マクミラン　薬液流量コントローラ　Ｕ８０２のカタログを新規登録しました

Ｕ８０３／Ｕ８０４シリーズは低粘度の液体用微小流量コントローラです。最小レンジは７?５０ｍＬ／ｍｉｎから用意されています。

Ｕ８０３／Ｕ８０４シリーズは低粘度の液体用微小流量コントローラです。最小レンジは７?５０ｍＬ／ｍｉｎから最大レンジは１００?１０００ｍＬ／ｍｉｎまで５種類用意されています。ベルトン型のマイクロタービンホイール（特許）と比例制御バルブの組み合わせにより優れた再現性と長期にわたり正確な流量コントロールが可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっておりパーティクル発生がありません。継手接続はフレアー継手を採用リークの心配がありません。 電気ケーブル長、電源や出力をいくつかのオプションから選択できるので、各種用途に利用しやすくなっています。

• ウエハ加工/研磨装置
• その他半導体製造装置
• 加工受託

薬液流量センサＵ７０１／７０２／７０５／７０６シリーズ低粘度の液体を１５ｍＬ／ｍｉｎの低流量から?５０Ｌ／ｍｉｎのまで測定

この製品シリーズは低粘度の液体を１５ｍＬ／ｍｉｎの低流量から?５０Ｌ／ｍｉｎの大きな流量まで測定できるセンサです。ベルトン型のマイクロタービンホイール（特許）を採用し優れた再現性で長期にわたる正確な計測が可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっておりパーティクル発生がありません。接続はフレアー継手を採用し流体がネジ部に入り込まないよう考慮されています。Ｕ７０５／７０６についてはオプションでＳｕｐｅｒ３００シリーズ（日本ピラー適合）に変更することも可能です。電気ケーブル長、電源や出力をいくつかのオプションから選択できるので、各種用途に利用しやすくなっています。

• ウエハ加工/研磨装置
• 流量制御
• センサ

薬液流量センサＵ７０７／７０８シリーズは低粘度の液体を7ｍＬ／ｍｉｎの小さな流量から１０Ｌ／ｍｉｎの大きな流量まで用意しています

Ｕ７０７／７０８シリーズは低粘度の液体を7ｍＬ／ｍｉｎの小さな流量から?１０Ｌ／ｍｉｎの大きな流量まで測定できるセンサです。ベルトン型のマイクロタービンホイール（特許）を採用し優れた再現性で長期にわたる正確な計測が可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっておりパーティクル発生がありません。接続はフレアー継手を採用し流体がネジ部に入り込まないよう考慮されています。電気ケーブル長、電源や出力をいくつかのオプションから選択できるので、各種用途に利用しやすくなっています。

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モデルＵ７０９は腐食性の液体を７ｍＬ／ｍｉｎの低流量から１０００ｍＬ／ｍｉｎまでの、間欠運転、連続運転を精度良く計測出来ます。

モデルＵ７０９シリーズは、腐食性の液体を７ｍＬ／ｍｉｎの低流量から?１０００ｍＬ／ｍｉｎの流量まで５種類の測定レンジによりにカバーする流量センサです。 間欠運転または、連続運転の液体を精度良く測定できる流量センサです。ポンプ吐出時間５００ｍｓｅｃ、吐出量１ｍＬからの液体を検出できます。 接液部の材質はテフロン、カルレッツ、サファイアで構成されています。センサ部は、ペルトン型のマイクロタービンホイール（特許）を採用することにより、ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっています。パーティクル発生がなく、優れた再現性を実現し、腐食性のある化学薬品や溶剤の長期に渡る正確な計測が可能となります。圧力接続はフレアータイプの継手を採用し簡単に接続でき、流体がネジ部に入り込まないよう考慮されています。電気接続には１．８ｍのケーブルが付属しています。電源や出力はいくつかのオプションから選択できるので、各種の使用用途に合わせて利用できます。

• その他半導体製造装置
• センサ

０～２０　ｓｃｃｍ/ｍｉｎの微小から０～５００ｓｌｍ/ｍｉｎの大流量レンジまで１４レンジ用意。計測精度は±１．５％ＦＳです。

マクミラン社のマスフローメータ５０シリーズは、クリーンでドライな気体を０～２０ｓｃｃｍ/ｍｉｎのような小さい流量から０～５００ｓＬｍ/ｍｉｎのような大きな流量まで、計測精度±１．５％ＦＳで１４種類の計測レンジでカバーしています。流量検知センサは、サーマルマスフローセンサ（特許）を採用する事により最小のゼロドリフトを実現し、長期に渡る優れた安定性、再現性、高速応答性を実現しています。全てのモデルはＮＩＳＴにトレーサビリティが確保されています。使用用途により本体材質、継手、電機接続、電源電圧、など選択する事が可能となており、様々な用途に対応する事が可能です。さらにモデル５０Ｄ／５０ＳＤは流量に応じたリニアなＤＣ　０～５Ｖ出力そして３－１／２桁で瞬時流量を計測表示します。

• センサ
• その他半導体製造装置
• 分析機器・装置

１５ｍＬ～１０Ｌ/ｍｉｎまで精度良く計測出来る流量センサです。 ＰＴＦＥ製で耐薬液に優れパーティクルの発生がありません。

モデル１０６は低粘度の液体を１５ｍＬ／ｍｉｎの低流量から１０Ｌ／ｍｉｎの大きな流量まで測定できるセンサです。 ベルトン型のマイクロタービンホイール（特許）を採用し優れた再現性で長期にわたる正確な計測が可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっておりパーティクル発生がありません。 標準の接続はＰＦＡタイプのチューブ継手を採用しています。センサ電源、出力タイプ、継手のサイズ、ケーブルの長さは各種の用途に合わせて選択できます。オプションでフレアー継手も用意できます。

• その他半導体製造装置
• 飲料製造装置
• 分析機器・装置

モデル１０６Ｆは低粘度の液体を１５ｍＬ／ｍｉｎの低流量から?５０Ｌ／ｍｉｎの大きな流量まで測定できるセンサです。

モデル１０６Ｆは低粘度の液体を１５ｍＬ／ｍｉｎの低流量から?５０Ｌ／ｍｉｎの大きな流量まで測定できるセンサです。ベルトン型のマイクロタービンホイール（特許）を採用し優れた再現性で長期にわたる正確な計測が可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっておりパーティクル発生がありません。接続はフレアー継手を採用し流体がネジ部に入り込まないよう考慮されています。電気接続は１．８ｍのケーブルが付属し電源や出力は用途により選択できます。

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