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2019/01/16

【技術情報】CMP研磨パッドの溝加工

ニッタ・デュポン株式会社 ニッタ・デュポン株式会社
CMPパッドの選定にあたり、構成要素のひとつである溝加工について説明いたします。 一般的に、CMPパッドの表面にはメーカー側で溝加工をして出荷される場合が多いです。 CMPパッドの表面に溝加工を施すことにより、以下の効果が期待されます。 1. 研磨スラリーの保持性、流動性の向上 2. ウェーハ面内均一性向上、研磨レートの向上 3. ウェーハの研磨パッド表面への吸着防止 4. 加工屑・反応生成物の排出 溝加工の主な仕様としては、XY直線溝、パーフォレーション溝(貫通穴)、同心円溝、などが一般的で、一部の製品ではこれらを組み合わせる事も可能です。 XY直線溝は、溝幅や溝ピッチなど様々な仕様を準備しております。 研磨装置や各プロセスなどお客様の条件にあわせて、最適な溝仕様を選定させて頂きますので、遠慮なくご相談ください。
溝加工のパターン例
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CMPパッド製品群と溝仕様の対比表
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土木現場では、雨天時や泥の付着により、敷板上の滑りやすさが安全管理の課題になることがあります。特に敷鉄板は、濡れた状態で金属面が滑りやすく感じられる場面もあり、歩行者通路や重機の乗降部では注意が必要です。 ハイパーCLT敷板は、木材CLTを活用した土木CLT資材です。木の敷板として、仮設道路、搬入路、資材置場、作業動線などに使用でき、敷鉄板より滑りにくい使用感を提案しやすい点が特徴です。滑り係数などの比較資料とあわせて説明することで、現場の安全対策や創意工夫の材料にもなります。 5×10版は約230kg、5×20版は約460kgと軽量で、小型重機でも扱いやすく、搬入・設置・撤去の負担軽減にも貢献します。木材ならではの照り返し抑制、騒音低減、環境配慮も期待できます。国土交通省NETIS登録技術「TH-250021-A」として、敷板の見直しや土木現場の安全性向上を検討する企業様におすすめです。現場条件に合わせた導入相談や資料請求も承ります。公共工事や民間工事での敷鉄板代替として、ぜひご検討ください。安全性と施工性を両立したい現場にも適した新しい選択肢です。まずはお気軽にご相談ください。

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センサーの製造・販売を行っているホトロンは、病院・看護・介護施設向けに離床センサーを提供しています。 ホトロンでは離床センサーをワイヤレスで使用する方法や、機器の接続設定を動画でわかりやすくご案内しています! ▼動画マニュアル(youtube) https://www.youtube.com/playlist?list=PLNVA4mTrZDqtJa6MfFRZQxwtfCSnAfxVy 【離床センサー】 ○非接触型赤外線センサー 置くだけポール君 HB-H1 ○マットセンサー たためる薄型マッ太君 HB-UST ○体動コール うーご君 HB-TV3 ○車椅子用体動コール あゆみちゃん HB-WTV3 【オプション】 ○ナースコール連動型ワイヤレスセット ワイヤレスセット(送/受信機) HB-RS/HB-RJ ◎製品について詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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