技術情報「めっき試料の脱ガス評価（C0464）」他、4件を公開

ICP-MSによる高感度分析

Siウエハ上のSiN膜（Si3N4）を溶解した溶液中には、着目している不純物金属元素以外に膜由来のSiマトリックスが含まれています。そのため、溶解した溶液そのものでは精度よく高感度分析ができません。 そこで、Siウエハ上のSiN膜を溶解後、別途処理を施すことでSiマトリックスの影響なくSiN膜中不純物金属元素の分析を可能としました。市販品のSiN膜付きSiウエハを用いてICP-MSによる高感度分析を実施した事例を挙げます。

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ICP-MS：誘導結合プラズマ質量分析法

ICP-MSを用いたSiウエハ表面の金属汚染評価の目的には、Siウエハ自体の汚染評価以外にも、半導体装置内の汚染評価、Siウエハ暴露による作業環境場の評価などもあり、Siウエハ表面の分析は様々な目的で行われます。ICP-MS分析ではSiウエハ表面の金属汚染量を高感度に取得でき、さらに目的に応じて評価領域を指定することも可能です。

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ペプチドのアミノ酸配列をLC/MS/MS分析によって解析します

ペプチドをLC/MS/MSで測定すると特徴的なフラグメントイオンが得られ、ペプチドを構成するアミノ酸の配列を解析することができます。また、ペプチドをLCによって分離して分析するため、複数のペプチドを含む試料や不純物ペプチドを含む試料であっても配列の解析が可能です。 ここでは低分子ペプチドをLC/MS/MSで分析し、アミノ酸配列の推定を行った事例を紹介します。

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Ni/Auめっきの昇温脱離ガス分析（TDS）

めっき膜にガスが含有されている場合、はがれや膨れ、膜中の気泡など不良の原因となる場合があります。めっき膜に含有されているガスについて調査するには、高真空中で試料を昇温させて脱離したガスを測定できるTDSが有効です。 SUS部材上にNi/Auめっきを施した試料について、TDS分析を行った結果を示します。めっき膜からH2、 HCN、 H2S、 HClの脱離が確認できました。また、定量値の算出を行いました。

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TDS：昇温脱離ガス分析法

TDSは高真空中（1E-7 Pa）で試料を昇温させ、脱離したガスを検出する手法です。高真空中で試料を等速昇温するため微量な脱ガス（単原子層レベル）についても温度依存性を確認することができます。また一部の成分については脱離したガスの分子数も算出可能です。 代表的な材料別にTDSを適用した例をご紹介します。

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低圧ヒューズ『BFMN』は、自動車の電気回路を守るために使われる 小型のブレードヒューズです。 電流が異常に増えたときにヒューズが切れることで、機器や配線の故障を防止。 自動車業界や建機業界、低圧ヒューズ(DC70V以下)の回路保護に関する課題を 持っている方にお勧めの低圧ヒューズです。 電装品や快適装備、安全装置、制御系の回路保護に好適です。

日之出水道機器(株)「メカニカルスティッチ工法」は、熱を加えずに金属クラック補修が可能な新工法です。 特殊ボルトと補強プレートを使用しクラックを物理的に除去し、母材に熱影響を一切与えずに補修致します。 火気が使用できない環境でも補修できます。熱を加えないことから設備の分解が最小限に抑えられます。 ◎詳しくはお問合せください。 ◎詳細技術説明が必要な場合はお問合せください。

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ROCKWOOL Japan 合同会社は、角形鋼管柱及び円形鋼管柱（合成）の１時間耐火構造認定（FP060CN-1158）を取得しました。 認定番号：FP060CN-1158 鋼材寸法： □-150x150x9mm以上、円形鋼管　φ191×9mm以上 仕様 ：直貼り 弊社耐火被覆材製品名：Tekkaroll「テッカロール」 鉄骨造建物で火災が起きた際、鉄骨に1時間の耐火性能が備わっていることで、建物内の人々が安全に避難するための時間を確保できます。 ROCKWOOL Japanでは、鉄骨構造物向けの巻き付け耐火被覆材『Tekkaroll（テッカロール）』を製造・販売しており、今後もさらに多くの耐火認定取得を進めてまいります。 【巻き付け耐火被覆材 Tekkaroll(テッカロール)】 Tekkaroll とは、岩石を主な原料とした耐熱性に優れた巻き付け耐火被覆材です。 専用固定ピンを溶接し材料を固定する工法なので施工・管理が簡単にできます。また、カッターで容易にカットできるので施工性が高く吹付耐火被覆材に比べて施工時の岩綿(ストーンウール)の飛散や落ち綿が大幅に軽減できます。

低圧ヒューズ『BFSL』は、自動車の電気回路を守るために使われる 小型の安全部品です。 電流が異常に増えたときにヒューズが切れることで、機器や配線の故障を防止。 自動車業界や建機業界、低圧ヒューズ(DC70V以下)の回路保護に関する課題を 持っている方にお勧めの低圧ヒューズです。 カーナビ、オーディオ、ETC、エアコン、シートヒーターといった 快適装備の回路保護などに使われております。