【モジュール構造真空装置】多目的真空蒸着装置HEXシリーズ【高拡張性&高メンテナンス性】

ブロックを組み立てるように自由自在に構成を変更可能な多目的真空蒸着装置｜スパッタリング・抵抗加熱蒸着・電子ビーム蒸着・有機蒸着

HEXシステムは、ユニークな『モジュール構造』が採用されています。 六角柱の形状のチャンバーの、各面を構成するパネルを交換することで 自由自在にポートの数や配置を変更することができます。 そのため、研究の方向性の変化に応じて、まるでブロックを 組み立てるような要領で、自分自身で簡単に構成変更や機能拡張を 行うことができます。 HEXシステムは、ベンチトップシステムとUHVシステムの間を補う、 コンパクトで拡張性の高い、新しいコンセプトの真空蒸着装置です。 ◆『モジュール構造』により自由自在にシステム構成を変更可能 ◆スパッタ、抵抗加熱蒸着、電子ビーム蒸着、有機蒸着に対応 ◆複数ソースによる同時成膜に対応 ◆サンプル回転、加熱、水冷に対応 ◆膜厚計を搭載可能 ◆設置面積60cm x 60cmのコンパクト設計 ◆優れた拡張性およびメンテナンス性 ◆グローブボックス対応（リチウムイオン電池など） 詳しくは＜PDFダウンロード＞よりカタログをご覧ください。 ご不明な点がございましたら、お気軽にお問い合わせください。

• スパッタリング装置

多目的真空蒸着装置HEXシステム用RF&DCスパッタリングソース

多目的真空蒸着装置HEX／HEX-L用のスパッタリングソースです。 ターゲットが導体の場合はDCモードで、絶縁体の場合はRFモードで使用することができます。ガスフードが標準装備されているため、ターゲット表面近傍での圧力を高め、成膜中のチャンバー圧力を低く抑えることが可能です。 冷却水配管およびガス配管の接続には、クイックリリースコネクターが採用されています。そのため、工具を使用することなく、簡単に配管の取り付け／取り外しを行うことができます。Fissionソースは、蝶ナット4個でチャンバーに固定することができることから、取り付け／取り外しの際に工具を必要としません。 反応性スパッタにも対応するので、酸化物や窒化物の成膜も可能です。 HEXでは最大3台、HEX-Lでは最大6台の成膜ソースを取り付けることができるので、多層膜や化合物膜を成膜することが可能です。

• スパッタリング装置

多目的真空蒸着装置HEXシステム用抵抗加熱蒸着源

多目的真空蒸着装置HEX／HEX-L用の抵抗加熱蒸着源です。 抵抗加熱蒸着法は、最も一般的な真空蒸着プロセスです。ボート型やルツボ型の加熱容器に材料を置き、加熱容器に電流を流すことで抵抗熱を発生させ、材料を加熱します。加熱容器の温度が充分に上昇すると、容器内の材料が蒸発し始めます。蒸着レートは電流によって制御することが可能です。 抵抗加熱蒸着装置の利点はプロセスガスを使用しないことです。そのため高い真空度中で動作し、堆積した膜にほとんど不純物が含まれません。 TESソースは蝶ナット4個でチャンバーに固定されています。また、冷却水配管はクイックリリースコネクターにより接続されています。そのため、材料の補充やボート／フィラメントの交換を素早く行うことが可能です。 HEXでは最大5台、HEX-Lでは最大6台のTESソースを取り付けることができます。また、スパッタソースFission、電子ビーム蒸着源TAUおよび有機蒸着源ORCAと組み合わせて使用することができます。

• スパッタリング装置

多目的真空蒸着装置HEXシステム用1源および4源電子ビーム蒸着源

多目的真空蒸着装置HEX／HEX-L用の電子ビーム蒸着源です。 TAUシリーズは"ミニ"電子ビーム蒸着源です。TAUを使用することでHEXシステムを電子ビーム蒸着装置（EB蒸着装置）として使用できます。材料に高電圧が印加され、そのすぐ横にあるフィラメントから放出される熱電子を材料に加速衝突させることで加熱します。大型の電子ビーム蒸着源に見られるような、電子ビーム偏向マグネットは使用しません。 TAUソースの各ポケットには、蒸気中に含まれるわずかなイオンを検出するための、"フラックスモニタリングプレート"が標準で搭載されています。ここで検出されるイオン電流値は、蒸着レートと比例関係にあり、サブモノレイヤーの膜を精密に成長できるほど高感度です。 4源同時蒸着モデルであるTAU-4には、4つのポケットにそれぞれ独立したフラックスモニタリングプレートが備えられており、同時蒸着時には各ポケットの蒸着レートをモニターすることができます。 TAUソースは材料の材質により、ロッドまたはルツボから蒸着することができます。最適な蒸着方法をご提案いたしますので、お気軽にお問い合わせください。

• スパッタリング装置

多目的真空蒸着装置HEXシステム用有機蒸着源

多目的真空蒸着装置HEX／HEX-L用の有機蒸着源です。 ORCAをインストールすることで、HEXシステムを有機物蒸着装置として使用できます。ORCAソースはルツボを積極的に冷却しています。加熱と冷却のバランスにより、優れた温度安定性と制御性を実現しています。 ルツボは熱伝導率の高い材質で作られていることから、蒸着レートに悪影響をおよぼすホットスポットが発生しません。アルミナ製やグラファイト製ライナーも用意されています。 ルツボの温度はKタイプ熱電対により測定されます。一般的な接触型熱電対よりも精度の高い温度測定が可能です。ORCAには電源ユニットと低温動作に最適化されたPIDコントローラーが付属します。 ORCAソースはスパッタソース、電子ビーム蒸着源および抵抗加熱蒸着源と組み合わせて使用することができます。ルツボ周囲は冷却された保護キャップに覆われており、隣接するソースからの熱干渉を最小限に抑えられています。

• スパッタリング装置

多目的真空蒸着装置HEXシステム用サンプルステージ | 固定、回転、回転加熱、回転水冷

多目的真空蒸着装置HEX／HEX-L用のサンプルステージです。 正しいサンプルステージを選択することは、正しい成膜方法を選択することと同じくらい重要です。サンプルステージの特性は均一性やモルフォロジー、膜組成に影響を与えます。 HEXでは最大直径4インチのサンプル、HEX-Lでは最大直径6インチのサンプルに対応します。標準の固定サンプルステージの他に、回転、回転加熱、回転水冷サンプルステージが用意されています。

• スパッタリング装置

株式会社ホトロンの新製品「車両カウントセンサー CCS3」が登場！ 本製品は、赤外線とレーダーを組み合わせた天井取付型センサーです。 1台で双方向の車両を安定して検知し、渋滞時や車両のすれ違いにも対応、大型駐車場の効率的な満空管理を実現します。 また、車両カウントに加えて出庫警告用途にも活用でき、駐車場の安全で円滑な運営に貢献します。 『特長』 ・赤外線とレーダーの併用により、雨天時の路面変化に対する検知性能を向上 ・防水・防塵性能IP67を備え、塩害地域でも活躍 ・専用アプリ（Android端末）から各種設定が可能。現在の設定がひと目でわかりやすく ・従来品「CCS2」とベース寸法が同一で、既存設備の入れ替えもスムーズ ※詳しくは製品情報、カタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。

センサーの製造・販売を行っているホトロンは、病院・看護・介護施設向けに離床センサーを提供しています。 ホトロンでは離床センサーをワイヤレスで使用する方法や、機器の接続設定を動画でわかりやすくご案内しています！ ▼動画マニュアル(youtube) https://www.youtube.com/playlist?list=PLNVA4mTrZDqtJa6MfFRZQxwtfCSnAfxVy 【離床センサー】 ○非接触型赤外線センサー　置くだけポール君　HB-H1 ○マットセンサー　たためる薄型マッ太君　HB-UST ○体動コール　うーご君　HB-TV3 ○車椅子用体動コール　あゆみちゃん　HB-WTV3 【オプション】 ○ナースコール連動型ワイヤレスセット　ワイヤレスセット（送/受信機）　HB-RS/HB-RJ ◎製品について詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

◎What‘s NCヘリックスドリル！？ NCへリックスドリルは、ヘリカル加工にてご使用いただく インサート式の穴あけドリルです。そのため、径や深さの違いによって それぞれドリルを使い分ける必要がなく、発売以来、特に多品種・ 小ロットの加工をされているお客様より多くの反響をいただいている 人気商品です。 ◆ここがすごい！NCヘリックスドリルの実力！ 最大のポイントは、特許取得済みの独自のインサートとホルダー形状 によりヘリカル加工にもかかわらず、切込み量を大きく確保できること！ これによりヘリカル加工でも加工時間短縮を可能にします。 （注意：Z方向には、使用いただけません） ******* 詳細はこちら： https://toolde.co.jp/product/nine9/nchelixdrill 動画はこちら https://www.youtube.com/watch?v=5eo_9umfqdU *******

USBコネクティビティ分野のグローバル半導体メーカーのインフィニオン テクノロジーズとASMediaは、機械学習向けカメラやフィジカルAIシステムの 需要拡大を背景に、USB 20Gbps技術の普及を加速させるための戦略的協業を 発表しました。 インフィニオンが2025年に発表したEZ-USB FX20コントローラーは、 高帯域幅を必要とするアプリケーションにおけるデバイス側の要件に対応し、 既存のUSB-Cインフラストラクチャ上で20Gbpsのデータスループットを実現します。 より幅広い導入を支えるには、信頼性の高い高帯域幅の接続を実現するために、 デバイス側コンポーネントだけでは不十分です。 堅牢なケーブルと包括的なホスト側サポートが不可欠となります。 インフィニオンのEZ-USB FX20と、ASMediaのUSB4 40Gbpsホストコントローラー であるASM4242を統合することで、両社はエンドツーエンドのUSB 20Gbps エコシステム構築を推進しています。

インフィニオンテクノロジーズとEverProXは協業し、最大20Gbpsの データ転送速度をサポートするUSB3 Visionカメラ向け10メートルの USB3.2 Gen 2x2アクティブ光ケーブルを共同で提供します。 本ソリューションは、インフィニオンのEZ-USB FX20ペリフェラルコントローラー 技術とEverProXのアクティブ光技術を組み合わせたものです。 このAOCは高速データ伝送に光ファイバーを使用することで、従来のパッシブ 銅線ケーブルで課題となる信号損失や伝送距離の制約を解決します。 同時に、ケーブルに統合された銅線導体により電力供給も可能であり、 接続されたカメラは1本のケーブルを通じて高速データ通信と動作電力の 両方を受け取ることができます。 これにより、産業システムにおけるカメラ設置の簡素化と配線の複雑さの低減を 実現し、高速欠陥検査、3Dイメージング、医療用画像処理、精密測定、ロボティクス、 AIベースの画像解析といった用途を支援します。