SEMICON Japan 2017

真の質量流量が測定可能なコリオリ式デジタルマスフローメータ（流量計）及びコントローラ

液体・ガス用精密マスフローメータ（流量計）/コントローラは、先進的なコリオリ式センサー(パテント取得済み）を使用しており運転条件の変化（圧力、温度、密度、熱伝導率、粘度等）に関係なく直接質量を計測するハイパフォーマンスの計器です。調節弁はインテグラルタイプや分離型がご利用いただけます。調節弁はそのモジュール構造において競合他社製とは異なっており、調整作業なしに顧客が現場で交換可能です。標準バルブはノルマルクローズタイプでKv値が1.5までご利用いただけます。又、ノルマルオープンも供給可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

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耐圧防爆タイプ 国内防爆/IECEx / ATEX Zone-1 認証の液体用コリオリ式マスフローメータ、ガスの測定にも対応

『mini CORI-FLOW Ex d』は、危険場所で適用できるよう堅牢設計された液体/ガス用コリオリ式マスフローメータ(質量流量計)です。 コンパクトな質量流量計mini CORI-FLOWシリーズM12-M14を耐圧防爆容器に収めました。mini CORI-FLOWEx dシリーズは100 mg/h～30 kg/hの小流量域をカバーします。機器は最大圧力10.7または13.8 MPa(a)までのライン圧力でご利用頂けます。 【特長】 ■国内防爆型式検定合格 (IIB T6 Gb) ■IECExおよびATEX承認、耐圧防爆 ■流体特性に依存しない直接質量流量測定 ■高精度・優れた繰り返し性 ■マルチレンジ ■標準：アナログ0 ... 5(10) Vdcおよび0(4)... 20 mA出力とデジタル通信 RS232 ■オプション：RS485通信対応 (Modbus, PROFIBUS-DP, DeviceNet, FLOW-BUS) ■本質安全Ex i 4...20 mA電流出力 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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センサー応答が高速のため、高速制御が可能になったマスフローコントローラ

「mini CORI-FLOW(R) マスフローコントローラ（流量計）」は、高安定制御出力、高速応答の特徴を有しています。 センサー応答が高速(50…200msec)のため、高速制御が可能になりました。 従って例えば、分給等へのアプリケーションが期待できます。 【特長】 ○本体直結調節弁 ○高速応答 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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マスフロー制御ポンプ採用！調節弁制御に代わる制御方式の液体分給システム

「mini CORI-FLOW(R) 液体分給システム（ポンプシステム）」はコリオリ式フローメータ、ギアポンプ、フィルター、チェック弁とそれらを結合する配管から構成されています。 電気的、メカニカル的に全て結合され、PIDコントローラの最適化、総合テストを経て供給されます。 ポンプは極小流量から比較的大流量、高圧、ワイド制御レンジ、過激な流体用シリーズが揃っています。 アナログモードでの運転に加えて、デジタルモードでもご使用いただけま す。 【特長】 ○簡単、コンパクト構成；使い易い ○液体ソースの昇圧不要 ○コンパクト完全分給システム ○直接質量計測及び制御 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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【ポンプシステム　事例2】超臨界ガス計測と制御

超臨界付近の流体；炭酸ガス(CO2)やエチレン(C2H4)等の計測は容易ではありません。 例えば炭酸ガスCO2は温度が20℃以上、圧力が約30baraぐらいになりますと臨海域にはいります。 このような条件では、温度、圧力変化の結果として物理特性；密度や比熱が急激に変化します。 従って、これらの流体をサーマル式で計測するのは非常に困難になります。 「Mini CORI-FLOW(R)」は物理的特性に関係なく真のマスフロー計測ですので、これらの問題を一気に解決してくれます。 【適用例】 ○流体がガス状、液状又はそれらの端境であっても、分子そのものの質量を計測 ○この測定原理は高精密で安定測定を提供してくれることをフィールドで認証済み 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他ポンプ
• 流量制御
• その他プロセス制御

【ポンプシステム　事例1】ガス又は液体プリカーサーデリバリー

蒸着プロセスでは色々のプリカーサー流体（ガス、液体を問わず）を正確に制御されなければなりません。 「mini CORI-FLOW(R)シリーズ高精密マスフロー調節計」は、特にこれらディマンディングなアプリケーションに最適です。 “マルチレンジ”機能のおかげで、OEM顧客は何種類もの計器を数多く保有する必要がありません。 この計器はレンジ変更が簡単であり、従ってコストオブオーナシップを提供いたします。 【適用例】 ○mini CORI-FLOW(R)を添加剤分給へ適用 →容易にコンパクトで自律的なシステムを構築することができる ○mini CORI-FLOW(R)をバッチカウンターへ適用 →高精度、高速、高繰返し性、コンパクトなバッチ及び分給システムを提供 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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• 流量制御
• その他プロセス制御

《液体/気体に適応》研究向きな高精度流量計！

極小流量から小流量域で、従来の10分の1のコンパクトサイズ流量計。 コスト効率の良い質量流量計及び調節計を追求した設計。 ●世界最小のコリオリ式流量調節計 ●高精度1：運転条件(圧力、温度、密度、熱伝導度、粘度)が 　変化しても影響されない仕組み。 ●高精度2：読み値±0.2の世界最小の誤差範囲 ●液体及び気体に適用可能 ●ヨーロッパで多数実績あり ・・・その他多くの特徴があります。 ★詳しくはお問い合わせまたはカタログをダウンロードしてご覧下さい。

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精密に制御かつ高再現が実現できる！TiCl4の流量をコントロールできるMFC

『TiCl4用液体MFC』は、TiCl4の流量を精密にコントロールすることが できる装置です。 メタルハードニングなどの工程で使用されるTiCl4は、 これまでサーマル式のMFCがよく使用されてきました。 しかし、流体の密度や比熱など物理的変化に対応できず、 正確に流量を測定・制御・高い再現性をキープなどが難しく、 上手く使用するためには、各ユーザーや装置メーカーごとの ノウハウが必要で、それらが大きな課題でもありました。 本製品をご利用頂ければ、精密に制御かつ高再現が実現できます。 【特長】 ■計測原理がサーマル式ではなくコリオリ式 ■流体の物理変化に影響を受けず「正確な質量」を投入することができる ■メンテナンス性など考慮しコントロールバルブ別置きタイプも選択できる 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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[講　師] 東京大学 次世代知能科学研究センター センター長／ 大学院情報理工学系研究科 教授 ムーンショット型研究開発事業 目標3プログラムディレクター 國吉 康夫 氏 [重点講義内容] 少子高齢化や労働力不足が進む中、我が国には人と協働しながら多様な現場を支える新たな知能システムが求められている。ムーンショット目標3では、「2050年までに、AIとロボットの共進化により、自ら学習・行動し人と共生するロボットを実現」を目指し、2026年度から新たなプロジェクトが始動した。 本講演では、プロジェクトの全体像を紹介するとともに、社会課題と人型AIロボットへの期待、未知の環境に適応しながら学び成長するヒューマノイドの実現構想について、「認知発達」「身体性」といった人型AIロボットの重要技術領域にも触れながら、述べる。 [講演項目] １．社会課題と人型AIロボットへの期待 ２．目指すべき研究開発の方向性 ３．鍵となる研究開発項目 ４．ムーンショット目標3概要 ５．主な研究内容紹介 ６．質疑応答／名刺交換

[講　師] EY新日本有限責任監査法人 CCaSS事業部 シニアマネージャー 井出 陽一郎 氏 [重点講義内容] EUでは、サーキュラーエコノミー（CE）への移行を加速するため、欧州電池規則（EUBR）、包装・包装廃棄物規則（PPWR）、デジタル製品パスポート（DPP）をはじめとする制度整備が急速に進んでいます。これらは単なる環境規制ではなく、市場ルールを再設計し、新たな需要や競争環境を創出する政策パッケージとして位置付けられています。 本講演では、EUサーキュラーエコノミー政策が描く市場構造を読み解くとともに、EUBR、PPWR、DPPの最新動向と実務対応のポイントを解説します。さらに、日本企業に求められる対応や戦略策定の視点についても紹介します。 [講演項目] １．EUサーキュラーエコノミー政策が描く市場構造 ２．欧州電池規則（EUBR）の実務対応 ３．包装・包装廃棄物規則（PPWR）の実務対応 ４．デジタル製品パスポート（DPP）最新動向と実務対応のヒント ５．サーキュラートランジションに向けた戦略策定の視点 ６．質疑応答／名刺交換

[講　師] 斉藤社会保険労務士事務所 特定社会保険労務士 斉藤 貴久 氏 [重点講義内容] 労働基準監督署の立入調査は、ある日突然やってきます。法人に拒否する権限はありません。それが、臨検です。臨検で法違反が明確になれば、是正勧告を受けることになります。そうなる前に、またはそうなった後に、どのように対応するべきか事前に知っておくべきでしょう。また、働き方改革が進行し労働基準監督署の臨検に影響を及ぼしています。一時、コロナ禍で減少した臨検の件数も増加傾向です。 本セミナーでは、改正労働基準法等の施行を踏まえ臨検の概要から是正勧告等に対する報告書の作成まで、想定される情報を共有しながら、わかりやすく解説いたします。なお、会場受講では、質疑など相互に確認しながら有意義な情報交換が可能です。 [講演項目] １．労働基準監督署と労働基準監督官 ２．臨検の概要 ３．臨検に対する準備（監督官がくる前に） ４．臨検当日の対応から報告まで ５．臨検に際して検討すべき課題 ６．最近の動向 ７．質疑応答／名刺交換

当社は「最新！国際規格にもとづく防爆安全設計と防爆エンジニアリング ～IEC 60079シリーズに準拠した安全設計から 設備エンジニアリング、保守・点検まで～」のオンラインセミナーを開催します。 本講座では防爆電気機器の開発および防爆設備のコンサルテーションを手がける実務者が、 IEC60079シリーズにもとづく防爆電気機器の安全設計から防爆設備のエンジニアリングまで、 実務に役立てられるようやさしく解説します。具体的には、防爆の国際規格と各国の動向、 爆発の防止と防爆エンジニアリングの実際、防爆電気機器の設備への適用などを詳しく紹介します。 防爆電気設備、防爆電気機器に関わる設計者やエンジニアなど幅広い方の参加をお奨めします。 皆様のご参加を心よりお待ちしております。

当社は「3DCAD/CAEを活用した構想設計の進め方と設計手戻り防止手法 ～力学的に成立する構想設計と3D活用による設計品質向上の実務～」の オンラインセミナーを開催します。 本講座では、実務課題を踏まえ、構想設計において最も重要となる 「力学的に成立する設計とは何か」を起点に、3DCAD/CAEを用いて設計初期段階で 何を確認すべきかを具体的に整理します。単なるモデリングではなく、 荷重・剛性・構造成立性といった観点から設計を“成立させる”ための考え方を解説します。 皆様のご参加を心よりお待ちしております。