポンプ：Centris、Xcalibur、XLP6000 マルチチャネルシリンジポンプ：XMP6000 送液速度：17nl/分～2.4L/分　（エンコーダーによりポンプからの実際の吐出容量をモニタリング） フローコントローラーの調整に頼らず、実際の容量で確実な送液 【活用シーン】 ・スピンコート ・スプレイコート ・ウェーハへのフォトレジストの精密滴下 ・化学機械研磨（CMP）におけるスラリー添加 ・洗浄・エッチング工程での薬液調合 ・自動滴定調整 ・自動希釈 ・メッキ工程（電解・無電解）の添加剤管理 ・パッケージング工程 など

• シリンジポンプ
• 容積型ポンプ
• ディスペンサー

タフでナノリッター単位より細かい液送や分注が可能な高精度シリンジポンプの活用例。脈動の少ない分注に対応

※下記の「カタログ」の事例集をクリックして事例をダウンロード願います。 Centrisポンプ Centris　Pumpは、正確度、信頼性、再現性の高く、脈動が極めて少ない、装置組込み用の小型シリンジポンプモジュールです。 新Centris Pumpは、シンプルかつ堅牢な機構設計により、メンテナンスがほとんど不要になります。 OEMシリンジポンプの中でも、最少の設置面積。完全RoHS対応です。 ★ Centris Pumpの技術仕様は、カタログをダウンロードしてご覧下さい ★ ＝＝＝＝＝　特　長　＝＝＝＝＝ ・長寿命セラミックバルブも搭載可能 　高液温にも対応可能 ・高再現性：0.05%CV以下/FS ・高解像度：181,490ステップ （0.3nl単位で送液量や液送速度を調整可） ・プログラム可能な流速　5nl/s〜12.5ml/s （最大50時間で一ストローク可能） ・コンパクトサイズ（設置スペース 69×45ｍｍ） ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• その他ポンプ
• 分注器
• 水質検査

オリジナルブランドの自動分注装置や前処理装置の開発に！OEM用省スペースサンプルプロセッサー

「今すぐ自社ブランドで前処理装置を！」そんなメーカーの方々に最適なOEM前処理、分注などを行うサンプルプロセッサーです。目的に応じて様々なコンポーネントを搭載可能。バリデーションや法規対策もカバー。 名前は明かせませんが、世界中の分析装置メーカーが弊社のCavro Omni Flexを導入し、短時間での装置開発および上市に成功しています。特に必要生産数が少ない場合、Omni Flexのような既存のフレームワークにプラモデルのようにコンポーネントを組み合わせて完成させることがおすすめです。 省スペースでとお考えの場合、小サイズのMSPは最適です。 お客様のご要望に合わせた組み合わせのコンサルティングも行っています。お気軽にお声掛けください。お客様への様々なサポートにも相談させていただきます。 ※詳しい資料は下記「カタログをダウンロードする」ボタンをクリック。

• 直交ロボット
• OEM製造サービス

送液の高い再現性と細かい流量制御で半導体や電子部品のメッキ液管理を理想的に

セミアディティブ工法にも十分に対応、高い再現性と簡単な精密流速調整、安価にCV0.05％を実現 外部圧力に依存しない、送液ユニットによる元からの流速コントロールを！ 1回の送液の液量範囲：1nl～50ml 液量調節単位：最少1nl～　（※） 流速範囲：0.3μl/分～　（5.2nl/秒～） 流速調整単位：　63nl/分～　（1nl/秒）（※） ※装着しているシリンジ容量による 例：250μlシリンジを装着している場合 液量調節単位：最少5nl～　 可能な流速調節範囲：1.6μl/分～12.5ml/分　（26nl/秒～208μl/秒） 流速調整単位：　313nl/分～　（5nl/秒） 例：10mlシリンジを装着している場合 液量調節単位：最少0.2μl～　 可能な流速調節範囲：62.5μl/分～500ml/分　（1μl/秒～8.3ml/秒） 流速調整単位：　12.5μl/分～　（0.2μl/秒～） 頑丈設計で装置の故障発生率の低減に貢献。 高分解能　6000もしくは48,000ステップ 液路切替のための３方弁～12ポートバルブが装着可能。

• その他ポンプ
• シリンジポンプ
• 特殊ポンプ

テカンが誇るマルチシリンジポンプ 全世界でたくさんの実績。多様な溶液を扱うアプリケーションへ 48000ステップ

テカンで定評ある装置組み込み用マルチチャンネルシリンジポンプ ２，４，６，８本シリンジのアレンジが可。 高精度シリンジポンプを集約化して測定器の内部の空間にゆとりをもたらし、装置の小型化にも貢献。貴重な試薬のデッドボリュームを減らすことへ貢献。ポンプアドレスを単一にして操作。 体外診断薬自動測定装置、多様な反応液を添加する反応、さらに1台で様々なアプリケーションをこなすには最適。 液種の数に対して、最小限のスペース、最少のコマンド数で制御可能 使用例：マルチウェルプレートへの同時分注、同時吐出を必要とする製造システム、血球処理システム、複数の溶液を処理する分析装置、体外診断薬用分析装置 搭載可能なシリンジ容量はカタログをご参照ください。

• シリンジポンプ
• ラボ用シリンジポンプ
• ラボ用定量ポンプ

流路システムの設計や装置への導入をシンプルにする薄型・高性能シリンジポンプ

様々なバルブ仕様を持ったハイパフォーマンスなコンパクトタイプ組込み用シリンジポンプです。様々なシリンジを搭載でき、優れた正確性と再現性を実現。医療や科学分野の分析装置やファクトリーオートメーション、陽圧または真空下での密閉チューブサンプリングにとどまらず、微量かつ均一な液体制御を求められる半導体製造工程にもぜひお使いいただきたいポンプです。

• コーター
• レジスト装置
• エッチング装置

低脈動かつ50時間かけてシリンジ1ストローク

長耐久性　新しいコンセプトのシリンジポンプ登場 ＝＝＝＝＝　概　要　＝＝＝＝＝ Centris　Pumpは、正確度、信頼性、再現性の高い、ラボラトリー機器用の小型シリンジポンプモジュールです。 新Centris Pumpは、シンプルかつ堅牢な機構設計により、メンテナンスがほとんど不要になります。 OEMシリンジポンプの中でも、最少の設置面積。完全RoHS対応です。 ★ Centris Pumpの技術仕様は、カタログをダウンロードしてご覧下さい ★ ＝＝＝＝＝　特　長　＝＝＝＝＝ ・長寿命セラミックバルブとセラミックシリンジを採用 　高液温にも対応可能 ・高再現性：0.05%CV以下/FS ・高解像度：181,490ステップ ・プログラム可能な流速　5nl/s〜5ml/s ・コンパクトサイズ（設置スペース 69×45ｍｍ） ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• シリンジポンプ
• ラボ用定量ポンプ
• ポンプ

大気水蒸気同位体分析器へのCavro（R) Centris シリンジポンプ導入事例（Picarro社）

Picarro社は、大気水蒸気同位体分析器のコンポーネントとしてCavro(R) CentrisPumpを採用しています。 同社の高感度装置は、遠隔地で完全に自動で動作するよう設計されていて、 環境科学者たちに地球気候の把握に役立つデータを提供しています。 このポンプは分解能が装着シリンジに対して181,490ステップあり、かなり高精度な液体操作を可能にします。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。

• シリンジポンプ

ナノリッター単位より液送量や流速調節が可能な高精度シリンジポンプ

Centris　Pumpは、正確度、信頼性、再現性の高く、脈動が極めて少ない、装置組込み用の小型シリンジポンプモジュールです。 新Centris Pumpは、シンプルかつ堅牢な機構設計により、メンテナンスがほとんど不要になります。 OEMシリンジポンプの中でも、最少の設置面積。完全RoHS対応です。 活用実績：フローサイトメーター、ウエハ製造での微量送液、滴定装置、マイクロ流路、薄層クロマトの製造、病原体検出装置、大気分析装置など多様 ★　技術仕様は、カタログをダウンロードしてご覧下さい ★ ＝＝＝＝＝　特　長　＝＝＝＝＝ ・長寿命セラミックバルブも搭載可能 ・高再現性：0.05%CV以下/FS ・高解像度：181,490ステップ （0.3nl単位で送液量や液送速度を調整可） ・プログラム可能な流速　5nl/s〜12.5ml/s （最大50時間で一ストローク可能） ・コンパクトサイズ（設置スペース 69×45ｍｍ） ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• その他ポンプ
• 分注器
• 水質検査

組込み用シリンジポンプの外観が関連リンクですぐわかります。精密な送液や分注に最適

※関連リンクで右下の日本語をご選択ください。 ◆◆下記総合カタログでも詳しくご紹介◆◆ ポンプの特徴が一目でわかる比較表付。 バルブやシリンジオプション、スペックが一目でわかり、製品開発の際の好適ポンプを簡単に検索。 シンプルな装置構成のためのピペットモジュール、世界最高クラスの実績のシリンジポンプ、高耐久性で安価対応のピストンポンプなどを掲載。 使用例：血液サンプル前処理装置、体外診断薬用分析装置、滴定処理を伴う分析装置、半導体ウエハのコーティングやディスペンス、メッキ液管理、固相化抽出、自動元素分析装置、スティックタイプ試験薬の製造など様々 装着可能シリンジ容量：50μl～5ml（カタログをご参照ください） 3000ステップ～18万ステップまでの分解能 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• その他機械要素

高精度な液体サンプル採取を、簡単操作で実現。

水処理業界における水質検査では、正確なサンプル採取が検査結果の信頼性を左右します。特に、微量成分の分析や、連続的なモニタリングが必要な場合、サンプルの正確な採取と安定した供給が不可欠です。不正確なサンプル採取は、誤った分析結果につながり、水質管理の精度を低下させる可能性があります。テカンの微量液体ハンドリング用ポンプは、高精度な分注能力と、多様なインターフェースにより、水質検査における正確なサンプル採取をサポートします。 【活用シーン】 ・水質検査ラボ ・排水処理施設 ・河川・湖沼の水質モニタリング ・飲料水製造工程 【導入の効果】 ・正確なサンプル採取による分析結果の信頼性向上 ・自動化による作業効率の改善 ・多様なサンプルへの対応 ・ランニングコストの削減

• シリンジポンプ
• 容積型ポンプ
• ディスペンサー

48,000ステップの高解像度シリンジポンプ。ストローク6cm で50ｍlにも対応。多くの分析機やFAでの導入実績。

キャリブレーションが不要！多種多様なアプリケーションへの実績（液体分注を伴う生産オートメーション、工場内での自動サンプル採取、体外診断薬分析装置、化学分析装置など）。頑丈仕様で組込み装置のサービスコストも低減。装置の故障発生率の低減に貢献。 高分解能　6000もしくは48,000ステップ（コマンドで変更） 切り替えバルブ付　液路を切り替えるためのバルブ（3方弁～12ポート弁）が搭載可能 2年間保証 簡単な生産設備での組み込みと管理 ・コマンドをシリアルコミュニケーション（RS232,RS485)やCANコミュニケーションで送信することにより、PLCなどで簡単にコントロール。 ・トラブル発生時もエラーコードで速原因解決。初期化で完全復活。 ・電源投入回数、プランジャー稼動回数をファームウェで記録。簡単に呼び出し。 ・自己診断スイッチで機構の正常さを即座にチェック。 ・消耗部分（シリンジやバルブ）は簡単に交換できる。

• シリンジポンプ
• 容積型ポンプ
• ディスペンサー

吐出液の流速を0.3μl/分で調節可能、ナノリットルレベルの液量調整で高価なフォトレジスト使用量を最少に！

スピンコーターやスリットコーターのレジスト液滴下に最適。 安価と高い再現性（CV値：0.05％を実現） 外部圧力とフローコントローラーに依存しない、送液ユニットによる元からの流速コントロールを！ 1回の送液の液量範囲：1nl～50ml 液量調節単位：最少1nl～　 流速範囲：0.3μl/分～　（5.2nl/秒～） 流速調整単位：　63nl/分～　（1nl/秒） ※装着するシリンジ容量による 例：10mlシリンジを装着している場合 液量調節単位：最少0.2μl～　 調節可能な流速範囲：62.5μl/分～500ml/分　（1μl/秒～8.3ml/秒） 流速調整単位：　12.5μl/分～　（0.2μl/秒～） エンコーダーによる吐出量と速度の徹底管理機能と異常時にエラーを知らせるレポート機能搭載。 I/O端子付きで稼働の連動も容易。稼働量記憶機能でメンテナンスも容易に。 頑丈仕様で組込み装置のサービスコストも低減。装置の故障発生率の低減に貢献。 高分解能　コマンドで6000もしくは48,000ステップ。液路切替のための３方弁～12ポートバルブが装着可能。

• シリンジポンプ
• 容積型ポンプ
• ディスペンサー

吐出液の流速を0.3μl/分で調節可能、ナノリットルレベルの液量調整で高価なフォトレジスト使用量を最少に！

スピンコーターやスリットコーターのレジスト液滴下に最適。 安価と高い再現性（CV値：0.05％を実現） 外部圧力とフローコントローラーに依存しない、送液ユニットによる元からの流速コントロールを！ 1回の送液の液量範囲：1nl～50ml 液量調節単位：最少1nl～　 流速範囲：0.3μl/分～　（5.2nl/秒～） 流速調整単位：　63nl/分～　（1nl/秒） ※装着するシリンジ容量による 例：10mlシリンジを装着している場合 液量調節単位：最少0.2μl～　 調節可能な流速範囲：62.5μl/分～500ml/分　（1μl/秒～8.3ml/秒） 流速調整単位：　12.5μl/分～　（0.2μl/秒～） エンコーダーによる吐出量と速度の徹底管理機能と異常時にエラーを知らせるレポート機能搭載。 I/O端子付きで稼働の連動も容易。稼働量記憶機能でメンテナンスも容易に。 頑丈仕様で組込み装置のサービスコストも低減。装置の故障発生率の低減に貢献。 高分解能　コマンドで6000もしくは48,000ステップ。液路切替のための３方弁～12ポートバルブが装着可能。

• シリンジポンプ
• 容積型ポンプ
• ディスペンサー

様々な分野で導入実績多数！半導体製造ラインの安定稼働に最適な装置組込み用ポンプXLP6000

Cavro XLP6000は、様々な自動化装置に採用されている超精密吐出ユニットです。半導体製造装置に求められる24時間365日の連続稼働に耐えうる堅牢な設計と、化学薬品に対する高い耐性を兼ね備えています。 長年培われた信頼のメカニズムが、プロセス液の供給における「ダウンタイムゼロ」を追求し、装置の稼働率（OEE）を最大化します。 【活用シーン】 ・メッキ槽への添加剤・薬液の自動補充：光沢剤や抑制剤を正確かつ定期的に定量補充 ・洗浄・エッチング用薬液のオンデマンド調合：インライン供給するブレンディングシステムに最適 ・現像液・剥離剤の精密供給：大口径ウェーハの面内均一性を確保するための安定した液送りを実現 【なぜXLP600なのか？】 ・量産ラインでの圧倒的な信頼実績 ・メンテナンス性の高さと長寿命設計 ・グローバルなサポート体制

• シリンジポンプ
• 容積型ポンプ
• ディスペンサー

24000ステップ、高分注精度が要求される製品開発に好適な実績あるテカンのシリンジポンプ。コンパクトでありながら、超頑丈設計。

＝＝＝＝＝　概　要　＝＝＝＝＝ テカン　Cavro XCaliburは、小型/軽量の高分注精度のOEMシリンジポンプです。エクスカリバーは近年その性能や頑丈さにより、世界中の分析装置や臨床診断装置に適用され、弊社の自動分注装置にも積極的に導入されています。 省スペースおよび、高分注精度が要求される製品開発に好適です。 完全RoHSIII対応品です。バルブは様々な液路切り替えに対応(3方向弁～12ポート弁）。写真は特殊な特殊仕様のバルブを装着している仕様です。また、新製品のソレノイドバルブタイプも発売しました。 使用例：血液サンプル前処理装置、体外診断薬用分析装置、滴定処理を伴う分析装置、半導体ウエハのコーティングやディスペンス、メッキ液管理、固相化抽出、自動元素分析装置、スティックタイプ試験薬の製造など様々 流量と流速を常に正確にモニタリングする機能付き 装着可能シリンジ容量：50μl～5ml（カタログをご参照ください） （※デモ、ポンプ貸し出し（評価用キット共に）可能） 詳しい仕様ついては下記「カタログをダウンロード」をクリック。

• シリンジポンプ
• その他理化学機器
• 分析機器・装置

半導体関連の製造装置開発に！　コーティング、エッチング、パルス送液、薬液管理や滴定、廃液管理で精密送液を実現するシリンジポンプ

ポンプの特徴が一目でわかる比較表付。 バルブやシリンジオプション、スペックが一目でわかり、製品開発の際の好適ポンプを簡単に検索。 多分岐バルブで様々な薬液を様々な液路へ分配可能。 精密分注はCV0.05％を確実に実現。次世代の半導体製造プロセスに役立つシリンジポンプ類。 フッ酸耐性のシリンジも近日供給可能。 シリンジポンプの流量と流速の仕様： 1回の送液の液量範囲：0.3nl～50ml 液量調節単位：最少0.3nl～　 調節可能な流速範囲：17μl/分～2.5L/分　（0.3nl/秒～41ml/秒） 流速調整単位：　17nl/分～　（0.3nl/秒） ※シリンジポンプの種類と装着しているシリンジ容量(50ul～50ml)により液量と流速は異なります。 シリアル通信とCAN通信下で簡単なコマンドで稼働と微調整が容易。PLC制御に最適 衝撃に強いシャーシを採用。接液部はPTFE。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• その他機械要素

半導体関連の製造装置開発に！　コーティング、エッチング、パルス送液、薬液管理や滴定、廃液管理で精密送液を実現するシリンジポンプ

ポンプの特徴が一目でわかる比較表付。 バルブやシリンジオプション、スペックが一目でわかり、製品開発の際の好適ポンプを簡単に検索。 多分岐バルブで様々な薬液を様々な液路へ分配可能。 精密分注はCV0.05％を確実に実現。次世代の半導体製造プロセスに役立つシリンジポンプ類。 フッ酸耐性のシリンジも近日供給可能。 シリンジポンプの流量と流速の仕様： 1回の送液の液量範囲：0.3nl～50ml 液量調節単位：最少0.3nl～　 調節可能な流速範囲：17μl/分～2.5L/分　（0.3nl/秒～41ml/秒） 流速調整単位：　17nl/分～　（0.3nl/秒） ※シリンジポンプの種類と装着しているシリンジ容量(50ul～50ml)により液量と流速は異なります。 シリアル通信とCAN通信下で簡単なコマンドで稼働と微調整が容易。PLC制御に最適 衝撃に強いシャーシを採用。接液部はPTFE。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• その他機械要素

高分注精度が要求されるコーティング装置開発に実績あるテカンのディスペンスポンプ。コンパクトでありながら、超頑丈設計。

高価なEUVレジストを無駄にしない流体制御シリンジポンプ スピンコーターやスリットコーターのレジスト液滴下に最適です。また、安価でありながら高い再現性（CV値：0.05％）を実現出来ています。 不安定な外部圧力とフローコントローラーに依存しない、送液ユニットによる元からの流速コントロールを容易に行わせることが可能です。 1回の送液の液量範囲：2nl～5ml 液量調節単位：最少2nl～　 調節可能な流速範囲：5μl/分～250ml/分　（83nl/秒～4.16ml/秒） 流速調整単位：　208nl/分～　（2nl/秒） ※装着するシリンジ容量による 例：2.5ｍlシリンジを装着時 液量調節単位：最少104nl～　 調整可能な流速範囲：250μl/分～125ml/分　（4.1μl/秒～2.08ml/秒） 流速調整単位：　6.24ml/分～　（104nl/秒～） 特徴：エンコーダーによる吐出量と流速の管理機能と異常時にエラーを知らせるレポート機能搭載。I/O端子で稼働の連動も容易。稼働量記憶機能あり。頑丈仕様で組込み装置のサービスコストも低減。装置の故障発生率の低減に貢献。

• シリンジポンプ
• その他理化学機器
• 分析機器・装置

半導体関連の製造装置開発に！　コーティング、エッチング、パルス送液、薬液管理や滴定、廃液管理で精密送液を実現するシリンジポンプ

ポンプの特徴が一目でわかる比較表付。 バルブやシリンジオプション、スペックが一目でわかり、製品開発の際の好適ポンプを簡単に検索。 多分岐バルブで様々な薬液を様々な液路へ分配可能。 精密分注はCV0.05％を確実に実現。次世代の半導体製造プロセスに役立つシリンジポンプ類。 フッ酸耐性のシリンジも近日供給可能。 シリンジポンプの流量と流速の仕様： 1回の送液の液量範囲：0.3nl～50ml 液量調節単位：最少0.3nl～　 調節可能な流速範囲：17μl/分～2.5L/分　（0.3nl/秒～41ml/秒） 流速調整単位：　17nl/分～　（0.3nl/秒） ※シリンジポンプの種類と装着しているシリンジ容量(50ul～50ml)により液量と流速は異なります。 シリアル通信とCAN通信下で簡単なコマンドで稼働と微調整が容易。PLC制御に最適 衝撃に強いシャーシを採用。接液部はPTFE。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• その他機械要素

高分注精度が要求されるコーティング装置開発に実績あるテカンのシリンジポンプ。コンパクトでありながら、超頑丈設計。

高価なEUVレジストを無駄にしない流体制御シリンジポンプ スピンコーターやスリットコーターのレジスト液滴下に最適です。また、安価でありながら高い再現性（CV値：0.05％）を実現出来ています。 不安定な外部圧力とフローコントローラーに依存しない、送液ユニットによる元からの流速コントロールを容易に行わせることが可能です。 1回の送液の液量範囲：2nl～5ml 液量調節単位：最少2nl～　 調節可能な流速範囲：5μl/分～250ml/分　（83nl/秒～4.16ml/秒） 流速調整単位：　208nl/分～　（2nl/秒） ※装着するシリンジ容量による 例：2.5ｍlシリンジを装着時 液量調節単位：最少104nl～　 調整可能な流速範囲：250μl/分～125ml/分　（4.1μl/秒～2.08ml/秒） 流速調整単位：　6.24ml/分～　（104nl/秒～） 特徴：エンコーダーによる吐出量と流速の管理機能と異常時にエラーを知らせるレポート機能搭載。I/O端子で稼働の連動も容易。稼働量記憶機能あり。頑丈仕様で組込み装置のサービスコストも低減。装置の故障発生率の低減に貢献。

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• その他理化学機器
• 分析機器・装置

高分注精度が要求されるコーティング装置開発に実績あるテカンのシリンジポンプ。コンパクトでありながら、超頑丈設計。

高価なEUVレジストを無駄にしない流体制御シリンジポンプ スピンコーターやスリットコーターのレジスト液滴下に最適です。また、安価でありながら高い再現性（CV値：0.05％）を実現出来ています。 不安定な外部圧力とフローコントローラーに依存しない、送液ユニットによる元からの流速コントロールを容易に行わせることが可能です。 1回の送液の液量範囲：2nl～5ml 液量調節単位：最少2nl～　 調節可能な流速範囲：5μl/分～250ml/分　（83nl/秒～4.16ml/秒） 流速調整単位：　208nl/分～　（2nl/秒） ※装着するシリンジ容量による 例：2.5ｍlシリンジを装着時 液量調節単位：最少104nl～　 調整可能な流速範囲：250μl/分～125ml/分　（4.1μl/秒～2.08ml/秒） 流速調整単位：　6.24ml/分～　（104nl/秒～） 特徴：エンコーダーによる吐出量と流速の管理機能と異常時にエラーを知らせるレポート機能搭載。I/O端子で稼働の連動も容易。稼働量記憶機能あり。頑丈仕様で組込み装置のサービスコストも低減。装置の故障発生率の低減に貢献。

• シリンジポンプ
• その他理化学機器
• 分析機器・装置

ALD/CVDの前駆体液の供給に！　0.3nl単位での液量調整と17nl/分単位の流速調整が可能。厳しい最適化が必要な送液に最適

組込み用シリンジポンプ市場で世界でトップメーカーのテカンが供給する高精度ポンプ。 国内でも多くの装置導入がなされています。無脈動で正確、かつ再現性の高い送液目的で多用されています。 Centris 1回の送液の液量範囲：0.3nl～12.5ml（※） 液量調節単位：最少0.3nl～　 調節可能な流速範囲：17μl/分～750ml/分　（0.3nl/秒～12.5ml/秒） 流速調整単位：　17nl/分～　（0.3nl/秒） ※装着しているシリンジ容量(50ul～12.5ml)による 例：5ｍlシリンジを装着している場合 液量調節単位：最少104nl～　 調節可能な流速範囲：1.62μl/分～300ml/分　（0.3nl/秒～5ml/秒） 流速調整単位：1.62μl/分～　（28nl/秒～） 分解能が装着シリンジに対して181,490ステップあり、かなり高精度な液体操作を可能にします。また、3ポートから12ポートまでの液路切替バルブが搭載でき複数の液体ソースから溶液を吸引できます。送液量や流速が正しいことを常にモニタリングする機構により、異常を自動でエラーコードで知らせます。

• シリンジポンプ

ALD/CVDの液体前駆体供給に！　0.3nl単位での液量調整と17nl/分単位の流速調整が可能。厳しい最適化が必要な送液に最適

組込み用シリンジポンプ市場で世界でトップメーカーのテカンが供給する高精度ポンプ。 国内でも多くの装置導入がなされています。無脈動で正確、かつ再現性の高い送液目的で多用されています。 Centris 1回の送液の液量範囲：0.3nl～12.5ml（※） 液量調節単位：最少0.3nl～　 調節可能な流速範囲：17μl/分～750ml/分　（0.3nl/秒～12.5ml/秒） 流速調整単位：　17nl/分～　（0.3nl/秒） ※装着しているシリンジ容量(50ul～12.5ml)による 例：5ｍlシリンジを装着している場合 液量調節単位：最少104nl～　 調節可能な流速範囲：1.62μl/分～300ml/分　（0.3nl/秒～5ml/秒） 流速調整単位：1.62μl/分～　（28nl/秒～） 分解能が装着シリンジに対して181,490ステップあり、かなり高精度な液体操作を可能にします。また、3ポートから12ポートまでの液路切替バルブが搭載でき複数の液体ソースから溶液を吸引できます。送液量や流速が正しいことを常にモニタリングする機構により、異常を自動でエラーコードで知らせます。

• シリンジポンプ

24000ステップ、高い分注精度が要求される製品開発に最適な実績あるテカンのシリンジポンプ。コンパクトでありながら、超頑丈設計。

＝＝＝＝＝　概　要　＝＝＝＝＝ テカン　Cavro XCaliburは、小型/軽量、高分注精度のOEMシリンジポンプです。エクスカリバーは近年その性能や頑丈さにより、世界中の化学分析装置や臨床診断装置に適用され、弊社の自動分注装置にも積極的に導入されています。簡単なコマンドで様々な動作、問題発生時はエラーコードで知らせます。 省スペースおよび、高分注精度が要求される製品開発に最適です。 完全RoHS3対応品です。 臨床検査、半導体製造、薬液管理、水質分析、試験薬製造、粘性検査など多様な分野で活用されています。 （※デモ、貸し出し可能） 詳しい仕様ついては下記「カタログをダウンロード」をクリック。

• その他ポンプ
• シリンジポンプ
• ディスペンサー

軽量、高精度、安価、高い耐久性を実現する新たなピストンポンプ 500万回往復でも精度維持メンテナンスフリーなパルサーPBC

＜体外診断薬分析装置やPOCT分析装置へ、長期間メンテフリーと短時間開発、低コスト、コンパクト化をもたらす高精度コンポーネント＞ ※詳しい仕様は下記「カタログをダウンロードする」をクリックしてください。 ・バックラッシュ補正機構により精度向上とタクトタイムの短縮が可能に ・長期間メンテナンスフリー：定期的交換部品無し。500万回往復の耐久性。強い液体に対する素材のオプション。 ・フルストロークでCV0.05％未満、ピストン微動でも同様な高精度を実現 ・短時間開発：基盤オプションによる短時間最適化。ISO13485,FDA21 CFR Part820の要求を満たし、UL認可、RoHS法、REACH法対応 ・バリデーションやキャリブレーション不要（バックラッシュ補正構造） ・制御基板の有無を選択。（制御基板：コマンドで微妙な液体の動きを簡単制御。多彩なエラーログも自動発信） ・低コスト ・現状（2022年）でも短納期 ・圧力センサー：1μｌの液漏れ感知など ・コンパクトと軽量 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• シリンジポンプ
• 分析機器・装置
• 蛍光X線分析装置

最も汎用性が高い液体直行ハンドリングアーム。動きが静かでスムーズなモジュール型のデザインで目的に応じたフレキシビリティーを提供。

※下記のデザイン用リンクでご希望の仕様の分注用ロボットアームのデザインを体験できます！ https://apps.kaonadn.net/5463001/robot/index.html#;5 ノズル、ディスポチップの選択、チューブやマルチウェルプレートの移動や分析装置への自動ロードなど、目的に応じた構成がデザインできます。 そのまま装置単体になるフレーム付き、装置間の橋渡しを行うフレームの無い仕様も可能です。 このシステムは世界中で数多くのハイスループット自動分注装置、自動精製前処理装置、体外診断薬用自動測定装置の設計や受託製造を手掛けるテカンが供給する液体ハンドリングアーム(ＸＹＺ）と付属オプション（プローブ、グリッパーなど）。シャーシ付き・無しの選択あり。 弊社で実績ある装置と全く同じコンポーネントを使って、目的やアプリケーションに応じた最良のアレンジメントをすることを可能にします。 2年保証の頑丈性。 ※仕様については「カタログをダウンロード」をクリック。

• シリンジポンプ
• その他産業用ロボット
• 分注器

液体分注、酵素、化学反応を自動で行わせるためのX,Y,Zアーム（交軸アーム）の総合カタログです。

より確実で高速な自動液体分注のための必須アイテム OEM のためのフレキシブルなモジュール型液体分注アーム 最新のOmni Flex, Omni, 実績多いRSPやMSPと3種のロボットがある。 ティーチングやコマンドで簡単操作。精密ポンプもコマンドで同時にコントロール。

• シリンジポンプ
• その他産業用ロボット
• 分注器

サイズや構成を自由に選択、自動分析メーカーのためのXYZアーム。世界で定評のテカンのロボットアームテクノロジーをお客様の機械に！

※デモについて：ご相談ください。 ※詳しい資料は下記「カタログをダウンロードする」をクリック。 ライバルに差をつける正確性とスピードを実現するには、すでに多くの実績がある装置のコンポーネントを導入することが時間的にも、リスク回避の上でも確実。 ISO13485やISO9001の要求事項を満たし、多くの地域の法規制に対応したバリデート済みコンポーネント。 バリデート済のポンプなどのコンポーネントを自由に組み合わせ安心できる完成品をお客様の装置のユーザーへ届けることへ確実に貢献するアームです。

• その他産業用ロボット
• 機械設計
• 分注器

どのポンプを選んだら良いやら.... 無料進呈。比較表付。人気ある用途やアプリケーションも掲載。 シンプルに選択可。

ポンプの特徴が一目でわかる比較表付。 バルブやシリンジオプション、スペックが一目でわかり、製品開発の際の好適ポンプを簡単に検索。 シンプルな装置構成のためのピペットモジュール、世界最高クラスの実績のシリンジポンプ、高耐久性で安価対応のピストンポンプなどを掲載。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

• その他機械要素

24000ステップ、高分注精度が要求される製品開発に好適な実績あるテカンのシリンジポンプ。コンパクトでありながら、超頑丈設計。

＝＝＝＝＝　概　要　＝＝＝＝＝ テカン　Cavro XCaliburは、小型/軽量の高分注精度のOEMシリンジポンプです。エクスカリバーは近年その性能や頑丈さにより、世界中の分析装置や臨床診断装置に適用され、弊社の自動分注装置にも積極的に導入されています。 省スペースおよび、高分注精度が要求される製品開発に好適です。 完全RoHSIII対応品です。バルブは様々な液路切り替えに対応(3方向弁～12ポート弁）。写真は特殊な特殊仕様のバルブを装着している仕様です。また、新製品のソレノイドバルブタイプも発売しました。 （※デモ、ポンプ貸し出し（評価用キット共に）可能） 詳しい仕様ついては下記「カタログをダウンロード」をクリック。

• シリンジポンプ
• その他理化学機器
• 分析機器・装置

厳しい装置の仕様要求を簡単にクリア。より的確で正確な液送・分注条件が簡単に実現可能！　ご要望に合う価格帯や仕様を提供しています。

「2017年9月更新版カタログ」および各製品カタログ ・OEM装置組込用精密ポンプ、高速分注装置としてトップレベルのシェアを持つテカンが惜しみなく、そのコア技術となるポンプを提供します。 ・テカンの分注技術を簡単にあなたの装置へ導入するためのテカンCavroポンプのラインアップを掲載。 ・従来のディスポーザブルチップ用分注モジュールADP、そしてシリンジポンプ：エクスカリバー、XLP6000、セントリスのラインアップに、（その他、新製品ADP Detectやエクスカリバーのソレノイドバルブタイプも新登場） ・低価格で高精度、かつ超耐久性を持つ新製品 PBCピストンポンプも加わり、科学、医療分析装置の製造コストをとても気にする方にもご満足いただける製品も提供。 ・コントロール基盤付仕様製品は電源接続後即座（1分以内）にお好みの分注条件でテストが可能。 ・クラスI医療機器対応のISO13485、環境対策のRoHS３にも対応済み。 ・シリンジポンプへは切り替えバルブ（３方弁～12ポート）を装着可。 ※詳細はお問い合わせ、もしくは下記のカタログ資料をダウンロード願います。

• シリンジポンプ
• 容積型ポンプ
• ディスペンサー

超微量～大容量の様々な性質の液体を様々な条件で正確に分注するためのテカンのシステム・装置組込用ノズル（プローブ)

Cavro のコンポーネントは４０年以上にわたり、装置やシステムの開発者へ革新的で信頼できる液体分注の技術を提供してきました。 液体を正確に分注するためには精度の高いシリンジポンプやピペットモジュールの分注条件の設定を液体の取扱量や性質に合わせて調整する必要があります。 しかしながら、同時に必要なこととして、液体を吐出したり、吸引を行う先端となる分注ノズルやプローブの選択は無視できません。 特に液体が1ｍｌ以下の場合にはこちらにも配慮する必要があります。 実際に弊社は長年にわたり、体外診断薬分析装置や分析化学分野、生産施設などに確実な測定系を確立するための分注プローブを提供してまいりました。また、弊社で提供しているハイスループットの高精度分注システムにもこれらが実用されています。

• ノズル
• その他ポンプ
• シリンジポンプ

半導体製造における薬液塗布を「より的確に、より正確に」。装置の仕様要求を簡単にクリア

微細なパターン形成や高度なプロセス制御が求められる半導体製造においては、薬液の正確な吐出が不可欠です。テカンのCavroポンプシリーズは、1μl以下～50mlの範囲で精密な液送を実現し、お客様の装置への組み込みを容易にするため、最適なソリューションを提供します。 シリンジポンプ：Centris、Xcalibur、XLP6000 マルチチャネルシリンジポンプ：XMP6000 ピストンポンプ：Pullsar PBC 【活用シーン】 ・ウェーハへのフォトレジストの精密滴下 ・化学機械研磨（CMP）におけるスラリー添加 ・洗浄・エッチング工程での薬液調合 ・メッキ工程（電解・無電解）の添加剤管理 ・パッケージング工程 など 【Cavroシリーズが選ばれる技術的理由】 ・高い分解能: ステッピングモーターによる細かいステップ制御で、極微量の吐出が可能 ・メンテナンス性: 装置への組込み（OEM）を前提とした設計で、クリーンルーム内でのダウンタイムを最小限に ・多様なシリンジ材質: 腐食性の強い半導体用薬液に対しても、適切な材質（PTFE、セラミックなど）を選択することで対応可能

• シリンジポンプ
• 容積型ポンプ
• ディスペンサー

燃料電池の電解液供給に！ハイエンド送液モジュールで性能と信頼性を向上

燃料電池（MEA）の製造において、触媒層の均一性はセルの発電効率と歩留まりを左右する決定的な因子です。テカンのハイエンド送液モジュールCavro Centrisは、滑らかな動きにより、理想的な薄膜コーティングを実現します。 【活用シーン】 ・MEA（膜電極接合体）触媒層形成のためのダイコーターやコンマコーターへの液の供給 ・触媒組成の最適化：手作業では不可能な微細な配合比の変化を自動かつ正確に再現 ・電解質膜（PEM）の親水化処理・表面改質：電解質膜への改質液滴下・塗布 【Cavro Centris導入の効果】 ・脈動を抑えた送液による塗布品質の劇的向上 ・高価な触媒材料のロスを最小化する「一滴」の制御 ・過酷なスラリー特性に耐える堅牢な設計 ・タンデム方式（2台運用）により連続フローを実現

• シリンジポンプ
• 容積型ポンプ
• ポンプ

24,000ステップの高分注精度。半導体製造工程の精密塗布に最適な送液ポンプ

Cavro Xcaliburは、装置の小型化・高集積化が求められる半導体関連装置に最適な、コンパクト設計の精密液送ポンプです。30mmストロークのスリムな筐体ながら、上位モデル譲りの定量精度を維持。設置場所を選ばないため、複数のポンプを並列配置する多系統の液送ラインも、最小限のフットプリントで構築可能です。 「高精度な液送はそのままに、装置をよりコンパクトにしたい」——その理想を現実にする、組み込み専用ポンプです。 【活用シーン】 ・マルチチャンネル方式の薬液供給ユニット：複数の異なる薬液を個別に制御して供給する多系統供給システムに好適 ・卓上型・ラボ向け半導体評価装置：研究開発用の試作コーターや、材料特性を評価する小型装置への組み込みに好適 ・分析・検査モジュールへの統合：半導体製造プロセス中の薬液濃度をリアルタイムで監視する分析ユニットや、不純物検査装置のサンプリング・希釈用ポンプとして機能 【なぜCavro Xcalibur なのか？】 ・30mmストロークを採用したショートボディ ・多系統（マルチチャンネル）液送への最適性 ・十分な精度かつリーズナブルな導入コスト

• シリンジポンプ
• その他理化学機器
• 分析機器・装置

半導体製造プロセス最適化：低脈動・超高精度の液送ソリューションで高品質と高歩留まりを実現

半導体製造のさらなる微細化・高集積化において、製品品質と歩留まりを左右するのは薬液ハンドリングの極限的な精度です。特に、わずかな流量変動が致命的な欠陥につながる次世代プロセスにおいて、従来の送液システムでは対応しきれない課題が表面化しています。 Cavro Centris Pumpは、業界最高水準の分解能（最大192,000ステップ）により、微細化が進む各工程でこれまでにない安定性を提供します。 【活用シーン】 ・フォトレジストの精密滴下（リソグラフィ） ・ナノインプリント用樹脂の供給 ・スリットダイコーティングの流量制御（薄膜形成） ・無電解メッキ液の自動調整 ・電気メッキ（ECP）の添加剤管理 ・薬液のインラインブレンディング ・CMP（化学機械研磨）工程でのスラリー・添加剤の精密供給 【導入の効果】 Centris Pumpは、吐出量のわずかなバラつきや脈動による塗布ムラを解消し、歩留まりの劇的な向上に貢献します。装置への組み込みを前提としたコンパクトな設計は、既存装置のアップグレードや次世代装置の開発において、設計の自由度を最大限に高めます。

• その他ポンプ

テカンの高度な分注技術を直ぐにあなたの手に！絶妙なコントロールで高精度で高速な送液や分注を簡単に実現。キャリブレーション不要。

「2017年9月更新版カタログ」 ・テカンの分注技術を簡単にあなたの装置へ導入するためのテカンCavroポンプのラインアップを掲載。 ・ご周知のハイスループット分注装置を提供しているテカンは、そこで使われているCavro のポンプを４０年以上にわたり提供し続けています。 ・製品は全てバリデーション済。キャリブレーションは全く不要です。 ・コマンド制御、レポート機能、エラーコード報告機能、自己診断機能で簡単に装置導入可能。様々なトラブルへも対処できます。 ・新製品のピストンポンプは500万回ピストン往復でもメンテナンス不要、かつ高精度で低価格なお勧め製品です。 ※詳細はお問い合わせいただくか、PDF資料をダウンロードしてください。

• ディスペンサー

分子診断装置のカスタム開発を迅速化！OEMパートナーとの協業などについて解説

当資料は、カスタム仕様の分子診断装置を迅速に開発する方法について 解説したホワイトペーパーです。 サイズが選べるワークスペースや各種ピペッティングオプションといった 特長をもつモジュール式液体処理プラットフォーム「Cavro Omni Flex」を紹介。 経験豊富なOEMパートナーと提携するメリットや、製品開発をスムーズに 進めるためのポイントもご紹介しております。ぜひご一読ください。 【掲載内容(一部)】 ■より速く効率的な分子診断を実現するためのOEMという選択肢 ■Cavro Omni Flex：モジュール式プラットフォーム ■分子診断に適切なアプローチ、Cavro ADPのピペッティング ■シンプルなシステム構築 ■法規制対応 ■お客様の声 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• 分注器
• その他 分析・検査機器

smartec特集ページもご覧ください。 https://acs-l.jp/corp/toolde/smartec.html 会場の様子やデモ実演の動画などは、ツールドインターナショナル公式インスタグラムにて公開中！ https://www.instagram.com/toolde_insta/ デモ機貸出も承っております！是非、お問合せください！ https://toolde.co.jp/contact

Aeroforceは、特許取得済みの特殊な方法によりクーラントと共にエアーを供給することによって、クーラントの威力が倍増します。 詳細はこちら https://acs-l.jp/corp/toolde/smartec.html

日之出水道機器株式会社が提供するヒノスマートキャビネットは、工場の工具や消耗品を自動販売機のように管理できる資材管理ソリューションです。このシステムは、在庫管理や発注業務を自動化することで、欠品による生産停止のリスクを防ぎ、棚卸し作業の負担を大幅に軽減します。キャビネットには引き出し式やスパイラル式などの種類があり、用途に合わせてドリルや計測器、保護具などを適切に保管することが可能です。さらに、ユーザー認証による履歴管理機能により、「誰が・いつ・何を」持ち出したかを正確に把握し、紛失防止やコスト削減に貢献します。24時間稼働でメンテナンスも不要なため、**工場のデジタル化（DX）**を推進する効率的なツールとして紹介されています。

施工時に必要な修了証はデータ保存でOK！受講後も復習用動画で施工方法をいつでも再確認！ ※ファイヤーレスジョイント「FJ」の施工には施工講習の受講が必要です※ インターネット環境があれば24時間どこでも受講可能！ 動画で手軽に受講！ 確認テストに合格すれば施工講習修了証がメールで届く！※1 施工講習修了証はPDFやスクリーンショットで保管すればOK！※2 ※1 施工講習修了証は1~5日で送付 ※2 既に発行したカード形式の修了証も変わらず使用可能 ★すでに講習を受講済みの皆様へ★ もう一度、施工方法を確認したい… 講習の内容を忘れてしまった… そんなときに再度ご確認いただける、復習用の施工講習動画を公開しています ■製品詳細 空調冷媒用火無し継手　ファイヤーレスジョイント「FJ」 ナットを差し込むだけの火無し工法！

株式会社フクダは漏れ検出を追求して60年、漏れ検査（リークテスト）の未来型を追求します。 【 各種漏れ試験に対応：エアリークテスト / ガスリークテスト（水素ガス ・ ヘリウムガス） 】 気密性・密封性を検査するための漏れ試験機器を開発・製造・販売しています 検査対象ごとに適切なテスター・装置をご提案いたします 【 対象業界と検査対象例 】 ・自動車業界：エンジン、FC部品、バルブ・配管、各種部品 ・電子部品業界：スマートフォン、キーレススイッチ、各種小型センサ ・医薬品 / 食品 / 化粧品業界：ボトル容器、シリンジ、バイアル、点眼剤容器、ピロー包装、PTP包装 業界別に最適なリークテスターをご提案いたします 【 ISO認証 】JIS Q 9001:2015（ISO 9001:2015）