【半導体・電子・電気業界向けの資料「高性能チラーアプリケーションガイド」公開中】
株式会社アピステ
【高性能チラー「PCU-SLシリーズ」の特長を活かした、半導体・電子・電気業界向けのアプリケーションガイドを公開しました】
本資料では、当社の高性能チラー「PCU-SLシリーズ」を使用した
半導体・電子・電機業界向けのアプリケーションをご紹介しております。
真空蒸着装置やスパッタリング・エッチング装置、レーザー発振器の冷却などのアプリケーションにおける、
従来のさまざまな問題を高性能チラー「PCU-SLシリーズ」で解決いたします!
イラストも交えて分かりやすくご紹介しておりますので
ご興味のある方は、下記の関連カタログよりPDFをダウンロード、もしくはお気軽にお問合せ下さい。
【掲載内容】
■真空蒸着装置の冷却
■スパッタリング・エッチング装置の冷却
■半導体デバイスのエージング試験装置の温度条件
■レーザー発振器の冷却
■薬液タンクの温調
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