SEMICON Japan 2017

真の質量流量が測定可能なコリオリ式デジタルマスフローメータ（流量計）及びコントローラ

液体・ガス用精密マスフローメータ（流量計）/コントローラは、先進的なコリオリ式センサー(パテント取得済み）を使用しており運転条件の変化（圧力、温度、密度、熱伝導率、粘度等）に関係なく直接質量を計測するハイパフォーマンスの計器です。調節弁はインテグラルタイプや分離型がご利用いただけます。調節弁はそのモジュール構造において競合他社製とは異なっており、調整作業なしに顧客が現場で交換可能です。標準バルブはノルマルクローズタイプでKv値が1.5までご利用いただけます。又、ノルマルオープンも供給可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

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耐圧防爆タイプ 国内防爆/IECEx / ATEX Zone-1 認証の液体用コリオリ式マスフローメータ、ガスの測定にも対応

『mini CORI-FLOW Ex d』は、危険場所で適用できるよう堅牢設計された液体/ガス用コリオリ式マスフローメータ(質量流量計)です。 コンパクトな質量流量計mini CORI-FLOWシリーズM12-M14を耐圧防爆容器に収めました。mini CORI-FLOWEx dシリーズは100 mg/h～30 kg/hの小流量域をカバーします。機器は最大圧力10.7または13.8 MPa(a)までのライン圧力でご利用頂けます。 【特長】 ■国内防爆型式検定合格 (IIB T6 Gb) ■IECExおよびATEX承認、耐圧防爆 ■流体特性に依存しない直接質量流量測定 ■高精度・優れた繰り返し性 ■マルチレンジ ■標準：アナログ0 ... 5(10) Vdcおよび0(4)... 20 mA出力とデジタル通信 RS232 ■オプション：RS485通信対応 (Modbus, PROFIBUS-DP, DeviceNet, FLOW-BUS) ■本質安全Ex i 4...20 mA電流出力 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 流量制御
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センサー応答が高速のため、高速制御が可能になったマスフローコントローラ

「mini CORI-FLOW(R) マスフローコントローラ（流量計）」は、高安定制御出力、高速応答の特徴を有しています。 センサー応答が高速(50…200msec)のため、高速制御が可能になりました。 従って例えば、分給等へのアプリケーションが期待できます。 【特長】 ○本体直結調節弁 ○高速応答 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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• 流量制御

マスフロー制御ポンプ採用！調節弁制御に代わる制御方式の液体分給システム

「mini CORI-FLOW(R) 液体分給システム（ポンプシステム）」はコリオリ式フローメータ、ギアポンプ、フィルター、チェック弁とそれらを結合する配管から構成されています。 電気的、メカニカル的に全て結合され、PIDコントローラの最適化、総合テストを経て供給されます。 ポンプは極小流量から比較的大流量、高圧、ワイド制御レンジ、過激な流体用シリーズが揃っています。 アナログモードでの運転に加えて、デジタルモードでもご使用いただけま す。 【特長】 ○簡単、コンパクト構成；使い易い ○液体ソースの昇圧不要 ○コンパクト完全分給システム ○直接質量計測及び制御 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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【ポンプシステム　事例2】超臨界ガス計測と制御

超臨界付近の流体；炭酸ガス(CO2)やエチレン(C2H4)等の計測は容易ではありません。 例えば炭酸ガスCO2は温度が20℃以上、圧力が約30baraぐらいになりますと臨海域にはいります。 このような条件では、温度、圧力変化の結果として物理特性；密度や比熱が急激に変化します。 従って、これらの流体をサーマル式で計測するのは非常に困難になります。 「Mini CORI-FLOW(R)」は物理的特性に関係なく真のマスフロー計測ですので、これらの問題を一気に解決してくれます。 【適用例】 ○流体がガス状、液状又はそれらの端境であっても、分子そのものの質量を計測 ○この測定原理は高精密で安定測定を提供してくれることをフィールドで認証済み 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他ポンプ
• 流量制御
• その他プロセス制御

【ポンプシステム　事例1】ガス又は液体プリカーサーデリバリー

蒸着プロセスでは色々のプリカーサー流体（ガス、液体を問わず）を正確に制御されなければなりません。 「mini CORI-FLOW(R)シリーズ高精密マスフロー調節計」は、特にこれらディマンディングなアプリケーションに最適です。 “マルチレンジ”機能のおかげで、OEM顧客は何種類もの計器を数多く保有する必要がありません。 この計器はレンジ変更が簡単であり、従ってコストオブオーナシップを提供いたします。 【適用例】 ○mini CORI-FLOW(R)を添加剤分給へ適用 →容易にコンパクトで自律的なシステムを構築することができる ○mini CORI-FLOW(R)をバッチカウンターへ適用 →高精度、高速、高繰返し性、コンパクトなバッチ及び分給システムを提供 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他ポンプ
• 流量制御
• その他プロセス制御

《液体/気体に適応》研究向きな高精度流量計！

極小流量から小流量域で、従来の10分の1のコンパクトサイズ流量計。 コスト効率の良い質量流量計及び調節計を追求した設計。 ●世界最小のコリオリ式流量調節計 ●高精度1：運転条件(圧力、温度、密度、熱伝導度、粘度)が 　変化しても影響されない仕組み。 ●高精度2：読み値±0.2の世界最小の誤差範囲 ●液体及び気体に適用可能 ●ヨーロッパで多数実績あり ・・・その他多くの特徴があります。 ★詳しくはお問い合わせまたはカタログをダウンロードしてご覧下さい。

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精密に制御かつ高再現が実現できる！TiCl4の流量をコントロールできるMFC

『TiCl4用液体MFC』は、TiCl4の流量を精密にコントロールすることが できる装置です。 メタルハードニングなどの工程で使用されるTiCl4は、 これまでサーマル式のMFCがよく使用されてきました。 しかし、流体の密度や比熱など物理的変化に対応できず、 正確に流量を測定・制御・高い再現性をキープなどが難しく、 上手く使用するためには、各ユーザーや装置メーカーごとの ノウハウが必要で、それらが大きな課題でもありました。 本製品をご利用頂ければ、精密に制御かつ高再現が実現できます。 【特長】 ■計測原理がサーマル式ではなくコリオリ式 ■流体の物理変化に影響を受けず「正確な質量」を投入することができる ■メンテナンス性など考慮しコントロールバルブ別置きタイプも選択できる 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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[講　師] 一般社団法人日本メタル経済研究所 特任アナリスト 志田 富雄 氏 [重点講義内容] レアアース（希土類）などのレアメタル（希少金属）から銅まで金属の重要性が増している。AI（人工知能）の普及を支えるデータセンターの建設ラッシュや再生可能エネルギー、EVの普及で需要が拡大する一方、資源ナショナリズムや環境問題で供給不安が高まっているからだ。 中東情勢の混乱をはじめとする地政学リスク、世界の分断も安定調達を困難にする。金属精錬の分野でも存在感を増した中国は輸出規制だけでなく、安値輸出で日米欧のサプラーチェーンを揺さぶる。米国は昨年改定した重要鉱物リストに銅など10種の金属を加えた。 日本企業はどう動くべきか。 [講演項目] １．時代で変化する「重要鉱物」 ２．AIもEVも未来の技術は金属頼み ３．鉱山開発で増す課題とコスト ４．中東情勢の緊迫など国際情勢の変化はどう影響？ ５．中国の揺さぶりは輸出規制だけではない 　～サプライチェーン構築への課題 ６．日本企業に「コスト増」を受け入れる覚悟はあるか ７．質疑応答／名刺交換

[講演項目] 一．日本の自動車・電池業界の現状と、今なぜ中国の最新動向（AI・SDV）を見るべきかの課題提起 沖為工作室合同会社 Founder&CEO 沖本 真也 氏 二．北京モーターショー視察報告と中国の最新自動車・技術動向解説 KAIST技術経営専門大学院 兼 職教授 朴 正圭 氏 三．パネルディスカッション 沖為工作室合同会社 Founder&CEO 沖本 真也 氏 KAIST技術経営専門大学院 兼 職教授 朴 正圭 氏

[講　師] 株式会社ビットメディア　代表取締役社長 株式会社MESH-X　代表取締役 高野　雅晴（たかの　まさはる）　氏 [重点講義内容] 生成AIの普及によりデータセンター（DC）の電力需要が急増し、電力（ワット）と通信（ビット）を一体的に整備する「ワット・ビット連携」が国家戦略として動き出している。 本講演では国内政策の最新動向を整理したうえで、電力系統の空き容量を最大活用する「ワークロードシフト」、分散拠点を仮想的に束ねる「バーチャル・ハイパースケーラー」、DCの次世代廃熱技術の新潮流、IOWN／APN等の次世代通信基盤といった鍵となる技術を解説する。 あわせて、米国フェニックスでのAIデータセンター電力柔軟化実証など海外事例を交え、AI時代の電力コスト急騰に企業がどう備えるべきか、デジタル・インフラの実装の方向性を示す。

イベント名：メッセナゴヤ2026 開催期間：2026年11月11日～2026年11月13日 場所：ポートメッセナゴヤ 大きなイベントには初出展です。 精一杯頑張りますのでご来場の際には弊社ブースもお立ち寄りください。

危険物施設におけるスマート保安、DX化推進の第一歩として欠かせない「危険区域の精緻なリスク評価」について解説。 新旧の評価方法の比較や最近の活用事例を交えながら、評価方法や実施上の留意点などを分かりやすくお伝えします。 皆さまのご参加をお待ちしております。