【ご来訪御礼】SEMICON(R) Japan Virtual スウェージロック社

さらなる領域へ、ALDバルブ技術のブレイクスルー

Swagelok 原子層蒸着(ALD)用バルブは、高速開閉と再現性に高い作動機能を有し、非常に優れたサイクル・ライフを実現します。さらなる微細化・高度化へのニーズに対応すべく、大流量・高温用途向けの「ALD 20」を製品ラインアップに追加しました。ALD（原子層蒸着）用途での性能を最適にするため、 アクチュエーターやインジケーター、ソレノイドなど各種オプションも取り揃えています。 【特長】 非常に優れたサイクル・ライフを実現 高速の開閉機能 （オープン／クローズに要する時間は5ミリ秒未満） 高温下でも安定した流量と再現性を実現 膨潤とコンタミネーションへの耐性を高め、シール性能の優れたシート 流路から障害物を一掃し、たまり部分を最小限に抑えるボディ・デザイン ＜3つの課題に 超高純度用 ALD20バルブ＞ 1. 大流量：既存ALDバルブのほぼ3倍にあたる最大1.7Cvの流量係数を実現（当社比） 2. 高温：アクチュエーター部分を含め、バルブ全体をガス・ボックスに入れて使用することが可能 3. 高性能：耐食性に優れているため、腐食性の高い流体も使用可能

• バルブ

スラリーや酸に対する性能が向上したフルオロポリマー製ダイヤフラム・バルブ

DRPシリーズは、独自の半球形のバルブ流路デザインとダイヤフラム形状により、バルブ内部における流体の 溜り部分を削減させ、接液・接ガス表面を素早く洗浄することができます。特に、スラリーを使用する CMPプロセスにおいては、スラリーの突発的な変化の可能性を低減させるために、流体のせん断の発生を最小限に 抑えています。次世代PTFE製ダイヤフラムは、その独自の形状で、作動時の応力を最小化し、耐久性、シールの 完全性、長いサイクル・ライフを促進します。また、ダイヤフラムの厚さを最大限に確保して、酸が透過する可能性を最小に低減しています。同製品は、高い耐化学薬品性と純度を実現するために、接液・接ガス部に、次世代フッ素樹脂、デュポン(R)テフロン(R)を採用しております。さらに、「超純水および液体化学薬品配分システム内に使用するポリマー製部品の暫定仕様」SEMI(R)F57-0301の要件に適合しています。

• バルブ

優れた断熱性と柔軟性を兼ね備えたホースで課題解決。多様なラインナップであらゆる設備や装置に対応

半導体デバイス製造の世界では、特に精度と清浄度が優先されます。 スウェージロックのホース製品は、低温流体の移送、高圧・高温環境や真空環境での使用など、幅広いニーズに対応する製品ラインアップで、長期的な使用を実現します。 【特長】 ■優れた耐久性 ■柔軟性に優れ、レイアウトの自由度が高い ■薄く、断熱性に優れた断熱材を採用しているため、従来の半分の口径 ■高い断熱性を保持するため、CO2削減や省エネ対策に貢献 ■必要な長さによる納入が可能で、取り付け作業コストや在庫コストを削減 ■色分け可能なポリオレフィン製カバーにより、目視でのライン識別が可能

• ホース

付加価値の高い流体システムを構築！高い技術力と専門知識で、お客さまのビジネス・ニーズを満たします。

配管ユニット製作サービス「カスタム・ソリューションズ」は、流体システムにおいて実績を持つスウェージロックが、 取り扱い製品にお客様のご要望に沿った組立/加工を施して提供するサービスです。 配管の曲げ加工や溶接などの基本的な作業はもちろん、必要に応じて他社の製品を調達し、組み込むことも可能です。 【特長】 ■一貫した品質および信頼性 ■迅速かつ有効なサービス ■高い技術力およびアプリケーションに関する専門知識 ■付加価値の高いアセンブリー ■優れたプロセスおよび手順 ■すべての製品およびサービスに付帯する保証 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 管継手

気密性・密封性を検査するための漏れ試験機器を開発・製造・販売している株式会社フクダが、 気密検査の方法や理論を分かり易く解説した技術資料である、 『テクニカルマニュアル（Technical Manual）』 をＰＤＦデータとしてご提供させていただいております。 ぜひこの機会にダウンロードしてご覧ください！

●電空レギュレータ（電空レギュレーター）とは？ 制御再現性が±0.1％の能力を備えた自社開発の電空レギュレータです。 小流量から、大流量まで幅広いラインアップをそろえています。 ●レギュレータ（レギュレーター）とは？ リークテストで使用するテスト圧力の調整にご利用ください。 安定したテスト圧力を供給することで、より高精度な測定が可能になります。

株式会社フクダは漏れ検出を追求して60年、漏れ検査（リークテスト）の未来型を追求します。 【 各種漏れ試験に対応：エアリークテスト / ガスリークテスト（水素ガス ・ ヘリウムガス） 】 気密性・密封性を検査するための漏れ試験機器を開発・製造・販売しています 検査対象ごとに適切なテスター・装置をご提案いたします 【 対象業界と検査対象例 】 ・自動車業界：エンジン、FC部品、バルブ・配管、各種部品 ・電子部品業界：スマートフォン、キーレススイッチ、各種小型センサ ・医薬品 / 食品 / 化粧品業界：ボトル容器、シリンジ、バイアル、点眼剤容器、ピロー包装、PTP包装 業界別に最適なリークテスターをご提案いたします 【 ISO認証 】JIS Q 9001:2015（ISO 9001:2015）

来週7月1日（水）より、東京ビッグサイトで開催される「機械要素技術展」に出展いたします。 今回は、多くのお客様からご相談いただく「付着」「摩耗」「腐食」などの現場課題に焦点を当て、その解決に貢献する各種コーティングソリューションを実物サンプルとともに展示します。実際の皮膜に触れながら、滑り性や非粘着性、耐久性などの特長を会場で直接ご確認いただけます。 ■注目の出展技術・製品 ・Thermo Pro Release 　高温耐久ふっ素樹脂コーティング（熱溶着・熱カシメ工程向け） ・NonStick STC 　薄膜・非粘着コーティング（精密金型・工業用刃物向け） ・PEEKCOAT 　高い耐摩耗性と耐薬品性を誇るPEEKコーティング ■展示会概要 【展示会名】ものづくりワールド2026 機械要素技術展 【会期】2026年 7月 1日（水）～ 7月 3日（金） 【会場】東京ビッグサイト 【ブース番号】E6-47（東1ホール） 皆様のご来場、こころよりお待ち申し上げます。

土木現場で使用する仮設敷板は、性能だけでなく、運搬効率や運搬費も重要な選定ポイントです。木製CLTを活用した「ハイパーCLT敷板」は、5×10版約230kg、5×20版約460kgと軽量で、敷鉄板に比べて搬入・搬出時の負担を抑えやすい敷板です。積み込み・荷下ろし、現場内での移動、設置・撤去作業の効率化により、トラック手配や重機作業の省力化にもつながります。 狭い現場や搬入条件が限られる土木工事でも扱いやすく、仮設道路、重機足場、搬入路、歩行動線など幅広い用途で活用できます。軽量なため小型重機でも扱いやすく、作業員の負担軽減や工程短縮にも貢献します。さらに、木材ならではの照り返し抑制、騒音低減、環境配慮の面でも提案しやすい資材です。 ハイパーCLT敷板は、国土交通省NETIS登録技術「TH-250021-A」。敷鉄板代替として、運搬費削減、施工性向上、創意工夫、安全対策を同時に提案できる新しい土木資材です。公共工事やゼネコン現場での差別化、現場評価向上の提案にもご活用ください。運搬費が課題となる遠方現場にもおすすめです。