SEMICON Japan 2017

真の質量流量が測定可能なコリオリ式デジタルマスフローメータ（流量計）及びコントローラ

液体・ガス用精密マスフローメータ（流量計）/コントローラは、先進的なコリオリ式センサー(パテント取得済み）を使用しており運転条件の変化（圧力、温度、密度、熱伝導率、粘度等）に関係なく直接質量を計測するハイパフォーマンスの計器です。調節弁はインテグラルタイプや分離型がご利用いただけます。調節弁はそのモジュール構造において競合他社製とは異なっており、調整作業なしに顧客が現場で交換可能です。標準バルブはノルマルクローズタイプでKv値が1.5までご利用いただけます。又、ノルマルオープンも供給可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

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耐圧防爆タイプ 国内防爆/IECEx / ATEX Zone-1 認証の液体用コリオリ式マスフローメータ、ガスの測定にも対応

『mini CORI-FLOW Ex d』は、危険場所で適用できるよう堅牢設計された液体/ガス用コリオリ式マスフローメータ(質量流量計)です。 コンパクトな質量流量計mini CORI-FLOWシリーズM12-M14を耐圧防爆容器に収めました。mini CORI-FLOWEx dシリーズは100 mg/h～30 kg/hの小流量域をカバーします。機器は最大圧力10.7または13.8 MPa(a)までのライン圧力でご利用頂けます。 【特長】 ■国内防爆型式検定合格 (IIB T6 Gb) ■IECExおよびATEX承認、耐圧防爆 ■流体特性に依存しない直接質量流量測定 ■高精度・優れた繰り返し性 ■マルチレンジ ■標準：アナログ0 ... 5(10) Vdcおよび0(4)... 20 mA出力とデジタル通信 RS232 ■オプション：RS485通信対応 (Modbus, PROFIBUS-DP, DeviceNet, FLOW-BUS) ■本質安全Ex i 4...20 mA電流出力 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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センサー応答が高速のため、高速制御が可能になったマスフローコントローラ

「mini CORI-FLOW(R) マスフローコントローラ（流量計）」は、高安定制御出力、高速応答の特徴を有しています。 センサー応答が高速(50…200msec)のため、高速制御が可能になりました。 従って例えば、分給等へのアプリケーションが期待できます。 【特長】 ○本体直結調節弁 ○高速応答 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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マスフロー制御ポンプ採用！調節弁制御に代わる制御方式の液体分給システム

「mini CORI-FLOW(R) 液体分給システム（ポンプシステム）」はコリオリ式フローメータ、ギアポンプ、フィルター、チェック弁とそれらを結合する配管から構成されています。 電気的、メカニカル的に全て結合され、PIDコントローラの最適化、総合テストを経て供給されます。 ポンプは極小流量から比較的大流量、高圧、ワイド制御レンジ、過激な流体用シリーズが揃っています。 アナログモードでの運転に加えて、デジタルモードでもご使用いただけま す。 【特長】 ○簡単、コンパクト構成；使い易い ○液体ソースの昇圧不要 ○コンパクト完全分給システム ○直接質量計測及び制御 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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【ポンプシステム　事例2】超臨界ガス計測と制御

超臨界付近の流体；炭酸ガス(CO2)やエチレン(C2H4)等の計測は容易ではありません。 例えば炭酸ガスCO2は温度が20℃以上、圧力が約30baraぐらいになりますと臨海域にはいります。 このような条件では、温度、圧力変化の結果として物理特性；密度や比熱が急激に変化します。 従って、これらの流体をサーマル式で計測するのは非常に困難になります。 「Mini CORI-FLOW(R)」は物理的特性に関係なく真のマスフロー計測ですので、これらの問題を一気に解決してくれます。 【適用例】 ○流体がガス状、液状又はそれらの端境であっても、分子そのものの質量を計測 ○この測定原理は高精密で安定測定を提供してくれることをフィールドで認証済み 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他ポンプ
• 流量制御
• その他プロセス制御

【ポンプシステム　事例1】ガス又は液体プリカーサーデリバリー

蒸着プロセスでは色々のプリカーサー流体（ガス、液体を問わず）を正確に制御されなければなりません。 「mini CORI-FLOW(R)シリーズ高精密マスフロー調節計」は、特にこれらディマンディングなアプリケーションに最適です。 “マルチレンジ”機能のおかげで、OEM顧客は何種類もの計器を数多く保有する必要がありません。 この計器はレンジ変更が簡単であり、従ってコストオブオーナシップを提供いたします。 【適用例】 ○mini CORI-FLOW(R)を添加剤分給へ適用 →容易にコンパクトで自律的なシステムを構築することができる ○mini CORI-FLOW(R)をバッチカウンターへ適用 →高精度、高速、高繰返し性、コンパクトなバッチ及び分給システムを提供 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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• 流量制御
• その他プロセス制御

《液体/気体に適応》研究向きな高精度流量計！

極小流量から小流量域で、従来の10分の1のコンパクトサイズ流量計。 コスト効率の良い質量流量計及び調節計を追求した設計。 ●世界最小のコリオリ式流量調節計 ●高精度1：運転条件(圧力、温度、密度、熱伝導度、粘度)が 　変化しても影響されない仕組み。 ●高精度2：読み値±0.2の世界最小の誤差範囲 ●液体及び気体に適用可能 ●ヨーロッパで多数実績あり ・・・その他多くの特徴があります。 ★詳しくはお問い合わせまたはカタログをダウンロードしてご覧下さい。

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精密に制御かつ高再現が実現できる！TiCl4の流量をコントロールできるMFC

『TiCl4用液体MFC』は、TiCl4の流量を精密にコントロールすることが できる装置です。 メタルハードニングなどの工程で使用されるTiCl4は、 これまでサーマル式のMFCがよく使用されてきました。 しかし、流体の密度や比熱など物理的変化に対応できず、 正確に流量を測定・制御・高い再現性をキープなどが難しく、 上手く使用するためには、各ユーザーや装置メーカーごとの ノウハウが必要で、それらが大きな課題でもありました。 本製品をご利用頂ければ、精密に制御かつ高再現が実現できます。 【特長】 ■計測原理がサーマル式ではなくコリオリ式 ■流体の物理変化に影響を受けず「正確な質量」を投入することができる ■メンテナンス性など考慮しコントロールバルブ別置きタイプも選択できる 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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[講　師] 総務省 総合通信基盤局 電気通信事業部 事業政策課 電気通信経済安全保障室 室長 林 大輔 氏 課長補佐 山本 明央 氏 [重点講義内容] 国際海底ケーブルは、我が国の国際通信の約99％を担っており、データ流通量の飛躍的増大、デジタル技術の進展等を背景にその戦略的重要性はかつてない高みに達しています。他方で、その損壊リスクの拡大、市場競争の激化及び安全保障上の脅威の顕在化といった複合的かつ構造的な課題を抱えています。 本講演では、こうした現状や課題に関する認識を共有した上で、我が国の国際海底ケーブルが引き続き安定的かつ持続的にその機能を維持しつつ、一層発展していくための、防護等の在り方についての政策の方向性をご説明いたします。 [講演項目] １．国際海底ケーブルを巡る現状と課題について ２．海底ケーブルの多ルート化・陸揚局の地方分散の促進について ３．海底ケーブル・陸揚局の防護の強化について ４．自律的な供給体制の強化について ５．監督体制の強化について ６．質疑応答／名刺交換

[講演項目] 一．官民投資ロードマップと植物工場市場の展望 株式会社三菱総合研究所 経営・DX事業部門 食農分野担当本部長 久保田 孝英 氏 二．「製造業」視点で捉える人工光型植物工場の事業化戦略について ～環境制御・衛生管理の最適化による高生産性・高品質実現のアプローチ～ 大和ハウス工業株式会社 経営戦略本部 経営企画部 新規事業開発室 未来事業推進グループ 上席主任 大塚 貴雄 氏 三．ＹＵＡＳＡの植物工場ビジネスの取組と展望 株式会社ＹＵＡＳＡ フードテック推進部 課長 相澤 航一 氏 株式会社ＹＵＡＳＡ 新事業開発室 課長補佐 鍋屋 耕平 氏

[講　師] 株式会社日本総合研究所 創発戦略センター インキュベーションプロデューサー 籾山 嵩 氏 [重点講義内容] 資源安全保障や新規市場創出の観点からEV電池のサーキュラーエコノミー形成への期待が高まる中、事業化に向けた議論は「将来予測・計画」から「現場の実装」へと移行し始めています。しかし、国内では中古EVの海外流出や使用済み電池の回収・輸送コストの高騰、電池状態のブラックボックス化による残価設定の難しさなど、既存モデルの限界と多様なボトルネックが見えてきています。 本講演では、これまでの技術実証から市場形成、さらにEV電池の“大量排出前夜”に至る市場構造の変化を振り返り、市場構造の根本的な課題を整理します。その上で、輸送コストを抑え、資源を国内に保持するための「地域モデル確立」の効果や、情報の非対称性を解消してリユース・再資源化・残価担保を劇的に加速させる電池診断技術の可能性と課題について概説します。

[講　師] ベーカー&マッケンジー法律事務所（外国法共同事業） パートナー 弁護士 玉川 雅文 氏 [講演項目] １．系統用蓄電池の基礎 ２．系統接続の最新動向（近時の規律強化対応を含む） ３．事業用地の選定・開発 ４．主要契約の交渉実務 ５．プロジェクトファイナンス ６．質疑応答／名刺交換

[講　師] KPMGコンサルティング株式会社 Cross Innovation部 シニアコンサルタント 松原 孝将 氏 [重点講義内容] ブレインテック（脳・神経科学の産業応用）は、デバイスの小型化とAIによる解析精度の向上を背景に、研究段階から企業の事業検討の対象へと移りつつあります。一方で企業の現場では、技術としての有望性は認識しつつも、自社のどのアセットをどの領域に接続すべきかを見極められず、検討が停滞する例も少なくありません。 本セミナーでは、技術動向の紹介にとどまらず、市場と技術の全体像を俯瞰したうえで、自社の強みを活かせる事業機会を見極め、実証へ踏み出すまでの流れを解説します。国内外の商用化の進展度から、産業ごとの参入余地、参入形態の選択とPoCの組み立て方、実装の前提となるELSI・ガバナンスまでを扱い、どこから着手し得るかをご検討いただく視点を考察します。