半導体関連の装置部品加工を主とし、最大加工精度1μを保証します
株式会社三栄精機工業
お客様がお求めになる精度を保証する為、三次元測定機を複数設備しています。
中でも、LEGEX9106はミツトヨ製の最高クラスの高精度三次元測定機で、高精度の要望にお応えするべく導入しました。
地下振動を最大限抑える為、アクティブダンパーを利用した免震構造用い、振動影響を無くし1μmを保証しています。
また、±0.5℃以内の恒温室に設置することで製品の温度管理を行い、熱膨張による測定のバラつきを最小限に抑えております。
大手半導体製造装置メーカー様と長年お取引きをさせていただく中で、工程検査から出荷検査に至るまで厳しい管理を行い、更なる品質向上を目指しお客様にご満足いただける製品のご提供に努めています。
加工設備
横型MC：a81nx【900×900×1020mm】1台
A77【800×750×770mm】2台
立形MC：V77【1200×700×650mm】1台
V77L【1500×700×660mm】1台
NVX7000E【1540×760×660mm】1台
5軸MC：D800Z【1200×1100×650mm】1台
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